检查装置及检查方法与流程

本发明涉及一种检查对象物的表面形态的技术。

背景技术：

以往，已知有一种通过拍摄对象物的表面中的一部分区域，来检查该表面的形态的技术。

例如，在专利文献1中公开了一种技术，该技术通过一边以不同的照射条件朝对象物照射光，一边对该对象物进行多次拍摄，从而检查该表面的形态，其中，该对象物为整个表面具有多个微小的凹凸的状态(以下，将这种状态称为梨面状)

现有技术文献

专利文献1：日本特开2015-68668号公报

技术实现要素：

发明所要解决的问题

然而，对象物的整个表面未必是均匀的状态。例如，在通过锻造或铸造而形成的金属部件(例如，汽车部件)中，存在其表面包含镜面状的区域及梨面状的区域的情况。由于光的反射状态随着表面的状态而不同，因此在高精度地检查这种表面的形态的技术中，仍有改善的余地。

本发明是鉴于上述问题而完成发明的，其目的在于提供一种高精度地检查对象物的表面的形态的技术。

解决问题的技术方案

为了解决上述问题，第1实施方式的检查装置具有：保持部，将表面包含被检查区域的对象物进行保持，所述被检查区域具有作为镜面处理的对象的第一区域、以及不作为镜面处理的对象的第二区域；第一拍摄部，在从被保持在所述保持部的所述对象物观察时从第一方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第一方向拍摄所述被检查区域；第二拍摄部，在从被保持在所述保持部的所述对象物观察时从第二方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第二方向拍摄所述被检查区域；以及检查部，根据由所述第一拍摄部获得的第一拍摄图像来检查所述第一区域的形态，并且根据由所述第二拍摄部获得的第二拍摄图像来检查所述第二区域的形态，所述保持部是以成为所述第一区域的法线相比于所述第二方向更接近沿所述第一方向的位置关系的方式，保持所述对象物。

第2实施方式的检查装置根据第1实施方式所述的检查装置，所述检查装置还具有存储部，所述存储部存储与所述第一拍摄图像对应并且在上述第一区域的形态上无异常的图像即第一参照图像、以及与所述第二拍摄图像对应并且在所述第二区域的形态上无异常的图像即第二参照图像，所述检查部通过将所述第一拍摄图像与所述第一参照图像进行比较来检查所述第一区域的形态，并且通过将所述第二拍摄图像与所述第二参照图像进行比较来检查所述第二区域的形态。

第3实施方式的检查装置根据第2实施方式所述的检查装置，所述检查部通过仅对所述第一区域来将所述第一拍摄图像与所述第一参照图像进行比较来检查该第一区域的形态。

第4实施方式的检查装置根据第2或3实施方式所述的检查装置，所述检查部通过仅对所述第二区域来将所述第二拍摄图像与所述第二参照图像进行比较来检查该第二区域的形态。

第5实施方式的检查装置根据第1～4实施方式中任一项所述的检查装置，所述检查装置还具有旋转部，所述旋转部一边保持所述位置关系，一边使被保持在所述保持部的所述对象物绕旋转轴旋转。

第6实施方式的检查装置根据第5实施方式所述的检查装置，所述第一拍摄部通过在多个旋转角度中的每个旋转角度拍摄所述被检查区域来获得多个所述第一拍摄图像；所述检查部根据多个所述第一拍摄图像中的在所述第一区域内的亮度评价值最高的图像，检查所述第一区域的形态。

第7实施方式的检查装置根据第5或6实施方式所述的检查装置，所述第二拍摄部通过在多个旋转角度中的每个旋转角度拍摄所述被检查区域来获得多个所述第二拍摄图像，所述检查部根据多个所述第二拍摄图像，检查所述第二区域的形态。

第8实施方式的检查装置根据第1～7实施方式中任一项所述的检查装置，所述第一拍摄部具有在中心轴的周围配置的多个第一照相机、以及从多个所述第一照相机侧向所述被检查区域照射光的多个第一灯，所述第一拍摄部通过由各第一照相机拍摄被各第一灯照射的各被检查区域来获得多个所述第一拍摄图像，所述检查部根据多个所述多个第一拍摄图像中的在所述被检查区域内的亮度评价值最高的所述第一拍摄图像，检查所述第一区域的形态。

第9实施方式的检查装置根据第1～8实施方式中任一项所述的检查装置，所述第二拍摄部具有在中心轴的周围配置的多个第二照相机，以及从多个所述多个第二照相机侧向所述被检查区域照射光的多个第二灯，所述第二拍摄部通过由各第二照相机拍摄被各第二灯照射的各被检查区域来获得多个所述第二拍摄图像，所述检查部根据多个所述第二拍摄图像，检查所述第二区域的形态。

第10实施方式的检查方法包括：保持工序，将表面包含被检查区域的对象物进行保持，所述被检查区域具有作为镜面处理的对象的第一区域、以及不作为镜面处理的对象的第二区域；第一拍摄工序，在从通过所述保持工序保持的所述对象物观察时从第一方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第一方向拍摄所述被检查区域；第二拍摄工序，在从通过所述保持工序保持的所述对象物观察时从第二方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第二方向拍摄所述被检查区域；以及检查工序，根据通过所述第一拍摄工序获得的第一拍摄图像来检查所述第一区域的形态，并且根据通过所述第二拍摄工序获得的所述第二拍摄图像来检查所述第二区域的形态，在所述保持工序中，以成为所述第一区域的法线相比于所述第二方向更接近沿所述第一方向的位置关系的方式，保持所述对象物。

发明效果

根据第1～9实施方式的检查装置及第10实施方式的检查方法，能够高精度地检查对象物的表面形态。

附图说明

图1为示出检查装置1检查对象物9的状况的俯视图。

图2为从图1中的ii-ii端面观察检查装置1的端面图。

图3为第一拍摄图像310的一例。

图4为第二拍摄图像350的一例。

图5为示出对对象物9进行检查的一例的流程图。

图6为示出第一参照图像301的一例的图。

图7为示出第二参照图像305的一例的图。

图8为变形例的检查装置1a的纵端面图。

具体实施方式

下面，参照附图对实施方式进行说明。在附图中对具有相同的结构及功能的部分标记相同的附图标记，并省略重复说明。此外，各附图是示意性示出的图。

＜1实施方式＞

＜1.1检查装置1的结构＞

图1为示出检查装置1检查对象物9的状况的俯视图。图2为从图1中的ii-ii端面观察检查装置1的端面图。

检查装置1具有：保持部2，其保持对象物9；第一拍摄部10，其从铅垂上方拍摄被保持在保持部2的对象物9的表面；第二拍摄部20，其从斜上方(更具体而言，从水平面朝上方倾斜45度的方向)拍摄被保持在保持部2的对象物9的表面；及控制部8，其控制检查装置1的各部分。

对象物9是通过铸造而形成大致形状后，实施表面加工处理而获得的金属部件。下面，说明对象物9的制造过程的一例。在铸造时，形成与最终产品相同的形态的本体部分、及在最终产品中不需要的凸状部分，该凸状部分作为用以使在大致形状形成的过程中产生在铸物中的气泡从本体部分逸出的部分。接着，对铸物的整个表面执行梨面处理。作为这种梨面处理，例如，可举出使钢球撞击在铸物的表面而在该表面形成微小的凹凸的喷丸处理。然后，在梨面处理后，执行用于除去凸状部分中的在内部具有气泡的穴的部分的除去处理、及将除去后的部分精加工为镜面的镜面处理。作为这种除去处理及镜面处理，例如，可举出通过研磨来削除具有上述穴的部分的研磨处理。

作为该制造的结果，对象物9具有角部带有圆角的四方柱状的台部90(相当于上述本体部分的结构)、及从台部90的中央呈圆柱状突出的突起部91(从上述凸状部分除去具有上述穴的部分的结构)。

保持部2是上表面平坦的作业台，且从下方支持被载置于上表面的对象物9。如图2所示，对象物9在将突起部91朝向上方的状态下被载置于保持部2的上表面。

第一拍摄部10具有：第一灯41，其从被保持在保持部2的对象物9观察，从第一方向(本实施方式中为铅垂上方)向对象物9的表面照射光；及第一照相机31，其从该第一方向拍摄对象物9的表面。此处，作为光照射及拍摄的对象的区域，具体而言是对象物9的整个表面中的包含台部90的上表面的一部分及突起部91整体的区域。以下的说明中，将该区域称为被检查区域。

控制部8通过同时执行第一灯41的照明及第一照相机31的拍摄，由此在从第一方向向对象物9的被检查区域照射光的状态下，从该第一方向拍摄对象物9的被检查区域。图3为通过拍摄而获得的第一拍摄图像310的一例。在图3中，施加网点的部分是实际被执行镜面处理的部分。

第二拍摄部20具有：4个第二灯42～45，其从被保持在保持部2的对象物9观察，从4个第二方向(本实施方式中为从水平面朝上方倾斜45度的方向)向对象物9的被检查区域照射光；及4个第二照相机32～35，其从该4个第二方向拍摄对象物9的被检查区域。第一照相机31及各第二照相机32～35，例如由具有ccd(chargecoupleddevice：电荷耦合元件)或cmos(complementarymetal-oxidesemiconductor：互补金属氧化物半导体)等的数位相机构成。此外，第一灯41及各第二灯42～45例如由led(lightemittingdiode：发光二极管)光源构成。

各第二照相机32～35等间隔(更具体地说是俯视时各相隔90度的间隔)地配置在沿铅垂方向的中心轴j的周围。此外，各第二灯42～45，是以从各第二照相机32～35侧朝被检查区域照射光的方式，与各第二照相机32～35一体设置。

控制部8通过同时执行各第二灯42～45的照明及对应的各第二照相机32～35的拍摄，由此在从各第二方向向对象物9的被检查区域照射光的状态下，从该各第二方向拍摄对象物9的被检查区域。图4为通过此拍摄而获得的4个第二拍摄图像中的、通过第二灯45及第二照相机35的动作而获得的第二拍摄图像350的一例。在图4中，施加网点的部分是实际被执行镜面处理的部分。

如上所述，对象物9以将突起部91朝向上方的状态被载置于保持部2的上表面。因此，对象物9的整个表面中的相当于突起部91的上表面的区域(俯视为圆形的区域)成为镜面处理的对象即第一区域910，而对象物9的整个表面中的除了第一区域910外的区域，成为不作为镜面处理的对象的第二区域920。

然而，在制造对象物9的过程中会无意地在第一区域910中产生气泡的穴100，由此会存在在第一区域910中的相当于穴100的区域未被实施镜面处理(例如，研磨处理)的情况。此外，会存在在制造对象物9的过程中在第二区域920中无意地产生毛刺101的情况。这种对象物9表面的形态异常(穴100或毛刺101等)将会成为对象物9变成不良品的原因。因此，在利用检查装置1检查对象物9时，要求高精度地检查这种形态异常。

在检查装置1中，第一照相机31及4个第二照相机32～35的各光轴k1～k5是通过点p。并且，该点p位于突起部91的上表面的大致中央。因此，在第一照相机31及4个第二照相机32～35中，能够拍摄以该点p为中心的大致相同范围内的区域(对象物9的被检查区域)。

控制部8是用以控制检查装置1的各部分的动作的结构。控制部8由计算机构成，该计算机具有cpu等运算处理部、ram等存储器、及硬盘驱动器等存储部。在存储部内安装有用以执行对象物9的检查的程序。

控制部8与第一拍摄部10及第二拍摄部20电连接。存储在存储部中的程序被暂时读取至存储器，运算处理部根据该程序进行运算处理。由此，控制部8对第一拍摄部10及第二拍摄部20进行动作控制。此外，控制部8发挥作为后述的检查部的功能。

控制部8可双向通信地与设置在检查装置1的外部的pc7连接。由检查装置1获得的各数据自动地被发送给pc7。此外，在检查装置1的使用者从pc7输入了操作信息的情况下，该操作信息被发送给控制部8，控制部8根据该操作信息来控制检查装置1内的各部分。

＜1.2检查的一例＞

图5为示出对对象物9进行检查的一例的流程图。下面，参照图5对依次检查通过相同的制造方法而获得的多个对象物9时的流程进行说明。

首先，在控制部8的存储部中存储第一参照图像301及4个第二参照图像(在附图中仅图示4个第二参照图像中的第二参照图像305)(步骤s1)。图6为示出第一参照图像301的一例的图。图7为示出第二参照图像305的一例的图。在图6及图7中，施加网点的部分是镜面处理的对象即第一区域910。此处，第一参照图像301是与第一拍摄图像310对应(换言之，是从第一方向观察对象物9的图像)且在第一区域910的形态上无异常的图像。4个第二参照图像是与4个第二拍摄图像的各个对应(换言之，是从4个第二方向分别观察对象物9的图像)且在第二区域920的形态上无异常的图像。

第一参照图像301及4个第二参照图像可以通过各种方式来准备。例如，可以将对一个良品的对象物9(在形态上无异常的对象物9)预先获得的第一拍摄图像及4个第二拍摄图像用作第一参照图像301及4个第二参照图像。此外，也可以对多个良品的对象物9预先获得的来自第一方向的多个第一拍摄图像的平均图像、及来自4个第二方向的多个第二拍摄图像的平均图像用作第一参照图像301及4个第二参照图像。此外，还可以将根据制造对象物9时的设计数据而生成的、且假设为从第一方向及4个第二方向观察良品的对象物9的情况下的图像分别用作第一参照图像301及4个第二参照图像。

其次，在第一参照图像301及4个第二参照图像中，设定镜面处理的对象即第一区域910、及不作为镜面处理对象的第二区域920(步骤s2)。第一区域910及第二区域920可以根据来自pc7的操作者的输入来设定。此外，第一区域910及第二区域920也可通过根据第一参照图像301及4个第二参照图像的图像处理来自动设定。例如，可以将第一参照图像301及4个第二参照图像中的亮度相对较高的部分自动设定为第一区域910，而将亮度相对较低的部分自动设定为第二区域920。

接着，对象物9以图1及图2所示的姿势被载置于保持部2的上表面(步骤s3：保持工序)。可以通过专用的搬送机构自动地将对象物9载置于保持部2上，也可以通过检查装置1的使用者手动地将对象物9载置于保持部2上。在该保持工序中，保持部2以第一区域910的法线成为相比于4个第二方向更接近沿第一方向的方向的位置关系的方式保持对象物9。关于以这种方式保持对象物9的理由，将在后述的＜1.3功效＞中进行详细说明。

接着，第一拍摄部10及第二拍摄部20拍摄对象物9，获取第一拍摄图像310及4个第二拍摄图像(步骤s4)。

首先，第一拍摄部10在由第一灯41从第一方向向被检查区域照射光的状态下，由第一照相机31从该第一方向拍摄被检查区域(第一拍摄工序)。如此，若获得图3所示的第一拍摄图像310，则结束第一照相机31的拍摄及第一灯41的光照射。

接着，第二拍摄部20在由第二灯42从某第二方向向被检查区域照射光的状态下，由第二照相机32从该第二方向拍摄被检查区域(第二拍摄工序)。如此，若获得来自该第二方向的第二拍摄图像，则结束第二照相机32的拍摄及第二灯42的光照射。

接着，第二拍摄部20在由第二灯43从另一第二方向向被检查区域照射光的状态下，由第二照相机33从该第二方向拍摄被检查区域(第二拍摄工序)。如此，若获得来自该第二方向的第二拍摄图像，则结束第二照相机33的拍摄及第二灯43的光照射。

接着，第二拍摄部20在由第二灯44从又一第二方向向被检查区域照射光的状态下，由第二照相机34从该第二方向拍摄被检查区域(第二拍摄工序)。如此，若获得来自该第二方向的第二拍摄图像，则结束第二照相机34的拍摄及第二灯44的光照射。

接着，第二拍摄部20在由第二灯45从又一第二方向向被检查区域照射光的状态下，由第二照相机35从该第二方向拍摄被检查区域(第二拍摄工序)。如此，若获得来自该第二方向的第二拍摄图像(图4所示的第二拍摄图像350)，则结束第二照相机35的拍摄及第二灯45的光照射。

然后，控制部8(检查部)根据在第一拍摄工序中获得的第一拍摄图象310，检查第一区域910的形态(步骤s5：检查工序)。

具体而言，控制部8在对第一拍摄图像310及第一参照图像301执行了各种滤波处理(例如，平滑化滤波处理)后，通过进行两图像的平行移动或旋转，从而进行两图像的整体的位置对准处理(也称为预对准处理)。在该预对准处理后，控制部8以仅在第一区域910使两图像的各像素值的差成为最小的方式，通过进行两图像的平行移动或旋转来进行两图像的局部的位置对准处理(也称为晃动处理)。

然后，控制部8通过比较第一拍摄图像310与第一参照图像301，来检查第一区域910的形态。具体而言，在第一拍摄图像310与第一参照图像301的第一区域910内的各像素的一致度大于某阈值的情况下，判断为所拍摄的对象物9在第一区域910中无异常(良品)。另一方面，在第一拍摄图像310与第一参照图像301的第一区域910内的各像素的一致度小于某阈值的情况下，判断为所拍摄的对象物9在第一区域910中有异常(不良品)。

接着，控制部8(检查部)根据在第二拍摄工序中获得的4个第二拍摄图像，检查第二区域920的形态(步骤s6：检查工序)。

具体而言，控制部8在对4个第二拍摄图像及4个第二参照图像执行了各种滤波处理(例如，平滑化滤波处理)后，通过进行两图像的平行移动或旋转，从而进行两图像的整体的位置对准处理。在该预对准处理后，控制部8以仅在第二区域920使两图像的各像素值的差成为最小的方式，通过进行两图像的平行移动或旋转来进行两图像的局部的位置对准处理。

然后，控制部8通过比较4个第二拍摄图像与4个第二参照图像，检查第二区域920的形态。具体而言，在4个第二拍摄图像与4个第二参照图像的第二区域920内的各像素的一致度大于某阈值的情况下，判断为所拍摄的对象物9在第二区域920中无异常(良品)。另一方面，在4个第二拍摄图像与4个第二参照图像的第二区域920内的各像素的一致度小于某阈值的情况下，判断为所拍摄的对象物9在第二区域920中有异常(不良品)。

在步骤s4中获得的各拍摄图像及在步骤s5、s6中获得的检查结果与对对象物9进行的各处理同步地被实时显示在pc7的显示画面上。更具体而言，例如，各拍摄图像中的在形态上无异常的部分以灰度被显示在显示画面上，而在形态上有异常的部分(穴100或毛刺101等)以红色等着色显示。由此，检查装置1的使用者能够实时地直观地掌握对象物9的状态。此外，这些拍摄图像及检查结果被存储在控制部8的存储部中，用于其后的各种处理(例如，详细地解析形态异常的处理)。

如此，若结束对一个对象物9的检查，则从检查装置1中搬出该对象物9(步骤s7)。然后，在对与检查完毕的对象物9相同规格的后续的对象物9也连续地进行检查的情况下，在步骤s8中分支至“是”，对该后续的对象物9也执行步骤s3～s7。另一方面，在不对后续的对象物9连续地进行检查的情况下，在步骤s8中分支至“否”，结束检查装置1的检查处理。

＜1.3效果＞

镜面处理的对象即第一区域910因穴100等的影响，其整面不一定完全是镜面，但与不作为镜面处理对象的第二区域920相比，其光的反射率高。此外，在步骤s3～s6的期间，保持部2以成为第一区域910的法线相比于4个第二方向更接近沿第一方向的位置关系的方式保持对象物9。因此，相比于由第二拍摄部20拍摄被检查区域时，在由第一拍摄部10拍摄被检查区域时，第一照相机31更容易接受第一区域910的正反射光。结果，能够更高精度地掌握第一区域910的镜面状态(更具体而言，是否适宜地对第一区域910实施镜面处理、是否在第一区域910形成有穴100、或形成的穴100的尺寸等)。

尤其在本实施方式中，第一区域910的法线的轴与第一方向的轴在铅垂轴上一致。因此，在本实施方式的态样中，与如后述的变形例那样第一区域的法线的轴与第一方向的轴具有些微偏差(例如，0～5度的偏差)的态样相比，能够更高精度地掌握第一区域910的镜面状态。

此外，第一拍摄部10从铅垂上方拍摄对象物9的检查区域的凹凸形状，与此相对，第二拍摄部20从斜上方拍摄对象物9的检查区域的凹凸形状。因此，相比于在由第一拍摄部10拍摄被检查区域时，在由第二拍摄部20拍摄被检查区域时，更容易掌握检查区域整体的立体形状。结果，能够更高精度地掌握第二区域920的形状(更具体而言，是否形成有毛刺101、或形成的毛刺101的尺寸等)。

此外，在本实施方式中，控制部8根据从4个第二方向拍摄的4个第二拍摄图像来检查第二区域920的形态。如此，由于从多个第二方向检查第二区域920，因此与从单一方向检查第二区域920的情况相比，能够更高精度地掌握第二区域920的形态。

此外，在本实施方式中，控制部8(检查部)通过仅对于第一区域910来比较第一拍摄图像310与第一参照图像301，从而检查该第一区域910的形态。如此，通过仅对镜面处理的对象即第一区域910限定两图像的比较对象，从而能够更高精度地掌握对象物9的镜面状态。

此外，在本实施方式中，控制部8(检查部)通过仅对于第二区域920来比较4个第二拍摄图像与4个第二参照图像，从而检查该第二区域920的形态。如此，通过仅对不作为镜面处理对象的第二区域920限定两图像的比较对象，从而能够降低从镜面向各第二照相机32～35反射的强度高的光的影响，从而能够更高精度地掌握对象物9的整体形状。

＜2变形例＞

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但只要本发明不超出其实质内容，除了上述外，还可进行各种的变更。

图8为变形例的检查装置1a的纵端面图。此检查装置1a具有第一拍摄部10a及第二拍摄部20a来代替检查装置1的第一拍摄部10及第二拍摄部20。此外，检查装置1a还具有旋转部5。

第一拍摄部10a具有：第一灯41a，从被保持在保持部2的对象物9观察，该第一灯41a从第一方向(本变形例中为从水平面向上方倾斜85度的方向)向对象物9的被检查区域照射光；及第一照相机31a，从该第一方向拍摄对象物9的被检查区域。控制部8同时执行第一灯41a的照明及第一照相机31a的拍摄，由此在从第一方向向对象物9的被检查区域照射光的状态下，从该第一方向拍摄对象物9的被检查区域。

第二拍摄部20a具有：第二灯42，从被保持在保持部2的对象物9观察，该第二灯42从第二方向(本变形例中为从水平面向上方倾斜45度的方向)向对象物9的被检查区域照射光；及第二照相机32，从该4个第二方向拍摄对象物9的被检查区域。控制部8同时执行第二灯42的照明及第二照相机32的拍摄，由此在从第二方向向对象物9的被检查区域照射光的状态下，从该第二方向拍摄对象物9的被检查区域。

也可以是如本变形例这样的第一区域的法线的轴(铅垂轴)与第一方向的轴具有偏差的方式。在这种方式中，只要保持部2以成为第一区域的法线相比于第二方向更接近沿第一方向的位置关系的方式保持对象物9，仍可通过第一拍摄部10a高精度地掌握第一区域的镜面状态。尤其是，只要第一区域的法线的轴与第一方向的轴的偏差微小(例如5度以下的倾斜的偏移)，则第一照相机31a仍可较多地接收第一区域的正反射光，从而可通过第一拍摄部10a更高精度地掌握第一区域的镜面状态。

此外，旋转部5能够一边保持上述位置关系，一边使被保持在保持部2的对象物9绕旋转轴j(通过点p的铅垂轴)旋转。因此，通过由第一拍摄部10a在多个旋转角度中的每个旋转角度拍摄被检查区域，从而通过一组的第一照相机31a及第一灯41a获得多个第一拍摄图像。同样地，通过由第二拍摄部20a在多个旋转角度中的每个旋转角度拍摄被检查区域，从而通过一组的第二照相机32及第二灯42获得多个第二拍摄图像。例如，通过由第一拍摄部10a及第二拍摄部20a在各相差90度的4个旋转角度拍摄被检查区域，从而获得4个第一拍摄图像及4个第二拍摄图像。

然后，例如，控制部8a(检查部)根据多个第一拍摄图像中的第一区域内的亮度评价值最高的图像来检查第一区域的形态，并且根据多个第二拍摄图像的全部图像来检查第二区域的形态。如此，通过将亮度高的第一拍摄图像用于第一区域的镜面状态的检查，并且将更多的第二拍摄图像用于第二区域的形状的检查，从而更高精度地掌握被检查区域的形态。

此外，在本变形例中，从多个第一方向获得第一拍摄图像。因此，即使因将对象物9载置于保持部2时的失误或镜面处理时的失误而导致第一区域的法线的轴从预想的(铅垂轴)产生些微的偏差，仍容易从任意的第一方向获得亮度高的第一拍摄图像。

此外，除了如本变形例那样对象物9旋转而在其周围固定有第一拍摄部10a及第二拍摄部20a的方式外，也可以采用对象物9被固定而第一拍摄部及第二拍摄部在对象物9的周围移动的方式。

此外，在上述实施方式中，说明了第一拍摄部10具有一组的第一照相机31及第一灯41、第二拍摄部20具有4组的第二照相机32～35及第二灯42～45的方式，但不限于此。例如，也可以为第一拍摄部具有配置在中心轴的周围的多个第一照相机、及从多个第一照相机侧向被检查区域照射光的多个第一灯的方式。该情况下，第一拍摄部通过由各第一照相机拍摄被各第一灯照射的各被检查区域，能够获得多个第一拍摄图像。此外，控制部8(检查部)能够根据多个第一拍摄图像中的第一区域内的亮度评价值最高的第一拍摄图像来检查第一区域的形态。

此外，在上述实施方式中，说明了在通过铸造将对象物9形成为大致形状后实施表面加工处理而获得的金属部件的方式，但不限于此。也可通过锻造或其他的方法形成对象物9。但是，通过铸造形成的对象物9上容易产生穴100等形态异常，以检查此异常为目的，能够适宜利用本发明的检查装置。

此外，在上述实施方式中，说明了在被检查区域内存在一个第一区域910的方式，但也可以是在被检查区域内存在多个第一区域的方式。在此方式中，通过成为使至少一个第一区域的法线相比于第二方向更接近沿第一方向的位置关系，从而能够通过第一拍摄部高精度地掌握该至少一个第一区域的镜面状态。此外，通过成为使多个第一区域的各法线相比于第二方向更接近沿第一方向的位置关系，从而能够通过第一拍摄部高精度地掌握各第一区域的镜面状态。

此外，在上述实施方式中，说明了保持部2以对象物9的第一区域910成为朝向铅垂上方的方式来保持对象物9的方式，但不限于此。例如，也可以是保持部2以对象物9的第一区域910成为水平朝向的方式来保持对象物9的方式，还可以是保持部2以对象物9的第一区域910成为朝向斜上方的方式来保持对象物9的方式。在任意方式中，通过成为使第一区域的法线相比于第二方向更接近沿第一方向的位置关系，从而均能通过第一拍摄部高精度地掌握第一区域的镜面状态。

此外，在上述实施方式中，说明了检查部通过比较第一拍摄图像与第一参照图像来检查第一区域的形态、并且通过比较第二拍摄图像与第二参照图像来检查第二区域的形态的方式，但不限于此。例如，也可以是检查部一边参照对象物9的设计数据(记述有对象物9的立体形状或镜面处理的位置的数据)一边解析第一拍摄图像及第二拍摄图像，由此检查第一区域及第二区域的形态的方式。

此外，在上述实施方式中，说明了检查装置1的控制部8与设置在检查装置1的外部的pc7可双向通信地连接的方式，但不限于此。例如，在检查装置1具有由使用者输入操作信息的输入部的情况下，也可以不设置pc7。

此外，第一拍摄部只要具有至少一组的第一照相机及第一灯即可，第二拍摄部只要具有至少一组的第二照相机及第二灯即可。此外，也可适宜地变更各部分的个数。

以上，对实施方式及其变形例的检查装置及检查方法进行了说明，但这些仅是本发明的优选实施方式，并非用来限定本发明的实施范围。本发明只要在其发明的范围内，即可进行各实施方式的自由组合、或各实施方式的任意的结构要素的变形、或者可在各实施方式中省略任意的结构要素。

附图标记说明

1、1a检查装置

2保持部

5旋转部

8、8a控制部

9对象物

10、10a第一拍摄部

20、20a第二拍摄部

31、31a第一照相机

41、41a第一灯

32～35、32a第二照相机

42～45、42a第二灯

90台部

91突起部

100穴

101毛刺

910第一区域

920第二区域