一种稳定的双波长实时干涉显微装置及其使用方法与流程

文档序号:13133173阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种稳定的双波长实时干涉显微装置及其使用方法。本发明采用的技术方案包括依次沿光轴方向设置的激光器一、偏振片一、宽带消偏振分光棱镜一、扩束准直器、宽带消偏振分光棱镜二、消色差透镜、长工作距离显微物镜、宽带消偏振分光棱镜三和样品,激光器二垂直设置于宽带消偏振分光棱镜一之上,之间设置有偏振片二;CCD相机垂直设置于宽带消偏振分光棱镜二之上,宽带偏振分光棱镜与宽带消偏振分光棱镜三垂直设置,反射镜一和反射镜二设置于宽带偏振分光棱镜相垂直的两个面上。该装置基于长工作距离显微物镜和小型的双波长分光单元,CCD相机可以实时记录两个波长对应的、条纹相互正交的离轴干涉图,通过傅立叶变换算法得到被测样品的相位分布。

技术研发人员:郭荣礼;王凡;段存丽;路绍军
受保护的技术使用者:西安工业大学
技术研发日:2017.07.25
技术公布日:2017.12.08
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