技术特征：
技术总结
本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括：基板；设置在基板上的可动部件，可动部件包括检测质量块以及多个驱动质量块；设置在基板上的固定锚点，固定锚点位于检测质量块与基板之间，且与检测质量块可动连接；设置在基板上的多个固定电极；多个固定电极分为第一电极组以及第二电极组；第一电极组中，固定电极位于基板表面，对称的设置在固定锚点的四周，且位于基板与检测质量块之间；第二电极组中，固定电极对称的设置在固定锚点的四周，且在初始状态下与可动部件同层设置；当进行角速度检测时，固定电极用于检测固定电极相与可动部件之间的电容变化，基于检测结果获取角速度信息。该MEMS陀螺仪结构简单，且需要的驱动电路结构简单。
技术研发人员：邹波;郑青龙
受保护的技术使用者：深迪半导体（上海）有限公司
技术研发日：2017.07.12
技术公布日：2017.11.07