惯性力传感器的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明提供一种能够小型化的惯性力传感器。本发明的惯性力传感器具有形成有检测部(20、30)的层(1a、2a)，所述层是2个以上层叠在一起的层叠结构体。

技术研发人员：出川宗里;菊地广
受保护的技术使用者：日立汽车系统株式会社
技术研发日：2016.08.03
技术公布日：2018.08.24