1.三指交错结构的电容式微波功率传感器，其特征在于，该传感器以砷化镓为衬底，在衬底上设有共面波导CPW传输线、在线电容式微波功率传感器；所述共面波导CPW传输线包括CPW信号线以及设置在信号线两侧的第一地线和第二地线；所述在线电容式微波功率传感器由三个交错固定在衬底上的MEMS悬臂梁构成，其中，第一MEMS悬臂梁设置在CPW信号线和第一地线之间，第二、第三MEMS悬臂梁设置在CPW信号线和第二地线之间，第二、第一、第三MEMS悬臂梁依次成三指交错状排列分布；第二、第三MEMS悬臂梁的下表面分别镀有绝缘层，形成一个电容，第一MEMS悬臂梁的下表面未镀有绝缘层，作为该电容的电介质；从第二、第三MEMS悬臂梁分别引出两个电极，作为电容检测端口。
2.根据权利要求1所述的三指交错结构的电容式微波功率传感器，其特征在于，每个所述MEMS悬臂梁均通过桥墩固定在衬底上。
3.根据权利要求2所述的三指交错结构的电容式微波功率传感器，其特征在于，桥墩由金制作成。
4.根据权利要求1所述的三指交错结构的电容式微波功率传感器，其特征在于，每个所述MEMS悬臂梁均由金制作而成。
5.根据权利要求1所述的三指交错结构的电容式微波功率传感器，其特征在于，所述共面波导CPW传输线设置在衬底的中间。
6.根据权利要求1所述的三指交错结构的电容式微波功率传感器，其特征在于，两个所述电极由金制作。
7.根据权利要求1所述的三指交错结构的电容式微波功率传感器，其特征在于，第二、第三MEMS悬臂梁下表面的绝缘层均为氮化硅。