防水部件、防水部件的制造方法、压力传感器及电子模块与流程

文档序号:11473658阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种能够容易地赋予防水性能的防水部件、防水部件的制造方法、压力传感器及电子模块。防水部件(1)具有:层压体(2),其具备第二硅层(23)以及第二氧化硅层(24);贯穿孔(3),其被设置在层压体(2)上,并阻止液体的通过且容许气体的通过,贯穿孔(3)具有第一贯穿孔(31)和第二贯穿孔(32),第一贯穿孔(31)贯穿第二硅层(23),第二贯穿孔(32)贯穿第二氧化硅层(24)且与第一贯穿孔(31)连通,第二贯穿孔(32)的宽度与第一贯穿孔(31)的宽度相比较小。

技术研发人员:田中信幸
受保护的技术使用者:精工爱普生株式会社
技术研发日:2017.02.10
技术公布日:2017.08.22
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