可调式气动聚焦构造的制作方法

文档序号:12266965阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可调式气动聚焦构造,用以气动聚焦多个气胶粒子,其特征在于具有:

中空管体,具有入口端、出口端及位于该入口端及该出口端之间的聚焦区段,该聚焦区段具有多个依序组装的节管,各该节管具有第一连结端、第二连结端及聚焦孔,该第一连结端及该第二连结端分别设置于该节管的两端,该聚焦孔形成于该节管内,该第二连结端与相邻的该节管的该第一连结端连结,该聚焦孔具有聚焦孔径,其中,相邻的各该聚焦孔的该聚焦孔径不同。

2.根据权利要求1所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中该第一连结端具有第一连结部,该第一连结部形成于该第一连结端的外壁,该第二连结端具有第二连结部,该第二连结部形成于该第二连结端的内壁,该第一连结部嵌入相邻的该节管的该第二连结部。

3.根据权利要求2所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中该第一连结端另具有环槽,该环槽环绕该第一连结部。

4.根据权利要求2所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中该第一连结部为外螺纹,该第二连结部为内螺纹,该第一连结部的该外螺纹与相邻的该第二连结部的该内螺纹啮合。

5.根据权利要求1所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中该聚焦孔形成于该第一连结端。

6.根据权利要求1或5所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中相邻的各该聚焦孔之间相隔聚焦距离,该聚焦距离介于10至100mm之间。

7.根据权利要求1所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中该中空管体的该入口端具有入口孔,该入口孔的孔径介于100至500μm之间。

8.根据权利要求1或7所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中该中空管体的该出口端具有出口孔,该出口孔的孔径介于1至5mm之间。

9.根据权利要求1所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中前述节管的内壁粗糙度(Ra)不大于6.3μm。

10.根据权利要求1所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中前述节管的该聚焦孔径由该入口端朝该出口端方向逐渐缩小。

11.根据权利要求1所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中前述节管的该聚焦孔径由该入口端朝该出口端方向逐渐增加。

12.根据权利要求1所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中前述气胶粒子通过该中空管体以聚焦形成气胶粒子束,该气胶粒子束进入气胶光电子光谱仪,以进行光电子光谱量测及光电子动能分析。

13.根据权利要求12所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中该光电子光谱仪包含分级抽气区域,该分级抽气区域用以降低腔体压力。

14.根据权利要求12所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中该光电子光谱仪包含光电子光谱分析腔,该光电子光谱分析腔用以进行光电子光谱量测。

15.根据权利要求14所述的可调式气动聚焦构造,其特征在于:其中该光电子光谱仪另包含电子能量分析仪,该电子能量分析仪用以进行光电子动能分析。

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