具有单个2DMEMS扫描器的芯片级LIDAR的制作方法

文档序号:16690671发布日期:2019-01-22 18:48阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
LIDAR系统、LIDAR芯片和制造LIDAR芯片的方法。该LIDAR系统包括光子芯片,其配置为发射所发射光束并且接收反射光束;扫描器,其用于将发射光束引导朝向空间中的方向并且从选定方向接收反射光束;以及基于光纤的光学耦合器。该光子芯片和该扫描器被放置在半导体集成平台(SIP)上。该基于光纤的光学耦合器被放置在该光子芯片的顶部以光学地耦合到该光子芯片用于将来自该光子芯片的发射光束引导到该扫描器,并且用于将来自该扫描器的反射光束引导到该光子芯片。

技术研发人员:K·萨亚赫;O·叶菲莫夫;P·R·帕特森;R·萨基西安;J·H·莎夫纳;B·黄;D·哈蒙
受保护的技术使用者:通用汽车环球科技运作有限责任公司
技术研发日:2018.07.12
技术公布日:2019.01.22
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