一种剥离药液成分量测方法及系统与流程

本发明涉及屏幕显示技术领域，尤其涉及一种剥离药液成分量测方法及系统。

背景技术：

在tft制程中，剥离（stripper）工艺起到光阻剥离的作用，即把定义图形（patten）的光阻（photorisist，简称pr）用stripper药液去除的工艺。待进行光阻剥离制程的玻璃经过stripper制程后光阻溶解在stripper药液中。药液中的pr浓度和其有效成分胺（amine，剥离光阻的有效成分）是影响光阻去除能力的关键性参数，通常主设备会配备附属设备—光阻分析仪来量测和监控药液中pr、h2o及amine等成分含量。

业界均采用forcedrain模式来管控striper药液的pr浓度，即在run货时不断排液、补液来维持药液中pr浓度在一定水准。而排液、补液的量则根据pr浓度来自动调整。pr浓度高时加大排液量，pr浓度低时降低排液量以减少药液消耗。因此对于药液中pr浓度的量测需要具有实时性，能及时准确的反馈药液中pr浓度。

量测amine等成分的周期较长，一般量测时间为20分钟左右，而通常分析仪会量测两个槽体（tank）的药液成分后再一同产出数据，故其量测一笔data的时间约40分钟，由于量测时间较长，在连续run货时，以str设备的run片速度，此期间已经run过超过60片玻璃，此时又有大量光阻溶解在药液中，而其forcedrain的量还维持在较低水准，可能导致下笔data产出时pr浓度已急剧飘高，这样就无法有效控制pr浓度。当浓度过高时，通常采用将药液全部排掉补新液的方式，这样会造成药液极大的浪费，且pr浓度飘高期间过货的产品也有良率降低的风险。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种可缩短量测周期，实时反馈光阻浓度的剥离药液成分量测方法及系统。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种剥离药液成分量测方法，包括：

执行紫外分光光度uv量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；

执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；

所述uv量测模式至少执行一次之后再执行所述滴定量测模式，或者所述uv量测模式和所述滴定量测模式同时执行。

其中，执行所述滴定量测模式时，在所述第二量测周期内还对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测并反馈量测数据。

其中，所述uv量测模式执行多次之后再执行所述滴定量测模式，执行所述uv量测模式花费的总时间不超过所述第二量测周期。

其中，所述uv量测模式和所述滴定量测模式同时执行时，所述uv量测模式每次执行后，用于量测的剥离药液均回流至主机台。

其中，所述第一量测周期是量测两个槽体的剥离药液中的光阻浓度和水浓度的时间，所述第二量测周期是量测两个槽体的剥离药液中的胺、二氧化碳-胺的时间。

其中，所述第一量测周期为4分钟，所述第二量测周期为40分钟。

本发明还提供一种剥离药液成分量测系统，包括：

紫外分光光度uv量测单元，用于执行uv量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；

滴定量测单元，用于执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；

所述uv量测单元至少执行一次所述uv量测模式之后，所述滴定量测单元再执行所述滴定量测模式，或者所述uv量测模式和所述滴定量测模式同时执行。

其中，所述滴定量测单元还用于执行所述滴定量测模式时，在所述第二量测周期内还对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测并反馈量测数据。

其中，所述uv量测模式执行多次之后再执行所述滴定量测模式，执行所述uv量测模式花费的总时间不超过所述第二量测周期。

其中，所述uv量测模式和所述滴定量测模式同时执行时，所述uv量测模式每次执行后，用于量测的剥离药液均回流至主机台。

本发明实施例的有益效果在于：根据uv量测速度快的特点，可在其量测完成后即反馈量测数据，同时再次取样立即进行下一次量测，这样pr浓度数据的产出周期可大大缩短，且能及时量测pr浓度，以减少药液消耗，维持pr浓度在一定水准，提高制程稳定性；而amine、co2-amine滴定量测时间较长，可使其单独量测，这样能监控药液所有成分浓度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例一一种剥离药液成分量测方法的流程示意图。

图2是本发明实施例二一种剥离药液成分量测系统的原理框图。

图3是本发明实施例二一种剥离药液成分量测系统的另一原理框图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附图，用以示例本发明可以用以实施的特定实施例。

请参照图1所示，本发明实施例一提供一种剥离药液成分量测方法，包括：

执行紫外分光光度量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；

执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；

所述uv量测模式至少执行一次之后再执行所述滴定量测模式，或者所述uv量测模式和所述滴定量测模式同时执行

stripper制程中，剥离药液中光阻pr、水h2o、胺amine、二氧化碳-胺co2-amine等成分浓度均为评估其光阻去除能力的关键性参数。本实施例对量测pr、h2o采用紫外分光光度（uv）量测模式，其量测周期短，量测结果较为准确；而amine与co2-amine的浓度量测则是以滴定量测方式，其优点为量测准确，但量测时间较长。

为避免如现有技术一样，等待滴定量测模式量测出amine与co2-amine的浓度后再进行调整所带来的量测周期长的缺陷，本实施例在执行uv量测模式时，在第一量测周期内对剥离液中的光阻浓度和水浓度进行量测，获得量测数据即实时反馈，使主机直接可以根据uv量测模式获得的量测数据（pr浓度、h2o浓度）对剥离药液浓度进行实时调整。作为一种示例，第一量测周期为4分钟。可以理解的是，第一量测周期是量测两个tank的剥离药液中的光阻浓度和水浓度的时间。

本实施例中，在第一量测周期内执行uv量测模式，获得剥离药液中的光阻浓度和水浓度量测数据并反馈后，将继续多次执行uv量测模式，对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据，例如，在20分钟的时长内可以执行5次uv量测模式，获得5个剥离药液中的光阻浓度和水浓度的量测数据。每一次反馈的量测数据，都可以供主机对剥离药液浓度进行实时调整。

滴定量测模式耗时较长，基于此特点，本实施例的uv量测模式会先于所述滴定量测模式执行，或者与滴定量测模式同时执行。由于在执行uv量测模式时，量测数据会实时反馈，不用等待滴定量测模式获得量测数据后再一起反馈，将有效消除滴定量测模式的时长带来的负面影响。作为一种示例，第二量测周期为40分钟。可以理解的是，第二量测周期是量测两个tank的剥离药液中的胺、二氧化碳-胺的时间。

考虑到滴定量测模式获得的量测数据准确率较高，因此也可以在执行滴定量测模式时，也对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测，这样滴定量测模式在第二量测周期获得量测数据就包括了光阻浓度、水浓度、胺浓度和二氧化碳-胺浓度，监控了所有成分。

uv量测模式至少执行一次之后再执行滴定量测模式，相当于单线顺序量测。uv量测模式和滴定量测模式可以各自执行不同的数量，执行uv量测模式的次数多于执行滴定量测模式的次数，例如uv量测模式执行x1次，滴定量测模式执行x2次，量测x1次pr、h2o浓度后，再量测x2次amine、co2-amine浓度，这样可在不改造硬件结构条件下缩短pr量测周期，更实时反馈pr浓度。当然，为了不过分拖延滴定量测的执行，uv量测模式花费的总时间应不超过滴定量测模式的第二量测周期。例如在80分钟内，执行10次uv量测模式（耗时4分钟×10=40分钟）后，再执行1次滴定量测（耗时40分钟），可产出10笔pr&h2o的量测数据+1笔amine、co2-amine的量测数据；在执行滴定量测模式时如果也对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测，则在前述80分钟内可产出11笔pr&h2o的量测数据+1笔amine、co2-amine的量测数据。而采用现有的量测模式，80分钟仅可产出2笔pr、h2o、amine、co2-amine的数据。由于pr浓度管控是以pr浓度调整forcedrain的量，故这样可大大缩短pr的量测周期。可以理解的是，如果是在60分钟内，执行5次uv量测模式（耗时4分钟×5=20分钟）后，再执行1次滴定量测（耗时40分钟），可产出5笔pr&h2o的量测数据+1笔amine、co2-amine的量测数据；在执行滴定量测模式时如果也对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测，则在前述60分钟内可产出6笔pr&h2o的量测数据+1笔amine、co2-amine的量测数据。而采用现有的量测模式，60分钟仅可产出1笔pr、h2o、amine、co2-amine的数据。

uv量测模式和滴定量测模式同时执行，相当于双线并行量测，则需要对现有的量测系统结构进行调整（后述本发明实施例二将具体说明）。两种量测模式同时执行，没有时间上的先后，相互之间完全独立开来，互不干扰。uv量测模式下获得pr、h2o浓度后立即向主机反馈，然后进行下一次量测，同时用于量测的剥离药液可直接回流回主机台，不会因此造成药液浪费。滴定量测可单独进行，待滴定量测完成后再反馈量测数据。这样在80分钟内，对比现有量测方式仅能获得2笔量测数据，本实施例的双线并行量测可获得20笔pr&h2o的量测数据+2笔amine、co2-amine的量测数据；同时，在同样的时间内双线并行量测获得的量测数据也多于前述本实施例的单线顺序量测，对于药液浓度的调整更精确。

请参照图2、图3所示，相应于本发明实施例一，本发明实施例二提供一种剥离药液成分量测系统，包括：

紫外分光光度uv量测单元，用于执行uv量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；

滴定量测单元，用于执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；

所述uv量测单元至少执行一次所述uv量测模式之后，所述滴定量测单元再执行所述滴定量测模式，或者所述uv量测模式和所述滴定量测模式同时执行。

具体地，图2所示为uv量测模式和滴定量测模式单线顺序量测时，本实施例的量测系统的原理框图。与现有技术相比，本实施例在uv量测单元执行uv量测模式时，实时向主机反馈量测数据，不用等待滴定量测单元执行滴定量测模式获得量测数据后再一起反馈，将有效消除滴定量测模式的时长带来的负面影响。

相应地，图3所示为uv量测模式和滴定量测模式双线并行量测时，本实施例的量测系统的原理框图。与现有技术相比，本实施例改进了线路连接，uv量测单元和滴定量测单元均直接对剥离药液采样进行量测，两种量测模式同时执行，没有时间上的先后，相互之间完全独立开来，互不干扰。uv量测模式下获得pr、h2o浓度后立即向主机反馈，然后进行下一次量测，同时用于量测的剥离药液可直接回流回主机台，不会因此造成药液浪费。滴定量测可单独进行，待滴定量测完成后再反馈量测数据。

进一步地，所述滴定量测单元还用于执行所述滴定量测模式时，在所述第二量测周期内还对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测并反馈量测数据。这样滴定量测模式在第二量测周期获得量测数据就包括了光阻浓度、水浓度、胺浓度和二氧化碳-胺浓度，监控了所有成分。

进一步地，所述uv量测模式执行多次之后再执行所述滴定量测模式，执行uv量测模式的次数多于执行滴定量测模式的次数，例如uv量测模式执行x1次，滴定量测模式执行x2次，量测x1次pr、h2o浓度后，再量测x2次amine、co2-amine浓度，这样可在不改造硬件结构条件下缩短pr量测周期，更实时反馈pr浓度。当然，为了不过分拖延滴定量测的执行，uv量测模式花费的总时间应不超过滴定量测模式的第二量测周期。

作为一种示例，第一量测周期为4分钟。可以理解的是，第一量测周期是量测两个tank的剥离药液中的光阻浓度和水浓度的时间。作为一种示例，第二量测周期为40分钟。可以理解的是，第二量测周期是量测两个tank的剥离药液中的胺、二氧化碳-胺的时间。

通过上述说明可知，本发明实施例的有益效果在于：根据uv量测速度快的特点，可在其量测完成后即反馈量测数据，同时再次取样立即进行下一次量测，这样pr浓度数据的产出周期可大大缩短，且能及时量测pr浓度，以减少药液消耗，维持pr浓度在一定水准，提高制程稳定性；而amine、co2-amine滴定量测时间较长，可使其单独量测，这样能监控药液所有成分浓度。

以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。