加速度测量仪和用于制造这种加速度测量仪的方法与流程

文档序号:15104021发布日期:2018-08-04 16:26阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种加速度测量仪(1),其具有压电系统(2)、振动质量(3)和基板(4);在加速期间,振动质量(3)将与它的加速度成比例的力施加到压电系统(2)上,所述力在所述压电系统(2)中产生压电电荷,并且所述压电电荷能够作为加速度信号被电量取,其中,振动质量(3)具有两个质量元件(30,30');其中,正压电电荷能够在第一质量元件(30)上作为加速度信号被电量取;并且其中,负压电电荷能够在第二质量元件(30')上作为加速度信号被电量取。

技术研发人员:F·罗莎
受保护的技术使用者:基斯特勒控股公司
技术研发日:2016.11.24
技术公布日:2018.08.03

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