技术总结
本发明提供一种场致电子发射测试装置，包括真空腔室、真空连接机构、阳极部分和阴极部分；真空腔室为圆筒型，顶部中心设置有法兰，侧壁设置有第一连接口与真空连接机构连接，真空腔室侧壁靠近底部位置有若干观察窗；阳极部分在真空腔室的上部，包括安装在法兰中心的操作杆，位于真空腔室的外侧安装在操作杆上的控制器，固定在操作杆下端的阳极；阴极部分包括绕真空腔室底部中心圆周设置的若干样品台、与样品台一一对应连接的接线柱，接线柱穿过真空腔室底部与外部导线连接，样品台包括固定支座和样品架，样品台与观察窗对应。本发明为独立测试装置，可与任意真空设备连接，能一次试验条件下测试多个样品，方便更换阳极满足不同样品要求的测试。
技术研发人员：曹国华;张宝庆;刘宝忠;张波;路新行;刘坤
受保护的技术使用者：河南理工大学
文档号码：201710122599
技术研发日：2017.03.03
技术公布日：2017.06.13