检查系统的制作方法

本发明涉及检查系统，特别涉及拍摄检查对象的检查系统。

背景技术：

在fa(factoryautomation：工厂自动化)领域等中，在制造过程的部件、半成品或出厂前的产品等的外观检查中，抽取一部分的产品，由操作员针对产品的整周范围检查阶梯差或损伤。如果针对全部产品进行该检查，则存在过度耗费人数和时间的课题。

为了应对该课题，提出有使用组合了图像传感器、计测传感器和机器人的机器来实施检查的方法。例如日本特开2009-14696号公报公开了使用机器人的外观检查装置。在专利文献1中，为了取得检查的对象物的外观检查所需的图像信息，在机器人上安装照相机和照明部。机器人控制器控制机器人，使得照相机相对于对象物移动，并且照明部对应照相机的移动而运转。

根据专利文献1，能够削减检查人员的人数。但是，为了检查对象物的整周范围的外观，具有照相机和照明部的机器人的移动耗费时间，且检查处理成为庞大的量，检查所需的时间超过了要求的时间。

技术实现要素：

本发明的一个目的在于提供一种能够缩短检查花费的时间的检查系统。

本发明的一个方面的检查系统具有：检查装置，其检查对象物的外观；以及控制装置，其控制检查装置。检查装置具有：大致圆柱状的第1主体部，其具有能够供对象物通过的第1贯通孔；以及多个摄像部，它们设置于第1主体部的形成第1贯通孔的内周面。控制装置具有图像处理部，该图像处理部对从各摄像部输出的拍摄图像进行处理，以用于检查。

由此，仅通过使对象物通过第1贯通孔，就能够拍摄对象物的大致整周范围的外观的图像，并取得外观的检查结果。

优选的是，控制装置还具有通信部，该通信部与外部装置进行通信，外部装置包含支承装置，该支承装置具有：第1支承部，其用于支承对象物；以及驱动部，控制装置进一步控制通信部将用于控制驱动部的控制信号发送到支承装置，使得支承着对象物的第1支承部通过第1贯通孔。

由此，能够一边利用第1支承部支承对象物一边使对象物通过贯通孔。

优选的是，支承装置还具有第2支承部，该第2支承部用于支承对象物，控制装置进一步控制通信部将用于控制驱动部的控制信号发送到支承装置，使得第2支承部从第1支承部接收通过第1贯通孔后的对象物。

由此，能够利用第2支承部接收一边被第1支承部支承一边通过贯通孔后的对象物。

优选的是，检查装置还具有光源，该光源照射第1贯通孔的内部。由此，能够获得拍摄时的照明光。

优选的是，检查装置还具有：大致圆柱状的第2主体部，其具有能够供对象物通过的第2贯通孔；以及多个计测传感器，它们设置于第2主体部的形成第2贯通孔的内周面，并且计测对象物的外观，控制装置具有计测处理部，该计测处理部对从各计测传感器输出的计测值进行处理，以用于检查。

由此，仅通过使对象物通过第2贯通孔，就能够针对对象物的大致整周范围的外观取得尺寸等的计测值。

优选的是，第1主体部和第2主体部沿着通过第1贯通孔和第2贯通孔的假想轴层叠(堆叠为层状)，假想轴与对象物通过的路径对应。

由此，在使对象物沿着假想轴延伸的方向通过时，能够实施对象物的大致整周范围的外观检查和尺寸等的计测的双方。

本发明的另一个方面的检查系统具有：检查装置，其检查对象物的外观；以及控制装置，其控制检查装置，在检查系统中，检查装置具有：大致柱状的第2主体部，其具有能够供对象物通过的第2贯通孔；以及多个计测传感器，它们设置于第2主体部的形成第2贯通孔的内周面，并且计测所述对象物的外观，控制装置具有计测处理部，该计测处理部对从各计测传感器输出的计测值进行处理，以用于检查。

由此，仅通过使对象物通过第2贯通孔，就能够针对对象物的大致整周范围的外观取得尺寸等的计测值。

根据与附图相关联地理解的有关本发明的如下详细说明，本发明的上述和其他目的、特征、方面和优点将变得清楚。

附图说明

图1是示出实施方式1的检查系统的概略的结构图。

图2是示意性示出图1所示的摄像装置250和计测装置350的结构的图。

图3是示出实施方式1的工件w的一例的图。

图4是示出实施方式1的plc100的概略结构的图。

图5是概略地示出实施方式1的处理拍摄图像的检查单元200的结构的图。

图6是概略地示出实施方式1的处理计测数据的检查单元300的结构的图。

图7是实施方式1的自动检查处理用的流程图。

图8是示出实施方式1的第1主体部的变形例的图。

图9是示意性示出用于体现实施方式1的检查系统的优点的其他检查装置的图。

具体实施方式

参照附图对本发明的实施方式详细进行说明。另外，对图中相同或对应部分标注相同标号并不再重复其说明。

在实施方式中，将检查的对象物称作“工件”。在实施方式中，例示机器的部件作为工件，但不限于此。

[概要]

检查系统具有：检查装置，其检查工件的外观；以及控制装置，其控制检查装置。检查装置具有：大致柱状的第1主体部，其具有能够供工件通过的第1贯通孔；以及多个摄像部，它们设置于第1主体部的形成第1贯通孔的内周面。控制装置具有图像处理部，该图像处理部对从各摄像部输出的图像(拍摄图像)进行处理，以用于检查。

因此，通过设置于内周面的多个摄像部，仅通过使工件通过贯通孔就能够取得工件的大致整周范围的外观的拍摄图像，并能够缩短工件的检查所需的检查时间。其结果，能够不利用工件的抽取检查，而在要求的时间内检查全部数量的工件。

[实施方式1]

图1是示出本发明实施方式的检查系统的概略的结构图。检查系统具有机器人400，该机器人400被组装在生产线等中。在检查系统中，散装在托盘等上的对象物(工件w)被机器人400逐个把持(支承)并检查。

参照图1，检查系统具有：plc(programmablelogiccontroller：可编程逻辑控制器)100、与plc100连接的检查单元200和300、和机器人400。检查单元300与计测装置350连接，检查单元200与摄像装置250连接。实施方式的检查系统的“控制装置”包含检查单元200、检查单元300和plc100。

检查系统具有：加工设备500，其用于加工工件w；激光打标机510，其用于对所加工的工件w的表面赋予(打印)id(identification：识别)标记；以及读码器520，其用于读取所赋予的id。id标记例如包含二维码。

而且，检查系统具有后道工序装置600，该后道工序装置600输入从plc100输出的检查结果，依照检查结果来决定工件w的等级。对由后道工序装置600决定了等级的工件w，通过读码器620读取id。由此，工件w按照等级被分类并进行品质管理。此外，plc100根据检查结果来决定控制加工设备500的参数，并将所决定的参数输出到加工设备500。依照该参数，对加工设备500进行控制。由此，工件w的加工的精度根据检查结果而变更。另外，图1的各部件经由有线或者无线的通信线路相互进行通信。

(摄像装置和计测装置的结构)

图2是示意性示出图1所示的摄像装置250和计测装置350的结构的图。摄像装置250具有大致圆柱状的第1主体部251，该第1主体部251具有能够供工件w通过的第1贯通孔260。摄像装置250还具有：多个摄像部255，它们沿着第1主体部251的形成第1贯通孔260的内周面252设置；以及多个作为光源的照明装置254。各摄像部255的拍摄角度(angle)是可变的。在实施方式中，如后所述，在工件w通过第1贯通孔260时，各摄像部255的拍摄方向和各照明装置254的照明的照射方向被调整成与第1贯通孔260具有的圆心的方向一致。照明装置254以不在被摄体表面(工件w的表面)产生晕影的角度，照射光。由此，能够获得无晕影的均匀浓度的拍摄图像。

摄像装置250包含镜头等光学系统、和ccd(chargecoupleddevice：电荷耦合器件)或者cmos(complementarymetaloxidesemiconductor：互补金属氧化物半导体)传感器等摄像元件，作为主要构件。此外，照明装置254包含led(lightemittingdiode：发光二极管)或卤素灯等光源，作为主要构件。

计测装置350具有大致圆柱状的第2主体部351，该第2主体部351具有能够供工件w通过的第2贯通孔360。计测装置350还具有多个计测传感器353，该多个计测传感器353沿着第2主体部351的形成第2贯通孔360的内周面352设置。计测传感器353使用激光、led光、超声波等电磁波，非接触式地计测工件w的外部形状。计测装置350实施例如3d(3维)测量。

在实施方式中，在工件w通过第2贯通孔360时，各计测传感器353的电磁波的光轴方向被调整成与第2贯通孔360具有的圆心的方向一致。

第1主体部251、第2主体部351、第1贯通孔260和第2贯通孔360具有大致圆柱状的形状。该大致圆柱状的形状包含正圆柱状或椭圆柱状的形状。第1贯通孔260和第2贯通孔360具有大体一致的形状和尺寸。另外，第1主体部251、第2主体部351、第1贯通孔260和第2贯通孔360的形状不限定于大致圆柱状，也可以为棱柱状。

(机器人400的结构)

在图2中，与摄像装置250和计测装置350相关联地示出机器人400。机器人400包含：手机构，其用于把持工件w；以及关节机构，其用于将该手机构定位于任意的位置和方向。机器人400由机器人控制器401控制。

机器人400具有：第1支承部410和第2支承部420，它们相当于机械手臂；以及驱动部430，其用于使这些机械手臂的手机构和关节机构运动。驱动部430相当于伺服电机。驱动部包含电机、代码器和驱动器。驱动部的电机具有的旋转轴(电机轴)与机械手臂的手机构和关节机构连接。驱动部430通过代码器来检测电机轴的旋转角度/旋转速度，将检测结果反馈到电机驱动器。电机驱动器生成使得所反馈的检测值、与从机器人控制器401输入的控制用的值的差为零的控制信号，将所生成的控制信号输出到电机。电机利用控制信号进行旋转，由此与电机的旋转联动地控制第1支承部410和第2支承部420的机械手臂的手机构和关节机构的转动、关节的运动等。

(机器人的机械手臂的运动)

工件w被放置在例如托盘(未图示)等上。plc100根据托盘的工件w的拍摄图像，计算工件w的中心位置(图2的中心轴ca通过的位置)，并将表示中心位置的信息输出到机器人控制器401。机器人控制器401根据来自plc100的中心位置(图2的中心轴ca通过的位置)的信息，识别工件w的位置或姿势。机器人控制器401根据识别出的各工件w的位置或姿势，生成指令，并将所生成的指令发送到驱动部430，该指令用于将第1支承部410的手机构定位于用于以图2所示的姿势把持工件w的位置和方向。驱动部430依照该指令来控制电机，从而第1支承部410开始工件w的把持动作。由此，由第1支承部410把持的工件w的姿势成为预先设定的姿势。该预先设定的姿势是使得中心轴ca延伸的方向与假想的轴ar延伸的方向一致的姿势。

参照图2，多个主体部(第1主体部251和第2主体部351)沿着轴ar延伸的方向层叠。工件w在第1贯通孔260和第2贯通孔360中通过(移动)的路径是沿着轴ar延伸的方向的路径。例如，轴ar通过由第1贯通孔260的内周面252限定的形状即大致圆的中心(重心)、和由第2贯通孔360的内周面352限定的形状即大致圆的中心(重心)。

plc100将控制信号发送到机器人控制器401，该控制信号用于控制驱动部430。该控制信号表示用于以如下方式控制驱动部430的信号：在第1支承部410以成为预先设定的姿势的方式把持工件w的状态下，该第1支承部410在沿着图2的z轴延伸的轴ar的方向上移动，进而通过第2贯通孔360和第1贯通孔260。此外，plc100将控制信号发送到机器人控制器401，该控制信号用于控制驱动部430，使得第2支承部420在保持上述预先设定的姿势的状态下，从第1支承部410接收通过第1贯通孔260后的工件w。

如图2所示，上述预先设定的姿势相当于工件w的一部分(端部)被第1支承部410把持的状态的姿势。因此，工件w在第2贯通孔360中移动时，被位于工件w的大致整周范围的方向的多个计测传感器353计测外形。此外，工件w在第1贯通孔260中移动时，一边从工件w的整周范围的方向被照射照明光，一边被位于整周范围的方向的多个摄像部255拍摄。

另外，上述预先设定的姿势是能够利用摄像装置250从工件w的全方位拍摄图像的姿势、和能够利用计测装置350从全方位计测移位量的姿势，预先通过实验等决定。另外，预先设定的姿势优选根据工件w的形状和尺寸来确定，不限定于图2的姿势。

(工件w的计测和拍摄部位)

图3是示出实施方式1的工件w的一例的图。参照图3，通过计测装置350，计测工件w的内径④和外径⑤、阶梯差③和间隔②。摄像装置250针对用于检查工件w的表面上的损伤或缺口的有无的部位①，拍摄图像。

根据图2和图3所示，以成为上述预先设定的姿势的方式而被第1支承部410把持的工件w的部位优选是不与要作为计测或拍摄的对象的部位①～⑤对应的部位。

(plc100的结构)

plc100典型的是具有通用的架构的计算机。plc100通过执行预先安装的程序(命令代码)，提供本实施方式的功能。这种程序典型的是以存储在各种记录介质等中的状态而流通，或者经由网络等安装在plc100中。

在使用这种通用的计算机的情况下，除用于提供本实施方式的功能的应用程序以外，还可以安装用于提供计算机的基本功能的os(operatingsystem：操作系统)。在该情况下，本实施方式的程序也可以按照规定的排列在规定的时机，调用作为os的一部分而被提供的程序模块中的所需模块并执行处理。即，本实施方式的程序自身也可以不包含如上所述的模块，而是与os协作执行处理。作为本实施方式的程序，可以是不包含这样的一部分模块的形式。

而且，本实施方式的程序也可以是组装到其他程序的一部分中而进行提供的程序。在该情况下，在程序自身中也不包含如上所述的组合的其他程序所包含的模块，而是与该其他程序协作执行处理。即，作为本实施方式的程序，可以是组装到这样的其他程序中的方式。另外，可以安装通过执行程序而提供的功能的一部分或者全部，作为专用的硬件电路。

图4是示出实施方式1的plc100的概略结构的图。参照图4，plc100包含：作为运算处理部的cpu(centralprocessingunit：中央处理单元)110、作为存储部的主存储器112和硬盘114、输入接口118、显示控制器120、通信接口124和数据读写器126。这各个部件经由总线128，以能够进行数据通信的方式相互连接。

cpu110通过将硬盘114所安装的程序(代码)展开到主存储器112，并按照规定顺序执行这些程序，实施各种运算。主存储器112典型的是dram(dynamicrandomaccessmemory：动态随机存取存储器)等易失性存储装置，保存从硬盘114读出的程序、来自摄像装置250的拍摄图像、机器人400的校准数据、与计测结果相关的信息等。而且，在硬盘114中可以存储有各种设定值等。另外，也可以是，plc100除硬盘114以外，还具有闪存等半导体存储装置，或者替代硬盘114而具有闪存等半导体存储装置。

输入接口118进行cpu110与鼠标、键盘以及触摸面板等输入部104之间的数据传输。即，输入接口118受理通过由用户操作输入部104而给出的操作指令。

显示控制器120与作为显示装置的典型例的显示器102连接。显示控制器120控制显示器102，使得显示信息。所显示的信息包含cpu110的处理结果等。

通信接口124进行cpu110与检查系统内的检查单元200、检查单元300、机器人400(更确定的说是机器人控制器401)、加工设备500以及后道工序装置600等之间的数据传输。通信接口124典型的是由以太网(注册商标)或usb(universalserialbus：通用串行总线)等构成。

数据读写器126进行cpu110与作为记录介质的存储卡106之间的数据传输。存储卡106以存储有由plc100执行的程序等的状态而流通，数据读写器126从该存储卡106读出程序。另外，存储卡106由cf(compactflash：紧凑型闪存)、sd(securedigital：安全数字卡)等通用的半导体存储设备、软盘(flexibledisk)等磁存储介质、cd-rom(compactdiskreadonlymemory：光盘只读存储器)等光学存储介质等构成。

此外，在plc100上可以根据需要而连接有打印机等其他输出装置。

(检查单元200的结构)

图5是概略地示出实施方式1的处理拍摄图像的检查单元200的结构的图。参照图5，检查单元200包含cpu(centralprocessingunit：中央处理单元)210、主存储器212和硬盘214、输入接口218、显示控制器220、通信接口224、照相机接口216和数据读写器226。这各个部件经由总线，以能够进行数据通信的方式相互连接。

cpu210通过将硬盘214所安装的程序(代码)展开到主存储器212，并按照规定顺序执行这些程序，实施包含图像处理的各种运算。主存储器212典型的是dram(dynamicrandomaccessmemory：动态随机存取存储器)等易失性存储装置，除从硬盘214读出的程序以外，还保存由摄像装置250取得的拍摄图像等。

输入接口218进行cpu210与鼠标、键盘以及触摸面板等输入部204之间的数据传输。显示控制器220与作为显示装置的典型例的显示器202连接。显示控制器220控制显示器202，使得显示cpu210的处理结果等。通信接口224与cpu210、plc100以及摄像装置250等进行通信。

数据读写器226进行cpu210与作为记录介质的存储卡206之间的数据传输。存储卡206是与图4所示的存储卡106相同的存储介质。

照相机接口216进行cpu210与摄像装置250之间的数据传输。即，照相机接口216与摄像装置250连接，该摄像装置250用于拍摄工件w并生成拍摄图像。更具体来说，照相机接口216包含图像缓存216a，该图像缓存216a用于临时蓄积从摄像装置250输入的输入图像(拍摄图像)。并且，当在图像缓存216a中蓄积有规定帧数的输入图像时，照相机接口216将该蓄积的输入图像传送到主存储器212。此外，照相机接口216将依照由cpu110产生的内部命令的拍摄命令给出到摄像装置250(更确定的说是摄像部255)。

<图像处理部>

cpu210具有图像处理部的功能。图像处理部通过执行程序，实施图像处理。图像缓存216a的各图像数据具有拍摄了该图像的对应的摄像部255的标识符，以用于图像处理。在各摄像部255的位置固定的情况下，由于工件w以上述预先设定的姿势被拍摄，所以能够利用摄像部255的标识符，唯一确定工件w的拍摄部位。在硬盘214中登记有关于作为合格品的工件w的各部位的模型图像数据。图像处理部通过图案匹配，将各摄像部255的拍摄图像和对应的模型图像进行对照，并根据对照的结果，检测工件w的缺口或表面的损伤等。将图像处理的结果(或对照的结果)显示在显示器202上。

(检查单元300的结构)

图6是概略地示出实施方式1的处理计测数据的检查单元300的结构的图。参照图6，检查单元300包含cpu(centralprocessingunit：中央处理单元)310、主存储器312和硬盘314、输入接口318、显示控制器320、通信接口324和数据读写器326。这各个部件经由总线，以能够进行数据通信的方式相互连接。

cpu310通过将硬盘314所安装的程序(代码)展开到主存储器312，并按照规定顺序执行所展开的程序(代码)，实施包含计测处理的各种运算。主存储器312典型的是dram(dynamicrandomaccessmemory：动态随机存取存储器)等易失性存储装置，保存从硬盘314读出的程序和由计测装置350计测的数据等。

输入接口318进行cpu310与鼠标、键盘和触摸面板等输入部304之间的数据传输。显示控制器320与作为显示装置的典型例的显示器302连接，控制显示器302，使得显示cpu310的处理结果等。通信接口324控制cpu310与plc100和计测装置350之间的通信。

数据读写器326进行cpu310与作为记录介质的存储卡306之间的数据传输。存储卡306是与图4所示的存储卡106相同的存储介质。

通信接口324与用于计测工件w并生成计测数据的计测装置350连接，进行cpu310与计测装置350之间的数据传输。cpu310经由通信接口324，从计测装置350接收上述内径④及外径⑤、阶梯差③和间隔②的计测数据。此外，cpu310经由通信接口324，将计测用的命令给出到计测装置350(更确定的说是计测传感器353)。

<计测处理部>

cpu310具有处理计测数据的计测处理部的功能。计测处理部通过执行程序，实施计测处理。在硬盘314中登记有基准数据，以用于计测处理，该基准数据表示作为合格品的工件w的外观的尺寸。计测处理部将从计测装置350接收的内径④、外径⑤、阶梯差③和间隔②的计测数据与上述基准数据进行比较，根据比较的结果，判定与加工设备500的尺寸、大小等相关的加工的精度。此外，将计测处理的结果显示在显示器302上。

<向前道工序的反馈>

检查单元200将图像处理的结果发送到plc100。检查单元300将计测处理的结果发送到plc100。plc100实施根据图像处理的结果和计测处理的结果来决定加工设备500的参数的处理，将所决定的参数输出到前道工序的加工设备500。参数包含用于控制加工设备500的参数。由此，加工设备500依照参数被控制，而对工件w进行加工。因此，能够制造表面的缺陷被改善，或尺寸、大小等精度被改善的工件w。

<向后道工序的前馈>

此外，plc100根据图像处理和计测处理的结果，评价与表面、尺寸、大小等相关的加工的精度，并经由通信接口224将评价内容发送到后道工序装置600。后道工序装置600依照从plc100接收的评价的内容，实施对工件w标注等级的(对工件w进行分级的)处理。将对工件w标注的等级与通过读码器620从工件w读取的id相关联地进行管理。

(处理流程图)

图7是本发明实施方式的自动检查处理用的流程图。依照该流程图的程序预先被存储到plc100的存储部中并由cpu110执行。

plc100首先将控制信号发送到机器人400。由此，机器人400的第1支承部410以成为预先设定的姿势的方式，把持工件w(步骤s2)。第1支承部410在图2的轴ar延伸的方向上移动。由此，工件w在保持预先设定的姿势的状态下，沿着轴ar延伸的方向直线移动。

在轴ar延伸的方向上移动的情况下，工件w通过计测装置350的第2贯通孔360，接着通过摄像装置250的第1贯通孔260。工件w在通过这些贯通孔时，被实施检查处理(步骤s5)。

在检查处理(步骤s5)中，在工件w通过第2贯通孔360时，实施上述计测处理(步骤s3)，并且在工件w通过第1贯通孔260时，实施上述图像处理(步骤s4)。

plc100根据图像处理和计测处理的结果，实施上述向前道工序的反馈和向后道工序的前馈(步骤s7)。

然后，针对全部工件w，判断检查是否结束(步骤s9)。例如，plc100的cpu110根据来自输入部104的用户指示，判断是否结束检查处理(步骤s9)。cpu110在判断为不结束处理时(在步骤s9中为“否”)，将处理返回到步骤s2，与上述同样地实施以后的检查处理。此外，cpu110在判断为结束检查的情况下(在步骤s9中为“是”)，结束一系列的处理。

(主体部的变形例)

图8是示出实施方式1的第1主体部的变形例的图。在图2中，将照明装置254与摄像部255一起设置于第1主体部251，但配置照明装置254的部位不限于第1主体部251。例如图8所示，检查系统可以将摄像装置250分离设置为具有摄像部255的装置250a和具有照明装置254的装置250b。

装置250b具有大致柱状的第3主体部251b，该第3主体部251b层叠于装置250a的第1主体部251a。第3主体部251b具有能够供工件w通过的第3贯通孔。在图8中，1个或多个照明装置254配置在第3主体部251b的第3贯通孔的内周面252b，摄像部255配置在第1主体部251a具有的内周面252a。

照明装置254以能够照射第1主体部251a的第1贯通孔260的内部的角度，安装于第3主体部251b。由此，能够使照明光遍及第1贯通孔260的内部，从而能够满足拍摄时的照明条件。另外，虽然在图8中，第3主体部251b层叠于第1主体部251a的上侧，但是也可以层叠于下侧。

(优点)

图9是示意性示出其他检查装置以体现实施方式1的检查系统的优点的图。参照图9，其他检查装置具有安装在机器人臂上的照相机。在检查时，工件w被固定。为了拍摄固定的工件w的整体，检查装置以使照相机在工件w的整周范围内移动的方式，使机器人臂转动。在该情况下，需要将照相机的拍摄的时机和机器人臂的转动组合起来，取得同步。其结果，图9的检查装置对工件的检查工序无法满足所要求的节拍时间。

与此相对，根据实施方式1的检查装置，机器人400的第1支承部410使工件w在贯通孔中沿轴ar延伸的方向通过，由此能够从工件w的全方位实施拍摄和计测。因此，无需调整拍摄的时机与机器人臂的转动的同步。其结果，能够缩短工件w的检查处理所需的时间，能够满足所要求的节拍时间。

[实施方式2]

在实施方式2中，对实施方式1的变形例进行说明。

(根据图像数据的计测)

虽然在上述实施方式中，设置了计测装置350以进行计测，但在能够根据拍摄图像来取得计测数据的情况下，能够省略计测装置350。在实施方式2中，例如可使用3d(three-dimensional：三维)照相机，作为摄像部255，以根据拍摄图像来实施工件w的三维计测。在该情况下，能够根据从3d照相机输出的3d图像，检测工件w的表面高低的信息。通过将3d图像数据与3d-cad(computer-aideddesign：计算机辅助设计)数据进行比较，能够检查工件w的缺口/损伤。同样地，能够根据3d图像数据来生成2维图像，并根据所生成的2维图像来检查工件w的缺口/损伤。

此外，虽然在上述实施方式的检查系统中，摄像装置250和计测装置350设置于不同的主体，但是也可以设置于相同的主体部。

(照明的变形例)

摄像装置250所具备的照明装置可以是沿着开口部的形状设置在第1贯通孔260的内周面上的、能够进行环形的照明(来自360°方向的光的照射)的装置。在该情况下，不易在工件w的表面上形成影子。因此，能够防止照明的正反射光入射到摄像部255而在拍摄图像中产生晕影的情况。此外，还能够避免在如工件w的表面状态为镜面时的、在表面上映入光源本身的情况。

(照明的省略)

图2的照明装置254可以省略。例如在沿图2的上下方向延伸的z轴的上侧配置摄像装置250，并在下侧配置计测装置350。在该情况下，在来自设置于室内的顶面的照明器的照射光等周围环境的光以满足拍摄条件的程度充分地照射第1贯通孔260内时，可以省略照明装置254。

(用于使装置拆装自如的结构)

将摄像装置250和计测装置350固定在支柱700上(参照图2)，但也可以是，摄像装置250和计测装置350以能够拆装的方式安装在支柱700上。在该情况下，用户能够通过在支柱700的上下方向(z轴延伸的方向)或进深方向(y轴延伸的方向)上挪动摄像装置250和计测装置350的位置，拆下摄像装置250和计测装置350。由此，能够简单地更换为与检查项目或工件w的尺寸对应的种类的摄像装置250和计测装置350。

(检查装置和plc的一体化)

在实施方式1中，独立设置了plc100、检查单元200和检查单元300，但是它们也可以一体设置。在该情况下，在plc100中组装有检查单元200和300双方的功能。

虽然针对发明的实施方式进行了说明，但应该认为此次公开的实施方式在所有方面都是例示性的，而不是限制性的。发明的范围通过权利要求书来表示，是指包含与权利要求书同等的意思和范围内的所有变更。