新型晶圆背面缺陷检查装置的制作方法

本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，尤其是涉及一种新型晶圆背面缺陷检查装置。

背景技术：

公开号为CN206292186U的实用新型公开了一种晶圆背面缺陷检查装置，包括：基座；第一检测组件，设置于所述基座上，用于检查晶圆正面缺陷；第二检测组件，设置于所述基座上，并通过多个夹持装置固定晶圆。本实用新型提出的晶圆背面缺陷检查装置，通过增设的第二检测组件从侧边吸附晶圆边缘，避免了直接吸附晶圆背面造成待检查区域被遮挡的情况发生，对于晶圆背面缺陷的检查影响降低到最小，同时可控制晶圆背面的最大倾角，使得目视观察更加清晰。

然而，第二检测组件的夹持装置通过吸盘固定晶圆，而用于安装吸盘的悬臂与整个弧形架体为一体结构，无法根据需要进行伸缩调节，从而无法改变吸盘在晶圆的吸附位置。

技术实现要素：

本实用新型的目的就是为了解决上述问题，提供一种新型晶圆背面缺陷检查装置，其用于安装吸盘的悬臂可以伸缩调节，以便于根据需要调节吸盘的吸附位置。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种新型晶圆背面缺陷检查装置，其包括：基座(1)；第一检测组件(2)，其设置于所述基座(1)上，用于检查晶圆正面缺陷；第二检测组件(3)，其设置于所述基座(1)上，并通过多个夹持装置(4)固定晶圆，所述夹持装置为安装于弧形架体所设悬臂的吸盘；所述悬臂包括固定于弧形架体的后悬臂(4b)以及用于安装吸盘的前悬臂(4a)，所述前悬臂、后悬臂之间安装有伸缩机构。

进一步，所述伸缩机构为伸缩气缸组件。

进一步，所述伸缩机构包括：呈T字形的伸缩杆(5a)，所述后悬臂设置有与伸缩杆配合的T形滑动槽(5b)，所述伸缩杆滑动安装于所述T形滑动槽中，所述伸缩杆的前端部固定于前悬臂，所述伸缩杆设置有开关柱(5c)，所述开关柱通过铰链(5d)而安装有可水平翻折的柱体(5e)，所述T形滑动槽的边缘等间距设置有若干个与主体配合而锁住伸缩杆的锁定槽(5f)。

进一步，所述前悬臂、后悬臂之间设置有复位弹簧(5g)。

本实用新型具有如下有益效果：悬臂可以通过伸缩装置而将前悬臂进行位置调节，从而方便调整吸盘在晶圆上吸附的位置。

附图说明

图1为本实用新型第一实施方式中新型晶圆背面缺陷检查装置示意图；

图2为本实用新型第二实施方式中悬臂局部示意图；

图3为本实用新型第二实施方式中开关柱局部视图；

图4为本实用新型第二实施方式中伸缩杆剖视图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。

本实用新型的第一实施方式提供了一种新型晶圆背面缺陷检查装置，其包括：基座1；第一检测组件2，其设置于所述基座1上，用于检查晶圆正面缺陷；第二检测组件3，其设置于所述基座1上，并通过多个夹持装置4固定晶圆，所述夹持装置为安装于弧形架体所设悬臂的吸盘；前述结构属于公知技术，可参考公开号为CN206292186U的实用新型专利。

本实施例中，参见图1，所述悬臂包括固定于弧形架体的后悬臂4b以及用于安装吸盘的前悬臂4a，所述前悬臂、后悬臂之间安装有伸缩机构，例如伸缩气缸组件，该伸缩气缸组件嵌入安装于前后悬臂，从而在图1中处于不可视状态。

本实用新型的第二实施方式提供了一种新型晶圆背面缺陷检查装置，其与第一实施方式不同之处在于，参见图2-4，所述伸缩机构包括：呈T字形的伸缩杆5a，所述后悬臂设置有与伸缩杆配合的T形滑动槽5b，所述伸缩杆滑动安装于所述T形滑动槽中，所述伸缩杆的前端部固定于前悬臂，所述伸缩杆设置有开关柱5c，所述开关柱通过铰链5d而安装有可水平翻折的柱体5e，所述T形滑动槽的边缘等间距设置有若7个与主体配合而锁住伸缩杆的锁定槽5f，当开关柱滑动到锁定位置后，柱体可以翻折呈水平状而嵌入锁定槽中，从而有效锁定前后悬臂之间的位置。

在图3中，示出了开关柱与伸缩杆之间连接的安装座体C，而安装座体通过铰链安装可水平翻折到锁定槽的柱体。

值得一提的是，所述前悬臂、后悬臂之间设置有复位弹簧5g，从而方便前后悬臂整体复位作业。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本实用新型的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本实用新型的精神和范围。