本实用新型涉及硅片切割装置技术领域，具体涉及一种用于硅片切割的金刚石线切片机轴承箱震动检测装置。
背景技术：
硅片具有禁带宽度大、临界击穿场强高、热导率高等优点，是制作高压、大功率半导体器件的理想材料。由于硅片加工的晶体原料莫氏硬度非常高，加工难度很大。当晶体的直径达到2英寸时，常规的内圆切割机不能有效地工作，必须采用金刚石线切割技术。现有的金刚线切片机的切割速度在不断的提升，切割速度提升的同时也加剧了切片机轴承箱的损坏率。轴承箱的损坏有的是直接抱死，抱死一个轴承箱就要报废一板硅棒、一根轴芯，给现场带来了很大的损失。这就给设备提出了新的要求，要能提前预知、预警轴承箱的异常情况；不然会给现场的产能带来很大的影响，同时也影响了现场设备的稼动率、增加了维修成本。
技术实现要素：
针对现有技术不足，本实用新型提供了一种提前预警的金刚石线切片机轴承箱震动检测装置。
本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：一种金刚石线切片机轴承箱震动检测装置，其包括设置于轴承箱端盖上的震动检测仪、逆变器和报警装置，所述的震动检测仪和逆变器连接，用于将检测的震动数据传递给逆变器；所述的逆变器接收震动检测数据经模数转换后输出震动、包络数值，所述的逆变器与报警装置连接，用于在输出数值超出预设值时报警。
进一步地，所述的一种金刚石线切片机轴承箱震动检测装置还包括缓冲输出接口，用于采集缓冲数据。
进一步地，所述的报警装置为声光报警器。
进一步地，所述的震动检测仪、逆变器和报警装置与外接电源连接供电。
与现有技术相比，本实用新型具备的有益效果为：
（1）本实用新型的检测装置可以同时测量设备的震动总值和轴承包络总值，输出的量程可以调节；
（2）该震动检测仪的传感器具有可热插拔，同时具有传感器诊断和报警功能；
（3）提高了轴承箱好坏判断的准确性；
（4）可以提前预知轴承箱的损坏状况，避免现场切片机的轴承箱抱死现象，减少现场的原料浪费；
（5）减少故障率、提升稼动率，同时节约维修成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
如图1所示的一种金刚石线切片机轴承箱震动检测装置，其包括设置于轴承箱端盖1上的震动检测仪2、逆变器3和报警装置4，所述的震动检测仪2和逆变器3连接，用于将检测的震动数据传递给逆变器3，利用震动检测仪2对轴承箱运行状态（加速度、震动）进行监测，同时把震动检测仪2监测的数据作为逆变器3的输入信号；所述的逆变器3接收震动检测数据，经过信号的采集、分析及归一化处理，输出代表震动速度总值和轴承包络总值，利用震动、包络数值的变化趋势可以提前预知轴承箱的损坏；所述的逆变器是一款专用的变送器，其采用一路加速度传感器输入，同时输出总振动速度值（10-1000Hz范围的RMS总值，单位mm/s）和轴承包络值两路4-20mA标准信号；所述的逆变器3与报警装置4连接，用于在输出数值超出预设值时报警，报警装置可以采用声光报警器；更进一步的是，可以在报警装置内预设不同的报警数值，当输出数值超出不同的报警数值时分别发出报警、警告等不同的报警方式。
进一步地，所述的一种金刚石线切片机轴承箱震动检测装置还包括缓冲输出接口5，用于采集缓冲数据，以便可以采用不同的诊断与分析仪器对切片机轴承箱的运行状态进行精密的诊断与分析。缓冲输出接口内部与用于保存数据的金刚石线切片机内置工控机硬盘连接。
进一步地，所述的震动检测仪2、逆变器3和报警装置4与外接12V直流电源连接供电。
上述的金刚石线切片机轴承箱震动检测装置可以实现轴承箱好坏的提前预警，避免现场切片机的轴承箱抱死现象，减少现场的原料浪费，同时节约维修成本。