具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的制作方法

文档序号:11514912阅读:219来源:国知局
具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的制造方法

本发明有关于一种感应装置,特别是一种具有多层电极结构的高精确度触压感应装置。



背景技术:

轻薄短小的行动装置带动触控显示面板的潮流,且由于触控的人机界面技术成熟与使用者对3d触控的操作需求不断提升,压力触控的技术也随之推陈出新。同时,机器人的广泛应用于工业乃至逐渐深入办公室、医院与家庭,致人工触觉装置需求迅速成长。现有触觉控制应用如压力触控显示面板将多个微机电的压力传感器置于显示面板的边缘或角落,借以感测面板表面的触碰压力;或将多个微机电的压力传感器置于机器人的彷真皮肤内侧以实现触碰及压力的侦测,不仅传感器成本高昂且配线的装设与贴合不易。此外也有使用导电橡胶、导电海棉或含碳纤维的人造皮肤借由量测其电流变化反推其阻抗变化与压力值者,既耗电且精准度不高。并且前述都无法作对象近接的探测,因此压力触控及人工触觉装置仍有改善的空间。



技术实现要素:

为改善上述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种具有多层电极结构的高精确度触压感应装置,以提高压力触控的精确度。

为达成本发明的上述目的,本发明提供一种具有多层电极结构的高精确度触压感应装置,包括:

一上基板,该上基板包含一第一表面与相对于该第一表面的一第二表面;

一第一电极层,该第一电极层设置于该上基板的其中一个表面,该第一电极层包含多个第一感应电极;

一第二电极层,该第二电极层相对于该第一电极层设置,且相较于该第一电极层更远离该上基板,其包含多个第二感应电极,该多个第二感应电极与该多个第一感应电极呈一对一对应并与对应的第一感应电极两两电气相连接形成多个触控感应电极;

多条触控电极走线,每一条触控电极走线与一个触控感应电极对应并电气连接并与其它触控感应电极呈电气绝缘;

一弹性介电材料层,该弹性介电材料层设置于该第二电极层背对该上基板的一侧,且该弹性介电材料层遇压力时体积压缩变形,并于除去压力时回复原有的体积与形状;及

一第三电极层,该第三电极层设置于该弹性介电材料层背对该上基板的一侧,其包含至少一个压力感应电极。

该多条触控电极走线为该多个第一感应电极或该多个第二感应电极所屏蔽。

该多条触控电极走线为该多个第一感应电极与该多个第二感应电极所共同屏蔽。

还包括:

一电容侦测电路,依序或随机将一触控电容感应激励信号施加于选定的该触控感应电极,并自该触控感应电极输入一触控感应信号,作触控侦测操作,并将与该触控电容感应激励信号同相位的一辅助信号施加于相对的至少一个压力感应电极;该电容侦测电路将一压力电容感应激励信号施加于该至少一个压力感应电极并自该压力感应电极输入一压力感应信号,作压力侦测操作;其于压力侦测操作时又依序或随机将一压力对应激励信号施加于选定的该触控感应电极。

该上基板为一高分子薄膜或一超薄玻璃,其厚度不大于500μm。

该上基板为一耐曲挠材质基板,且其厚度不大于500μm。

还包括一下基板,该下基板为一高分子薄膜或一玻璃。

还包括设置于该第三电极层的背对该上基板的一侧的一胶合层。

该多个触控感应电极、压力感应电极通过透明导电材料制造。

该多个触控感应电极、压力感应电极通过不透明导电材料制造。

该电容侦测电路为一自电容侦测电路。

该电容侦测电路于触控侦测操作时更将与该触控电容感应激励信号同相位的一反射信号施加于该选定的触控感应电极周遭的触控感应电极。

该电容侦测电路于压力侦测操作时还将一与该压力电容感应激励信号同相位的遮蔽信号施加于非选定的该多个触控感应电极。

该触控电容感应激励信号与该压力电容感应激励信号为一交变信号,或该触控电容感应激励信号为一电流源。

该压力对应激励信号为一直流参考信号或与该压力电容感应激励信号反相位的一交变信号。

该直流参考信号为一零电位信号。

附图说明

图1a为依据本发明一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的示意图。

图1b为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的示意图。

图2a为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的示意图。

图2b为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的示意图。

图3a为依据本发明一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的侧视图。

图3b为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的侧视图。

图3c为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的侧视图。

图4a为依据本发明一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的侧视图。

图4b为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的侧视图。

图4c为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的侧视图。

图5a为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的侧视图。

图5b为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的俯视图。

图6为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的触觉操作信号分布图。

图7为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置的压力侦测操作信号分布图。

图8为本发明的一具体实例的自电容侦测电路的示意图。

图中:

10…具有多层电极结构的高精确度触压感应装置;

100…上基板;

100a…第一表面;

100b…第二表面;

110…第一电极层;

120…第二电极层;

112,e11-e19…第一感应电极;

122,e21-e29…第二感应电极;

130…绝缘层;

v1-v9…层间连接电极;

132…第一层间连接电极;

134…第二层间连接电极;

v11-v19…第一层间连接电极;

v21-v29…第二层间连接电极;

150…触控电极走线;

w1-w9…触控电极走线;

160…触控感应电极;

170…压力感应电极;

200…弹性介电材料层;

300…第三电极层;

400…第二基板;

500…胶合层;

50…电容侦测电路;

50'…自电容侦测电路;

52…电容激励驱动电路;

520…信号源;

522…驱动器;

54…电容读取电路;

56…同相放大器;

59…反相放大器;

vc1…触觉感应信号;

vc2…压力感应信号;

vt…触控电容感应激励信号;

vt1…辅助信号

vp…压力电容感应激励信号

vp1…遮蔽信号;

vcount…对应激励信号;

te01-08…触控感应电极;

te11-18…触控感应电极;

te21-28…触控感应电极;

te31-38…触控感应电极;

90…走线遮蔽电极;

542…第一阻抗;

522a…第二阻抗;

522b…第三阻抗;

540…差动放大器;

544…第一电容;

60…感应电极;

62…第一杂散电容;

64…第二杂散电容;

540a,540b…输入端;

540c…输出端。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好的理解本发明并能予以实施,但所举实施例不作为对本发明的限定。

请参考图1a,为依据本发明一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的示意图。该多层电极结构的高精确度触压感应装置10(以下简称触压感应装置10)包括一由上而下(以使用者手指或触控笔接触为上方作为参考方向)的上基板100、一第一电极层110、一第二电极层120、一绝缘层130、一弹性介电材料层200、第三电极层300,再者,此触压感应装置10尚且包括多条触控电极走线150,设置在上基板100及弹性介电材料层200之间。其中该上基板100具有一第一表面100a及一相对于该第一表面的第二表面100b,该第一电极层110设置于该上基板100的其中一个表面(例如此实例所示的第二表面100b),且该第一电极层110包含多个第一感应电极112,例如如图1a所示的该多个第一感应电极e11-e19,但是须知此图所示仅为一侧视图,因此该多个第一感应电极的数量及分布方式不限于此。该第二电极层120设置于该第一电极层110背对该上基板100的一侧,亦即相较于第一电极层110设置且更远离上基板100。该第二电极层120包含多个第二感应电极122,该多个第二感应电极122与该多个第一感应电极112呈一对一对应并与该对应的第一感应电极112两两电气相连接,以形成多个触控感应电极160;该第一电极层110及该第二电极层120将该绝缘层130夹置其间,换句话说,即该多个第二感应电极122通过绝缘层130中的层间连接电极(如图所示v1-v9)连接到对应的第一感应电极112。

该多个触控电极走线150(如图所示w1-w9)与一个触控感应电极160对应并电气连接且与其它触控感应电极呈电气绝缘。在本实施例中,该多个触控电极走线150与第一感应电极112共平面设置且在投影上(由触压感应装置10上方)被该多个第二感应电极所屏蔽。所以在此触压感应装置10做压力感测时,第一感应电极112可以有效遮蔽来自手指的电荷干扰,使压力感测更为精确。该弹性介电材料层200遇压力时体积压缩变形,并于除去压力时回复原有的体积与形状。该第三电极层300设置于该弹性介电材料层200背对该上基板100的一侧,其包含至少一个压力感应电极170(例如图1a所示的第三电极层300包含两个压力感应电极170),且在下述各实施例中,虽然为了简化图面说明而并未绘出第三电极层300的详细构造,但该第三电极层300均包含至少一个压力感应电极170;此外,该触压感应装置10还包括一电容侦测电路50,此电容侦测电路50包含一电容激励驱动电路52及一电容读取电路54。

复参见图1a,为说明本发明的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10用于触觉感测的操作状况。此电容激励驱动电路52包含一信号源520及一驱动器522,并依序或随机将一触控电容感应激励信号(stimulussignal)vt施加于选定的一触控感应电极160(例如该第一感应电极e14与该第二感应电极e24)。此外电容激励驱动电路52将此触控电容感应激励信号vt送至一同相放大器56,该同相放大器56的增益值较佳为一,以产生与触控电容感应激励信号vt同相位的辅助信号(auxiliarysignal)vt1,此辅助信号vt1施加于相对的至少一个压力感应电极170。由于在相对的至少一个压力感应电极170施加与触控电容感应激励信号vt同相位的信号,等效上即可在对应选定该触控感应电极160(e14,e24)与相对的至少一个压力感应电极170之间产生没有电压差或是几乎没有电压差的状态,亦即不会有电容产生或是仅有微量电容产生(不至于影响触控感测结果的微量电容),即可避免在侦测对应选定该触控感应电极160的触控操作时,因为弹性介电材料层200受压翘曲而产生电容的干扰,同时亦阻绝了经由压力感应电极170与接地点间电容并联效应引发的干扰。

同理,该辅助信号(auxiliarysignal)vt1亦可同时施加于该选定触控感应电极160(e14,e24)周遭的触控感应电极160,以消除该选定触控感应电极与其周遭的触控感应电极之间的杂散电容效应,并对该选定触控感应电极上方的电力线产生聚集与顶高的效果,增强其近接感测的灵敏度。

再者,于本发明中,触觉感测(tactilesensing)包含使用者手指实际接触上基板100的触控感测(touchsensing)及使用者手指接近上基板100的近接感测(proximitysensing)。由于用户手指实际接触触压感应装置10或是接近触压感应装置10之时,都会影响触压感应装置10内部第一感应电极相关的电容值,因此借由感测电容值,都可以侦测是否有手指接触或是近接。于下面说明书中,即以触觉感测含括触控感测及近接感测两种操作。

借由图1a所示的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10,可利用辅助信号vt1减少或是完全消除弹性介电材料层200翘曲或是变形的影响。在电容侦测电路50的电容激励驱动电路52将触控电容感应激励信号vt施加于选定该触控感应电极160后,电容侦测电路50的电容读取电路54可在检测点p读取触觉感应信号vc1,即可精确地判断触控位置。

请参考图1b,为说明依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的示意图,该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10(以下简称触压感应装置10)用于触觉感测的操作状况的示意图。图1b所示实施例与图1a所示者大致相同,此实施例中该电容激励驱动电路52将送该信号源520直接送至同相放大器56(不经过驱动器522),该同相放大器56的增益值较佳为一,以产生与触控电容感应激励信号vt同相位的辅助信号(auxiliarysignal)vt1。由于在此实例中检测点p与辅助信号vt1分离,因此检测结果不会受到辅助信号vt1的影响。同样地,可利用辅助信号vt1减少或是完全消除介电材料层200翘曲或是变形的影响。在电容侦测电路50的电容激励驱动电路52将触控电容感应激励信号vt施加于选定该触控感应电极160(e14,e24)后,电容侦测电路50的电容读取电路54可在检测点p读取触觉感应信号vc1,即可精确地判断触控位置。

请参考图2a,为说明依据本发明的另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的示意图,该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10用于压力感测的操作状况时,此电容激励驱动电路52将压力电容感应激励信号vp施加到第三电极层300的该压力感应电极170,又将与压力电容感应激励信号vp同相的遮蔽信号vp1施加到非选定的触控感应电极160(亦即非为选定第一感应电极e14的至少部分第一感应电极及相对应的第二感应电极e24的至少部分第二感应电极),以遮蔽来自手指操作的电容变化,提高压力感测精确度。再者,将一具有预定位准的对应激励信号vcount施加到选定触控感应电极160(e14,e24),以增强相对的压力感应电极170的压力感测灵敏度。电容侦测电路50的电容读取电路54可在检测点p读取来自压力感应电极170的压力感应信号vc2,即可精确地判断是否有按压动作与压力的大小。

请参考图2b,为说明依据本发明的另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的示意图,且该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10用于压力感测的操作状况。该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10类似图2a所示的实施例,然而电容侦测电路50具有一反相放大器59以取代直流参考信号源53,换言之,此实施例的整合触控与压力感测的装置10由反相放大器59产生与压力电容感应激励信号vp反相的交变信号,以作为对应激励信号vconut;同样地,也可增强相对的第二感应电极的压力感测灵敏度。此外,此实施例的电容侦测电路50中用于产生遮蔽信号vp1的同相放大器56输入不连接到电容读取电路54的输入点,例如可直接连接到信号源520,以避免来自电容读取电路54输入点的压力感应信号vc2的影响。

请参考图3a,为依据本发明一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的侧视图。此实施例大致与图1a所示者类似,然在此实施例中,该多个触控电极走线150与该多个第二感应电极122共平面且呈一对一对应且电连接,并在投影上分别被该多个第一感应电极112所屏蔽。该多个第二感应电极122通过绝缘层130中的层间连接电极(如图所示v1-v9)连接到对应的第一感应电极112,而个别电连接到对应的第一感应电极112,借此也可以使每一触控电极走线150电连接到对应的第一感应电极112。同样地,由于触控电极走线150在投影上被第一感应电极112所屏蔽,所以在此触压感应装置10做压力感测时,第一感应电极112可以有效遮蔽来自手指的电荷干扰,使压力感测更为精确。请参考图3b,为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的侧视图,该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10与图3a所示者类似,该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10还包括一第二基板400,该第二基板400设置于该第三电极层300背对该介电材料层200的一侧。请参考图3c,为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的侧视图,该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10与图3b所示者类似,其中该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10还包括一胶合层500,胶合层500设置于该第三电极层300背对该该上基板100的一侧。

请参考图4a,为依据本发明一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的侧视图。此实施例大致与图3a所示者类似,然而在此实施例中,该触控电极走线150设置于该第一感应电极112与该第二感应电极122之间;且在绝缘层130之中,每一触控电极走线150经由上方的第一层间连接电极132(如图所示v11-v19)与一相对应的第一感应电极112电连接,且经由下方的第二层间连接电极134(如图所示v21-v29)与一相对应的第二感应电极122电连接。该多个触控电极走线150在投影上分别被对应的第一感应电极112及第二感应电极122所屏蔽。所以在此触压感应装置10做压力感测时,第一感应电极112及第二感应电极122可以有效遮蔽来自手指的电荷干扰,使压力感测更为精确。请参考图4b,为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的侧视图,该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10与图4a所示者类似,该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10还包括一第二基板400,该第二基板400设置于该第三电极层300背对该介电材料层200的一侧。请参考图4c,为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的侧视图,该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10与图4b所示者类似,其中该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10还包括一胶合层500,胶合层500设置于该第三电极层300背对该上基板100的一侧。

请参考图5a,为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的侧视图,主要绘示该第一感应电极112、该第二感应电极122、该绝缘层130及该触控电极走线150的叠合侧视图。参见图5b,为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的俯视图,主要绘示该第一电极层110的该多个第一感应电极及该第二电极层120的第二感应电极呈一对一对应并电气相连接,以形成多个触控感应电极(如本图所示te01-08、te11-18、te21-28、te31-38),该多个触控电极走线150电性连接至该电容侦测电路50及该多个触控感应电极。该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10还包括一走线遮蔽电极90,该走线遮蔽电极90用于遮蔽该多个触控电极走线150,以防止该多个触控电极走线150受干扰而影响触控灵敏度。

图6为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的触觉操作信号分布图。主要绘示该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10于触觉的操作时,触控电容感应激励信号vt及辅助信号vt1分布图。其中该第一电极层110的该多个第一感应电极及该第二电极层120的第二感应电极呈一对一对应并电气相连接,以形成多个触控感应电极(如本图所示的te01-08、te11-18、te21-28、te31-38)。

当该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10依序或随机将一触控电容感应激励信号vt施加于选定的一触控感应电极te14时;此时该电容侦测电路50亦将该触控电容感应激励信号vt处理以产生与触控电容感应激励信号vt同相位的辅助信号vt1,此辅助信号vt1施加于相对的至少一个压力感应电极(位在第三电极层300上)。由于在相对的至少一个压力感应电极施加与触控电容感应激励信号vt同相位的信号,等效上即可在对应选定该触控感应电极te14与相对的至少一个压力感应电极之间产生没有电压差或是几乎没有电压差的状态,亦即不会有电容产生或是仅有微量电容产生(不至于影响触控感测结果的微量电容),即可避免在侦测对应选定该触控感应电极te14的触控操作时,因为弹性介电材料层200受压翘曲而产生电容的干扰,同时亦阻绝了经由压力感应电极与接地点间电容并联效应引发的干扰。同理,该辅助信号vt1亦可同时施加于该选定触控感应电极te14周遭的触控感应电极,以消除该选定触控感应电极te14与其周遭触控感应电极之间的杂散电容效应,并对该选定触控感应电极上方的电力线产生聚集与顶高的效果,增强其近接感测的灵敏度。

图7为依据本发明另一实施例的具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10的压力侦测操作信号分布图。主要绘示该具有多层电极结构的高精确度触压感应装置10于压力侦测的操作时,压力电容感应激励信号vp及遮蔽信号vp1分布图。其中该第一电极层110的该多个第一感应电极及该第二电极层120的第二感应电极呈一对一对应并电气相连接,以形成多个触控感应电极(如本图所示的te01-08、te11-18、te21-28、te31-38)。

当该电容感应电路50施加一用于压力感测的压力电容感应激励信号vp于一对应选定的压力感应电极(位在第三电极层300上)时,该电容侦测电路50处理该压力电容感应激励信号vp以产生同相放大的遮蔽信号vp1,将该遮蔽信号vp1施加到非选定的压力感应电极,以遮蔽来自手指操作的电容变化,提高压力感测精确度。再者,将一具有预定位准的对应激励信号vcount施加到选定触控感应电极te14,以增强相对的压力感应电极的压力感测灵敏度与施压点的分辨精确度。

特别值得说明的是如图5b、图6与图7所示,由于相对应的该等第一感应电极112与该等第二感应电极122在正投影上特意形成差排并与相邻电极的对应电极部分交叠;因此,无论自操做方(上方)看向第三电极层(下方),或是自第三电极层看向操做方的手或对象,彼此都完全被该等触控感应电极(te01-08、te11-18、te21-28、te31-38)完全屏蔽,故其在作压力侦测时可得到最佳的精确度。

在上述各实施例中,该上基板为一高分子薄膜或一超薄玻璃,该上基板的厚度不大于500μm;该上基板为一耐曲挠材质基板且该上基板的厚度不大于500μm;该下基板为一高分子薄膜或一玻璃;该弹性介电材料层200设置于该第二电极层背对该上基板的一侧,该多个触控感应电极160与该多个压力感应电极170呈平形配置将该弹性介电材料层夹置其间,且该弹性介电材料层遇压力时体积压缩变形,并于除去压力时回复原有的体积与形状;此弹性胶质材料例如可为(但是不限于)聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,pdms)材料、光学透明胶(opticalclearadhesive,oca)。触控电容感应激励信号vt及压力电容感应激励信号vp为一交变信号,如一弦波,方波,三角波或梯形波;触控电容感应激励信号vt及压力电容感应激励信号vp亦可为一电流源。对应感应激励信号vcount为一直流参考信号或一与压力电容感应激励信号vp反相位的交变信号;该电容侦测电路为一自电容侦测电路;该多个触控感应电极160与该多个压力感应电极为透明导电材料制造,如铟锡氧化物或铟锌氧化物;该多个触控感应电极160与该多个压力感应电极为不透明导电材料制造,如石墨、金、银、铜、铝、锡、铟、钨、钼或上述的合金材料。

请参考图8,其为本发明的一具体实例的自电容侦测电路的示意图。该自电容侦测电路50'包含一电容激励驱动电路52及一电容读取电路54,以侦测电容读取点p的电容变化值。该电容激励驱动电路52包含一信号源520、一驱动器522(包含第二阻抗522a及第三阻抗522b)。该电容读取电路54包含一差动放大器540、一第一阻抗542及一第一电容544,以侦测一感应电极60上的电容变化,此感应电极60有附带的第一杂散电容62及一第二杂散电容64。

该信号源520电性连接至该第一阻抗542及该第二阻抗522a;该第一阻抗542电性连接至该第一电容544;该第一电容544电性连接至该差动放大器540的该第一输入端540a;该第二阻抗522a电性连接至该差动放大器500的该第二输入端540b;该感应电极60经由该自电容侦测电路50'的一接点而连接至该第二阻抗522a及该差动放大器540的该第二输入端540b;该第一杂散电容62电性连接至该接脚;该第二杂散电容64电性连接至该感应电极60。

在图8所示的自电容侦测电路50'中,该感应电极60感应手指或各类导体或对象的触碰而接收一触控信号;该信号源520为一周期性的输入信号至该第三阻抗522b,且该第一阻抗542的阻抗值等于该第二阻抗522a的阻抗值;该差动放大器540依据该输入信号及该触控信号使得该输出端540c输出差动放大后的一触控信号,该第一电容544的电容值等于该第一杂散电容62及该第二杂散电容64并联的电容值,当手指或各类导体或物件接近该感应电极60时,该第二杂散电容64的电容值会改变以使得该第一输入端540a及该第二输入端540b的电压值不同,经由该差动放大器540差动放大之后,该输出端540c输出放大后的该触控信号,通过量测该差动放大器540的输出变化,以分辨该感应电极60所产生的微量电容值改变,可以有效排除电路、电源等噪声所造成的干扰,并量测到微量电容值改变。此外,此自电容侦测电路50'的更完整细节可参见同一申请人的发明zl201210016333.4微量阻抗变化检测装置所揭露的自电容侦测电路技术。

以上所述实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例,本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换,均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。

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