一种垂直固定探针棒的联接结构和探针棒固定方法与流程

文档序号:12454526阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种垂直固定探针棒的联接结构,它包括导电板(5)、其特征在于:磁铁(18)吸附在导电板(5)的上方,导电板(5)与上调节架(4)联接,导电板(5)的下表面为平面,导电胶(19)涂在导电板(5)的下表面上。

2.根据权利要求1所述的垂直固定探针棒的联接结构,其特征在于:带磁性一端尖长探针棒(17)的针尖吸附在导电板(5)的下表面,带磁性一端尖长探针棒(17)的针尖周围有导电胶(19);在针尖处的表面有磁性材料,磁性材料的高度a为制作探针用的钨丝直径的1〜3倍。

3.根据权利要求1所述的垂直固定探针棒的联接结构,其特征在于:导电胶(19)的高度小于带磁性一端尖长探针棒(17)的针尖的圆锥高度。

4.一种垂直固定探针棒的联接结构的垂直固定探针棒的方法,它包括:

第一步:制作一端尖长探针棒;

第二步:制作带磁性一端尖长探针棒;

第三步:在导电板的下表面上均匀涂导电胶;

第四步:在导电板的下表面上垂直固定带磁性一端尖长探针棒。

5.根据权利要求1所述的一种垂直固定探针棒的联接结构的垂直固定探针棒的方法,其特征在于:制作一端尖长探针棒的方法为:取一根直的长探针棒(15),长探针棒(15)的材料与要制作的扫描隧道显微镜的探针的材料相同,长探针棒(15)的直径与要制作的扫描隧道显微镜的探针的直径相同,长探针棒(15)的长度比满足后继制作一端尖短探针(14)需要的最短长度多1〜5mm,将长探针棒(15)安装在制作扫描隧道显微镜探针的普通装置上制作一端尖长探针棒 (16)。

6.根据权利要求1所述的一种垂直固定探针棒的联接结构的垂直固定探针棒的方法,其特征在于:制作带磁性一端尖长探针棒的方法为:用电镀的方法将磁性材料镀在一端尖长探针棒(16)的针尖处,再对镀在针尖处的磁性材料磁化,得带磁性一端尖长探针棒(17)。

7.根据权利要求1所述的一种垂直固定探针棒的联接结构的垂直固定探针棒的方法,其特征在于:在导电板的下表面上均匀涂导电胶的方法为:将导电胶(19)均匀涂在导电板(2)的下表面上,且导电胶(19)的高度小于带磁性一端尖长探针棒(17)的针尖的圆锥高度。

8.根据权利要求1所述的一种垂直固定探针棒的联接结构的垂直固定探针棒的方法,其特征在于:在导电板的下表面上垂直固定带磁性一端尖长探针棒的方法为:将带磁性一端尖长探针棒(17)的针尖插入导电胶(19)并与导电板(5)的下表面接触,待带磁性一端尖长探针棒(17)的探针轴线(8)垂直后,固化导电胶(19),之后,在带磁性一端尖长探针棒(17)的针尖处增加导电胶(19)并逐次固化。

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