厚度检测装置的制作方法

文档序号:13218412阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种厚度检测装置,其特征在于,包括:公共电极(100);检测电极(201),与所述公共电极(100)对应且相互间隔地设置,所述检测电极(201)与所述公共电极(100)之间形成检测通道;补正电极(202),与所述公共电极(100)对应且相互间隔地设置,所述补正电极(202)设置在所述检测通道的外部;控制部,与所述公共电极(100)、所述检测电极(201)和所述补正电极(202)均电连接,用于根据所述补正电极(202)的输出对所述检测电极(201)的输出进行补正。2.根据权利要求1所述的厚度检测装置,其特征在于,所述补正电极(202)与所述公共电极(100)之间形成的电特性与所述检测电极(201)与所述公共电极(100)之间形成的电特性相同。3.根据权利要求1所述的厚度检测装置,其特征在于,所述补正电极(202)的尺寸与所述检测电极(201)的尺寸相同,所述补正电极(202)与所述公共电极(100)间隔的距离与所述检测电极(201)与所述公共电极(100)间隔的距离相等。4.根据权利要求1所述的厚度检测装置,其特征在于,所述补正电极(202)在垂直于所述检测通道的延伸方向的方向上与所述检测电极(201)间隔地设置。5.根据权利要求1所述的厚度检测装置,其特征在于,所述检测电极(201)为多个,多个所述检测电极(201)并排设置,所述检测通道的延伸方向为多个所述检测电极(201)的排列方向。6.根据权利要求1所述的厚度检测装置,其特征在于,所述厚度检测装置还包括设置在所述公共电极(100)外侧的第一保护部(14),和/或设置在所述检测电极(201)外侧的第二保护部(24)。7.根据权利要求1所述的厚度检测装置,其特征在于,所述厚度检测装置还包括设置在所述检测电极(201)外侧的第二保护部(24)和设置在所述补正电极(202)外侧的第三保护部,覆盖在所述检测电极(201)的朝向所述公共电极(100)的外表面上的所述第二保护部(24)的厚度与覆盖在所述补正电极(202)的朝向所述公共电极(100)的外表面上的所述第三保护部的厚度相等。8.根据权利要求1所述的厚度检测装置,其特征在于,所述厚度检测装置还包括:第一导电部(15),设置在所述公共电极(100)的朝向所述检测电极(201)的外表面上;第二导电部(25),设置在所述检测电极(201)的朝向所述公共电极(100)的外表面上;第三导电部(26),设置在所述补正电极(202)的朝向所述公共电极(100)的外表面上;其中所述第二导电部(25)与所述第三导电部(26)的尺寸相同。9.根据权利要求1所述的厚度检测装置,其特征在于,所述控制部包括差分电路,所述差分电路的输入端分别与所述检测电极(201)和所述补正电极(202)电连接,所述差分电路根据所述检测电极(201)的输出与所述补正电极(202)的输出之间的差值得到输出值。10.根据权利要求1所述的厚度检测装置,其特征在于,所述控制部包括:检测位移输出电路,输入端与所述检测电极(201)电连接,用于输出所述检测电极(201)与所述公共电极(100)之间产生的电信号;补正位移输出电路,输入端与所述补正电极(202)电连接,用于输出所述补正电极(202)与所述公共电极(100)之间产生的电信号。
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