1.一种表征材料表面元素分布的XPS成像分析方法，其特征在于，具体步骤及参数如下：
1)制备需要进行XPS成像的待测样品，进行装样；
2)开启单色化X射线枪，对需要成像的区域进行XPS点分析，确定需要进行成像的元素；设置成像区域及扫描节点；逐点对各个节点采集所需元素XPS窄谱；最后，运用XPS分析软件对各元素的光电子能谱窄谱进行数据处理及成像转化；
单色化X射线枪光斑直径设置范围为：200μm～500μm；
成像区域设置范围为：200μm×200μm～2000μm×2000μm；
扫描节点的数量设置范围为3×3～64×64；
3)采集元素XPS窄谱，选取元素的X射线光电子能谱最强峰，当元素的X射线光电子能谱最强峰与其他元素谱峰重合，则选取次强峰或与其他元素谱峰不重合的最强峰；采集各个元素X射线光电子能谱时，要求通能相同，通能设置范围为10～50eV；
4)数据处理及成像转化过程：
①去除本底：XPS分析软件有三种本底类型为：Linear、Shirley、Tougaard，本底选择范围以能将光电子能谱峰面积定义出来为准；
②图谱拟合：在出现光电子谱峰重叠情况时采用图谱拟合，选择存在重叠的光电子谱峰，点击图谱拟合功能Peak fit，添加各峰位对应的谱峰进行拟合，同时对各峰位对应的谱峰进行分别命名，确定该光电子谱峰的归属；
③元素相对含量的计算：XPS分析软件配有Scofield灵敏度因子数据库或Wagner灵敏度因子数据库；在灵敏度因子一栏输入各元素的灵敏度因子，即得到各元素谱峰修正后的峰面积；将所有元素修正后的峰面积之和归一为100％，各元素的相对含量即为各元素修正后的峰面积在所有元素修正后的峰面积之和中所占的比例；
④成像转化：将所有节点各元素相对含量的高低以伪颜色图像的形式呈现出来，以显示各元素的分布情况；点击成像转化Creat Profile，即呈现出各单个元素的相对含量分布图，调节图像内插级别Interpolation level改变成像的分辨率，点击重叠按钮Overlay Map，将所有元素的成像在一张图像上呈现出来，每个元素用一种颜色来表示，看出各元素的分布情况，调节颜色级别Colour Level改变成像的分辨率；颜色级别设置范围为4～32。
2.根据权利要求1所述的分析方法,其特征在于，所述的步骤2)中成像区域设置范围为：1000μm×1000μm。
3.根据权利要求1所述的分析方法,其特征在于，所述的步骤2)扫描节点的数量范围值为：10×10～32×32。
4.根据权利要求1所述的分析方法,其特征在于，所述的步骤4)中本底选择Shirley类型本底。
5.根据权利要求1所述的分析方法,其特征在于，所述的步骤4)中内插级别设置范围为256～512。