一种声学流体传感器的制作方法

文档序号:12591259阅读:来源:国知局
技术总结
本发明的实施方式提供了一种声学流体传感器,该声学流体传感器包括:狭缝双板声学装置、超声波发射装置、超声波接收装置、计算处理装置和实验容器;其中,狭缝双板声学装置包括两个平行且间隔狭缝空间的基板,狭缝空间用于装盛待测流体,基板上设有等间距的凸条;狭缝双板声学装置浸没于环境流体中;超声波发射装置向环境流体中发射超声波,激励狭缝双板声学装置中的两个基板形成非泄露A0模式Lamb波并在狭缝空间中共振耦合形成对称强局域模式,计算处理装置通过计算超声波频谱中共振透射增强峰的频点和幅度来确定待测流体的参数。本发明仅需微量待测流体,就具有较高高的灵敏度和品质因子,尤其对密度与声速度变化趋势相反的流体比较敏感。

技术研发人员:蔡飞燕;王辰;耿刘峰;李飞;孟龙;郑海荣
受保护的技术使用者:深圳先进技术研究院
文档号码:201610635316
技术研发日:2016.08.05
技术公布日:2017.01.11

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