技术总结
一种使用X射线来分析样本的方法，该方法包括以下步骤：‑ 用输入X射线照射样本；‑使用检测器来检测响应于所述照射从该样本放射出的输出X射线的通量，该方法进一步包括以下步骤：‑ 使用检测器来截获所述通量的至少一部分以便产生该样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij}，藉此，该集合{Ij}的势为M>1。‑ 针对每个图像Ij中的每个像素pi，确定累积信号强度Sij，从而产生相关联的信号强度集合{Sij}。‑使用集合{Sij}来计算以下值：▪每个像素位置i的平均信号强度S；▪ 每个像素位置i的S中的方差σ2S.‑使用这些值S和σ2S来产生每个像素的平均X射线光子能量E的图。
技术研发人员：W.K.富拉加;A.M.金斯顿;G.R.姆耶斯;M.帕兹雷斯;T.K.瓦斯洛特
受保护的技术使用者：FEI公司
技术研发日：2017.12.01
技术公布日：2018.07.24