一种惯性传感器电容检测加速度计的制作方法

文档序号:13221754阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种惯性传感器电容检测加速度计,包括前置放大器的输入端连接惯性检测元件的信号输出,瞬时浮点模数转换器的输入端连接前置放大器的输出信号,瞬时浮点模数转换器的输出数字信号交由数字环路滤波器,然后由一位量化器输出数位流,经过静电力反馈单元实现闭环操作。采用过采样技术实现负反馈,提高了闭环系统的线性度、动态精度。数字环路滤波器的应用实现了量化噪声的整形,达到低噪声、数字量输出的目的。采用数字方式实现环路滤波器,能够避免模拟环路滤波器产生的积分饱和现象,同时降低版图设计难度以及模拟环路滤波器的噪声对系统影响。该加速度计采用瞬时浮点模数转换器进行量化,能够有效提高系统的噪声性能。

技术研发人员:李宗伟;杨长春;薛旭;熊兴崟;韩可都;丛宁;
受保护的技术使用者:中国科学院地质与地球物理研究所;
文档号码:201610105474
技术研发日:2016.02.25
技术公布日:2016.07.20

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