本实用新型提供一种六氟化硫分析仪校验用宽域动态配气系统，具体是指采用三级稀释技术配制出低浓度标气的装置。
背景技术：
六氟化硫气体具有良好的绝缘和灭弧特性，已被广泛用于气体绝缘电气设备中。近年来随着特高压交直流变电站投入运行，大量高电压等级六氟化硫电气设备被纳入日常技术监督工作中，现多采用SF6气体分解产物仪、SF6气体纯度仪等实施SF6电气设备的质量监督工作。
为确保仪器测量准确性，需定期校验上述仪器，当前实验室内多采用配气仪配制出标气对SF6分析仪校验，现有配气技术存在如下问题：当前采用质量流量计控制的最先进配气仪最大单路配比(体积比)可达1:70，即可配制的最低气体浓度(体积比)为14286ppm，在实验室校验六氟化硫分解产物仪时所需标气最低浓度为2ppm，因此实际校验过程中先采用注射器定量法在钢瓶中配制浓度约为50ppm的标气1，经色谱仪定量后；接着，以标气1作为气源，借助配气仪配制出2ppm的标气，此方法存在操作繁琐、效率较低、准确度地、易引入其他杂质等问题，因此亟需一种操作方便、配气效率高、准确度好的配气技术。
技术实现要素：
本实用新型的目的是提供一种能克服上述缺陷、操作方便、配气效率高、配制气体浓度范围宽的六氟化硫分析仪校验用宽域动态配气系统。其技术方案为：
一种六氟化硫分析仪校验用宽域动态配气系统，包括SF6气瓶、多个样气气瓶以及主气路，SF6气瓶的输出端接主气路的输入端，其特征在于：主气路从连接SF6气瓶的输出端起始依次设有减压阀、电磁阀、第一质量流量控制器、第一静态混合器、第二质量流量控制器、第二静态混合器、第三质量流量控制器和第三静态混合器，SF6气瓶的输出端还经主气路上的电磁阀以及设有第四质量流量控制器的支气路接第二质量流量控制器与第二静态混合器之间的主气路、经主气路上的电磁阀以及设有第五质量流量控制器的支气路接第三质量流量控制器与第三静态混合器之间的主气路；每个样气气瓶的输出端分别经依次设有减压阀、第 六质量流量控制器和电磁阀的支路连通主气路，连接点位于第一静态混合器的输入端。
其工作原理为：以配制SO2气体为例，首先打开SO2气瓶支路上的电磁阀和主气路上的电磁阀，关闭第二、第三、第四和第五质量流量控制器，SO2气体便由支路上的第六质量流量控制器控制连续往主气路上注入，SF6气瓶内的SF6气体便由第一质量流量控制器控制连续往主气路上注入，两种气体在第一静态混合器中混合均匀，对SO2气体进行第一次稀释，可获得的SO2气体最低浓度为10000ppm；然后同时打开第二质量流量控制器和第四质量流量控制器，第一次稀释后的气体由第二质量流量控制器控制连续在主气路上向第二静态混合器注入，同时SF6气瓶内的SF6气体还经第四质量流量控制器控制连续向主气路上的第二静态混合器注入，SO2气体在第二静态混合器中进一步得到稀释，可获得的SO2气体最低浓度为100ppm；再后同时打开第三质量流量控制器和第五质量流量控制器，第二次稀释后的气体由第三质量流量控制器控制连续在主气路上向第三静态混合器注入，同时SF6气瓶内的SF6气体经第五质量流量控制器控制连续向主气路上的第三静态混合器注入，SO2气体在第三静态混合器中进一步得到稀释，最终配制出所需浓度的标气，此过程可获得的SO2气体最低浓度为1ppm。具体为：
①如果需配制SO2气体浓度范围为：CSO2≥10000ppm，仅需第一次稀释即可完成气体配制；
②如果需配制SO2气体浓度范围为：10000ppm≥CSO2≥100ppm，经第一次稀释后获得浓度为10000ppm的SO2气体，再经第二质量流量计和第二静态混合器后，即可完成气体配制；
③如果需配制SO2气体浓度范围为：100ppm≥CSO2≥1ppm，经第一次稀释后获得浓度为10000ppm的SO2气体，再经第二质量流量计、第二静态混合器后，获得气体浓度为100ppm，经第三质量流量计、第三静态混合器后，即可完成气体配制。
本实用新型与现有技术相比，其优点在于：
1、该装置采用三级配气技术，单次稀释比可达1:100，可配制最低浓度为1ppm标气，此配制装置具有操作方便、配气效率优、准确度高以及避免引入其他杂质等优点；
2、本实用新型提供的动态配气装置可通过气路并联分接装置同时满足三台六氟化硫分析仪的校验需求，极大提高了校验效率。
附图说明
图1是本实用新型实施例的接线图。
图中：1、SF6气瓶 2、样气气瓶 3、减压阀 4、第一质量流量控制器 5、电磁阀 6、第一静态混合器 7、第二质量流量控制器 8、第二静态混合器 9、第三质量流量控制器 10、第三静态混合器 11、第四质量流量控制器 12、第五质量流量控制器 13、第六质量流量控制器
具体实施方式
以下通过实施例对本实用新型的内容进一步详细地加以说明。在图1所示的实施例中：样气气瓶2有SO2气瓶、H2S气瓶等4种气体的气瓶。主气路从连接SF6气瓶1的输出端起始依次设有减压阀3、电磁阀5、第一质量流量控制器4、第一静态混合器6、第二质量流量控制器7、第二静态混合器8、第三质量流量控制器9和第三静态混合器10，SF6气瓶1的输出端还经主气路上的电磁阀5以及设有第四质量流量控制器11的支气路接第二质量流量控制器7与第二静态混合器8之间的主气路、经主气路上的电磁阀5以及设有第五质量流量控制器12的支气路接第三质量流量控制器9与第三静态混合器10之间的主气路上；每个样气气瓶2的输出端分别经依次设有减压阀3、第六质量流量控制器13和电磁阀5的支路连通主气路，连接点位于第一静态混合器6的输入端。