一种位置检测机构及位置检测方法与流程

本发明涉及位置检测领域，特别涉及一种用于辅助对位检测的位置检测机构及位置检测方法。

背景技术：

精细金属掩膜(fmmmask，简称fmm)模式，是通过蒸镀方式将oled材料按照预定程序蒸镀到ltps背板上，利用fmm上的图形，蒸镀红绿蓝有机物到规定的图形位置上。目前设备在检测fmm是否与ltps背板的位置匹配的时候，即，二者是否对位的时候，通常采用图像传感器(ccd)来进行检测，由于ccd对位调整的能力是有限的(即，ccd在竖直方向上调整距离的精度在一定的范围内)，当遇到较大下垂量的fmm的时候，会出现对位不正常的情况，例如需要对位的高度大于ccd的对位调整能力，导致对位ng；而即便后期完成对位，但是消耗时间过长，影响工艺时间，降低生产率，降低产能。

技术实现要素：

本发明所要解决的问题是，提供一种能够精准的驱动图像传感器移动至目标位置以对待测物体的位置信息进行精准检测的位置检测机构以及位置检测方法。

为了解决上述问题，本发明提供一种位置检测机构，包括：

图像传感器，其位于待测物体的上方并用于检测所述待测物体的位置信息；

激光检测器，其设置为多个，所述激光检测器用于检测所述图像传感器相对于所述待测物体的高度信息；以及

驱动器，其基于所述高度信息和预定高度阈值驱动所述图像传感器移动至目标位置。

作为优选，多个所述激光检测器沿所述图像传感器的周向排布，所述图像传感器位于多个所述图像传感器的重心处。

作为优选，所述图像传感器与多个所述激光检测器固定在连接件上。

作为优选，所述连接件具有用于固定所述图像传感器的第一固定孔和与多个所述激光检测器一一对应用于分别固定多个所述激光检测器的多个第二固定孔。

作为优选，所述驱动器包括与所述图像传感器相连用于驱动所述图像传感器移动的电机和用于控制所述电机运行的驱动控制器，所述驱动控制器基于所述高度信息和预定高度阈值驱动所述电机将所述图像传感器移动至目标位置。

本发明同时提供一种位置检测方法，包括：

获取多条关于图像传感器相对于待测物体的高度信息，所述图像传感器位于待测物体的上方并用于检测待测物体的位置信息；

根据所述高度信息和预定高度阈值将所述图像传感器驱动至目标位置，。

作为优选，所述根据所述高度信息和预定高度阈值将所述图像传感器驱动至目标位置具体为：

对多条所述高度信息进行平均值计算，根据计算结果与所述预定高度阈值将所述图像传感器驱动至目标位置。

作为优选，多条所述高度信息分别通过多个激光检测器获取。

作为优选，多个所述激光检测器沿所述图像传感器的周向排布，所述图像传感器位于多个所述图像传感器的重心处。

作为优选，所述图像传感器与多个所述激光检测器固定在连接件上。

本发明的位置检测机构及位置检测方法的有益效果在于，通过多个激光检测器对图像传感器相对待测物体的高度信息进行同步检测，并通过对多条高度信息的平均值计算来更加精准的确定图像传感器相对待测物体的高度，使驱动器能够基于该高度以及预设高度阈值将图像传感器移动至目标位置，以对待测物体进行准确的位置检测。

附图说明

图1为本发明中的位置检测机构的结构示意图。

图2为本发明中的连接件的一实施例的结构示意图。

图3为本发明中的连接件的另一实施例的结构示意图。

图4为本发明中的位置检测方法的流程图。

附图标记：

1-图像传感器；2-激光检测器；3-连接件；4-第一固定孔；5-第二固定孔。

具体实施方式

以下结合附图对本发明进行详细描述。

如图1所示，本发明提供一种位置检测机构，其包括：

图像传感器1，其位于待测物体的上方并能够检测待测物体的位置信息，此外，图像传感器1还可用于检测待测物体的尺寸信息；

激光检测器2，其设置为多个，各激光检测器2均用于检测图像传感器1相对于待测物体的高度信息；以及

驱动器(未图示)，其基于高度信息和预定高度阈值驱动图像传感器1移动至目标位置，驱动器的驱动端可以连接至图像传感器1或者图像传感器1所安装至的支架等。其中该预设高度阈值是基于图像传感器1相对于待测物体的期望高度而设定的，当图像传感器1相对于待测物体的高度在该高度阈值内时可确保图像传感器1检测的待测物体的位置信息具有高准确度。

本申请中的位置检测机构通过设置多个激光检测器2来同时检测图像传感器1相对待测物体的高度信息，使得驱动器能够基于该多个高度信息更加精准的确定图像传感器1的实际高度，并根据该实际高度与预设高度阈值确定出图像传感器1的最佳检测位置，也即，目标位置，进而保证图像传感器1能够被准确的驱动至目标位置以对待测物体进行位置检测，待测物体例如为oled蒸镀工序中使用的金属掩膜。

进一步地，激光检测器2在检测高度信息时，其激光投射方向垂直于待测物体所在平面。激光检测器2的数量不唯一，例如可为两个、三个等，为保证各激光检测器2的检测数据间的误差均位于正常范围内，使各激光检测器2检测出的数据具有一定精准性，需对各激光检测器2的位置进行限定，优选为将多个激光检测器2与图像传感器1设置在同一高度上并同时沿图像传感器1的周向排布，而图像传感器1位于多个图像传感器1的重心处。例如，当激光检测器2为两个时，两个激光检测器2分别位于图像传感器1的两侧且位置对称；当激光检测器2为三个时，三个激光检测器2环绕图像传感器1设置，且三个激光检测器2间的连线构成一等边三角形，激光检测器2位于该等边三角形的重心处。

优选地，本实施例中的多个激光检测器2与图像传感器1均固定在一连接件3上，该连接件3的设置用于与多个激光检测器2以及图像传感器1形成一整体，以在驱动器驱动图像传感器1移动时激光检测器2能够随图像传感器1一同移动，且在移动时仍能够保证各激光检测器2与图像传感器1间的相对位置固定，不会产生较大的位移偏差，保证激光检测器2能够实时精确检测图像传感器1相对于待测物体的高度，辅助驱动器的运行，确保图像传感器1准确移动至目标位置。

进一步地，连接件3具有用于固定图像传感器1的第一固定孔4和与多个激光检测器2一一对应用于分别固定多个激光检测器2的多个第二固定孔5。固定孔的形状不唯一，可根据激光检测器2和图像传感器1的外形而定。结合图2所示，图中所示的连接件3的结构是对应具有两个激光检测器2的款式，其包含两个第二固定孔5和位于两个第二固定孔5之间的一个第一固定孔4。图3所示的连接件3的结构是对应具有三个激光检测器2的款式，其包含三个第二固定孔5和一个第一固定孔4，其中三个第二固定孔5沿第一固定孔4的周向均匀排布。

继续结合图1所示，本实施例中的驱动器可以包括与图像传感器1相连用于驱动图像传感器1移动的电机和用于控制电机运行的驱动控制器。当位置检测机构运行时，激光检测器2首先检测图像传感器1相对待测物体的高度信息，接着会将高度信息均发送至驱动控制器中，由驱动控制器根据获取的高度信息和预定的高度阈值确定出图像传感器1的目标位置信息，最后根据该目标位置信息控制电机运转，使电机驱动图像传感器1以及激光检测器2整体一同移动，待图像传感器1移动至目标位置时，电机停止驱动。

如图4所示，本发明实施例同时提供一种位置检测方法，其包括：

s1:获取多条关于图像传感器1相对于待测物体的高度信息，图像传感器1位于待测物体的上方；

s2:根据该多条高度信息和预定高度阈值将图像传感器1驱动至目标位置，其中，图像传感器1用于检测待测物体的位置信息，目标位置即为图像传感器1相对于待测物体的最佳高度检测位置，当图像传感器1位于该位置时，可对待测物体进行精准的检测。目标位置的设置不唯一，具体需根据图像传感器1的具体性能而定。

进一步地，步骤s1中的多条高度信息分别通过多个激光检测器2获取。激光检测器2的设置数量不唯一，如设置两个、三个、五个等，根据具体情况而定。为保证获取的高度信息准确度高，本实施例中的图像传感器1与多个激光检测器2均固定在一连接件3上，以通过该连接件3使图像传感器1与多个激光检测器2连接形成一整体，并均位于同一水平高度上，以当图像传感器1移动时激光检测器2能够随图像传感器1一同移动，进而实时精准检测图像传感器1相对待测物体的高度信息，使图像传感器1能够快速并准确的移动至目标位置。

图像传感器1与多个激光检测器2的设置位置不唯一，本实施例中优选为将多个激光检测器2沿图像传感器1的周向排布，图像传感器1位于多个图像传感器1的重心处，或为中心处。

进一步地，步骤s2具体为：

对获取的多条高度信息进行平均值计算，根据计算结果与预定高度阈值将图像传感器1驱动至目标位置。

具体地，本实施例中该步骤的执行主体为驱动器，以驱动器获取两条高度信息为例，该两条高度信息分别为z1和z2，驱动器获取该两条高度信息后对其进行平均值计算得到z0，接着将z0与预设高度阈值进行比对判断以确定出目标位置，该预设高度阈值即为用户根据图像传感器1的性能设置的关于测试位置相对于待测物体的高度值，例如驱动器判断z0大于预设高度阈值，也即z0超出预设高度阈值中的最大高度值，此时驱动器可选择将对应该最大高度值的位置设定为目标位置，接着根据该位置驱动图像传感器1移动。在图像传感器1移动的同时，两个随之一起移动的激光检测器2实时检测图像传感器1相对待测物体的高度信息，以辅助驱动器驱动图像传感器1，使在图像传感器1移动至目标位置后停止，避免发生位置偏移。

进一步地，本实施例中由于图像传感器1位于多个激光检测器2的重心处，故多个激光检测器2在检测高度信息时，其激光投射方向不仅可选择垂直于待测物体所在平面的方式进行检测，还可通过将各激光检测器2经一定程度的偏转后，使其聚焦点均汇聚在待测物体上，以获得待测物体的精确的位置信息，驱动器可根据该位置信息和预设高度阈值驱动图像传感器1移动。

以上实施例仅为本发明的示例性实施例，不用于限制本发明，本发明的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本发明的实质和保护范围内，对本发明做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本发明的保护范围内。