技术特征:
技术总结
本发明公开了一种氧化钨纳米线气体传感器的响应类型控制方法,包括:二氧化硅基片的清洗、制备钨薄膜、制备WO2纳米线、制备WO3纳米线、氧化钨纳米线气体传感器的制备的步骤。本发明通过控制WO3纳米线在氧化过程中的温度,调整了WO3纳米线材料的性质改变了其在气体测试过程中所表现出的响应类型,即经过480℃退火后表现为N‑型响应类型,经过440℃和460℃退火后表现为P‑型响应类型。这种二氧化硅基的WO3纳米线结构在响应过程发生变化后,气敏性质没有发生较大变化,可以利用这种性质将WO3应用到更加广泛的气体传感器中。
技术研发人员:赵博硕;胡明
受保护的技术使用者:天津大学
技术研发日:2017.10.27
技术公布日:2018.04.13