技术总结
本发明涉及一种Schwarzschild物镜焦平面定位装置及定位方法，所述定位装置包括：LED照明组件，产生LED光并聚焦；样品移动组件，设置于LED照明组件和Schwarzschild物镜之间；铝薄膜样品，固定于样品移动组件上，用于承受激光等离子体光源聚焦辐照损伤和LED光背光照明；反射组件，与真空连接管连接，并插入真空连接管内；探测组件，与真空连接管连接，用于根据所述反射组件反射的光路进行铝薄膜样品成像，确定Schwarzschild物镜的焦平面，所述探测组件和反射组件位于真空连接管的两侧；计算机，分别连接样品移动组件和探测组件，控制样品移动组件的运动，并接收探测组件的成像信号。与现有技术相比，本发明具有定位精度高，实验效率快等优点。
技术研发人员：李文斌;徐海钊;张哲;王占山
受保护的技术使用者：同济大学
文档号码：201611240849
技术研发日：2016.12.29
技术公布日：2017.05.31