量测治具的制作方法

本发明是关于一种治具，且特别是关于一种量测治具。

背景技术：

在纳米压印制程中，通常使用金属模具进行压印。所述金属模具包括基板以及设置于基板上的压印层，而所述压印层上具有压印图案，如此可透过金属模具的压制而将压印图案转印至待压印的工件上。由于工件的材质较薄，在压印完成后，若操作者直接手动从金属模具上分离工件，则可能导致工件产生破裂。因此，常见作法是藉由离模组件的辅助将压印完的工件从金属模具上分离。

更进一步地说，离模组件包括离模环与多个推动件，离模环与推动件环绕于金属模具与工件的周边，但不干涉金属模具与工件的压印动作。待压印完毕后，受到气体推动的推动件进而推动离模环往工件的方向移动，使离模环进一步推动工件。如此，受到离模环推动的工件从周围往中间逐渐地从金属模具上分离。

由此可知，当需更换金属模具或清洗金属模具时，通常需要将离模组件也从压印机台上拆卸。然而，拆卸离模组件的动作可能影响离模环的水平高度，而离模环的水平高度将影响工件从金属模具上分离的结果。即，若离模环的水平高度不均，将使得受到离模环的推动而从周围往中间逐渐地从金属模具上分离的工件于其中一边分离的较快，进而使工件容易产生破裂的情况。

技术实现要素：

本发明提供一种量测治具，可用于量测离模组件的水平高度，使得离模组件具有精确的校准结果。

本发明的量测治具包括一量测基座、一离模组件、一充气组件以及一量测组件。离模组件设置于量测基座，其中离模组件包括一离模环与多个推动件，且推动件对应于离模环。充气组件设置于量测基座上，用以充气至离模组件，使得推动件将离模环推动至一基准位置。量测组件设置于离模组件上，用以量测离模环是否位于基准位置。

在本发明的一实施例中，上述的推动件环绕地设置于离模环的周围。

在本发明的一实施例中，上述的推动件等间距地分散配置于离模环的周围。

在本发明的一实施例中，上述的离模组件包括一离模座，离模环与推动件设置于离模座上。

在本发明的一实施例中，上述的充气组件充气至离模组件，使得推动件同步将离模环推动至基准位置。

在本发明的一实施例中，上述的充气组件包括一充气开关以及一充气口。充气开关设置于量测基座上并电性连接于充气口，而充气口用以充气至推动件的周边，以使得推动件将离模环推动至基准位置。

在本发明的一实施例中，上述的离模组件以及量测组件可拆卸地组装于量测基座上，而离模组件设置于量测基座与量测组件之间。

在本发明的一实施例中，上述的量测组件包括一旋转环以及至少一量测件。量测件设置于旋转环上，以藉由旋转环相对于离模环旋转而量测离模环的多个局部的水平高度。

在本发明的一实施例中，上述的量测件的数量包括多个，等间距地分散配置于旋转环上。

在本发明的一实施例中，上述的量测件包括千分表。

基于上述，在本发明的量测治具中，离模组件设置于量测基座，充气组件设置于量测基座上，且量测组件设置于离模组件上。如此，充气组件充气至离模组件，使得推动件将离模环推动至基准位置，而后量测组件量测离模环是否位于基准位置。据此，本发明提供的量测治具可用于量测离模组件的水平高度，使得离模组件具有精确的校准结果。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。

附图说明

图1是本发明的一实施例的量测治具的立体图。

图2是图1的量测治具的局部分解图。

具体实施方式

图1是本发明的一实施例的量测治具的立体图。图2是图1的量测治具的局部分解图。请参考图1与图2，在本实施例中，量测治具100包括量测基座110、离模组件120、充气组件130以及量测组件140。离模组件120设置于量测基座110。充气组件130设置于量测基座110上，用以充气至离模组件120。量测组件140设置于离模组件120上。如此，离模组件120能够应用于纳米压印制程中(如安装至压印机台(未绘示)上)而辅助工件(未绘示)从金属模具(未绘示)上分离，并且在安装至压印机台之前或之后透过量测治具100量测离模组件120并进行校准。

具体而言，离模组件120包括离模座122、离模环124与多个推动件126，其中离模环124与推动件126设置于离模座122上，且推动件126对应于离模环124。离模环124呈现圆环状，推动件126环绕地设置于离模环124的周围，特别是，推动件126等间距地分散配置于离模环124的周围，且每一推动件126的内侧126a对应于离模环124，而每一推动件126的外侧126b对应于离模座122上的空气通道(未绘示)。更进一步地说，图2将离模座122拆解成两组合部分122a与122b，以显示出组装于离模座122内的离模环124与多个推动件126，但离模组件120实际上能够作为可组装式的一个组件(即在离模组件120的使用过程中不需特别拆解其内部构件)，进而直接组装至压印机台作为将工件从金属模具上分离的辅助，或直接组装至量测治具100以进行量测，且本发明并不限制离模座122的具体实施方式，其可为用于设置离模环124与推动件126的各种适用形状，使其能够作为可组装式的一个组件进行使用。

再者，在离模组件120组装至压印机台的情况下，离模座122位于金属模具的一侧，使得离模环124与推动件126环绕于金属模具与工件的周边，但不干涉金属模具与工件的压印动作。藉此，组装至压印机台的金属模具能够对放置于夹具(chuck)上的工件进行压印，而待压印完毕后，透过压印机台上的充气组件(未绘示)提供气体至离模组件120，使得每一推动件126的外侧126b受到气体推动而相对于离模座122移动，进而利用杠杆原理使每一推动件126的内侧126a推动离模环124往工件的方向移动，使离模环124进一步推动工件。如此，受到离模环124推动的工件从周围往中间逐渐地从金属模具上分离。

由于离模组件120作为可组装式的一个组件组装至压印机台上，且离模座122位于金属模具的一侧，使得离模环124与推动件126环绕于金属模具与工件的周边，因此当需更换金属模具或清洗金属模具时，通常也需要将离模组件120从压印机台上拆卸。然而，拆卸离模组件120的动作可能影响离模环124的水平高度，而离模环124的水平高度将影响工件从金属模具上分离的结果。如此，在将离模组件120重新组装至压印机台上之前，通常会重新对离模组件120(特别是离模环124)进行水平高度的校准。即使对离模组件120进行校准，也需进一步量测其校准结果，以确认离模组件120的水平高度是否达到需求。因此，离模组件120便可进一步应用本实施例所述的量测治具100进行量测。

在本实施例中，充气组件130设置于量测基座110上，离模组件120以及量测组件140可拆卸地组装于量测基座110上，而离模组件120设置于量测基座110与量测组件140之间。即，量测治具100如图2所示包含三个部分，即量测基座110与设置于其上的充气组件130、可拆卸地组装于量测基座110上的离模组件120、以及可拆卸地组装于量测基座110与离模组件120上的量测组件140。如此，在离模组件120从前述压印机台拆下后，能够作为可组装式的一个组件直接设置于量测基座110上(例如是在量测基座110上设置一对轨道112供离模组件120以离模座122滑入，但本发明不限于此)，且离模组件120进一步连接于充气组件130。而后，量测组件140进一步设置于离模组件120上，使得离模组件120设置于量测基座110与量测组件140之间，据此量测离模组件120(特别是离模环124)的水平高度。

详细而言，在本实施例中，充气组件130包括充气开关132以及充气口134。充气开关132设置于量测基座110上并电性连接于充气口134，用以控制是否经由充气口134进行充气(即提供气体)。在离模组件120设置于量测基座110上的情况下，充气组件130的充气口134对应于离模组件120，特别是对应于推动件126的周边。如此，充气组件130的充气口134能够用以充气至推动件126的周边，使得推动件126将离模环124推动至基准位置。

在本实施例中，所述基准位置是指将离模组件120组装至压印机台时离模环124对应于工件的周边且位于单一水平高度的位置。在离模环124用于将工件从金属模具上分离之后，离模环124位于操作位置，而能够透过量测治具100重新调整至基准位置并进行量测校准。因此，在离模组件120设置于量测基座110的情况下，充气组件130充气至离模组件120，使得推动件126同步将离模环124推动至基准位置，进而使离模环124调整至单一水平高度。即，每一推动件126受到充气组件130的气体推动后的移动量相同，使得离模环124所移动的位置相同。然而，在离模环124的局部相对于其他局部处于不同水平高度的情况下，可藉由充气组件130加强对应所述局部的气体量，以调整所述局部的水平高度至与其他局部相同，上述实施方式可依据需求调整，本发明不以此为限制。

另外，在本实施例中，量测组件140包括旋转环142、量测件144以及座体146，其中旋转环142设置于座体146上，而量测件144设置于旋转环142上。更进一步地说，本实施例采用三个量测件144，例如是千分表，而等间距地分散配置于旋转环142上，但量测件144的数量、配置位置与种类可依据需求调整，本发明不以此为限制。如此，量测组件140作为可组装式的一个组件直接以座体146设置于离模组件120上(所述座体146还可另设有把手148以便于量测组件140的组装，但本发明不限于此)，而后量测组件140能够用以量测离模环124是否位于基准位置，例如使量测件144藉由旋转环142相对于离模环124旋转而依序量测离模环124的多个局部的水平高度。

具体而言，量测治具100的操作步骤如下。首先，将从压印机台上拆下离模组件120设置于量测基座110上，此时的离模环124已用于将工件从金属模具上分离而位于操作位置。接着，将离模组件120连接充气组件130，并将量测组件140设置于离模组件120上。由于离模组件120的离模座122内原本即设有在压印机台中用于使气体通过来驱动推动件与离模环推动工件从金属模具上分离的充气通道(未绘示)，故在量测治具100的操作过程中，充气组件130的充气口134也可连接于离模组件120中的前述充气通道，进而对应于推动件126的周围。在上述组件都已组装完成的情况下，按压充气开关132而经由充气口134对离模组件120进行充气。藉此，推动件126藉由气体的推动而进一步推动离模环124，使离模环124从操作位置回复至基准位置。

在离模环124回复至基准位置之后，藉由量测组件140上的量测件144首先量测离模环124上对应的局部的水平高度。在确认量测件144上的数值符合需求，即离模环124上对应于量测件144的局部的水平高度符合需求之后，移动旋转环142，使得量测件144藉由旋转环142而相对于离模环124旋转，进而移动至对应于离模环124的下一个局部。此时，观察量测件144是否产生数值变化，若有，则表示离模环124的此局部与前一局部位于不同水平高度，而需重新进行水平高度的调整，若否，则表示离模环124的此局部与前一局部都位于同一水平高度。如此持续移动旋转环142，使得量测件144依序量测离模环124上的多个局部的水平高度，藉此得知离模环124的整体是否均位于同一水平高度，即得知离模环124是否精准地位于基准位置。

在离模环124的局部需重新进行水平高度的调整时，可例如再次执行前述藉由充气组件130使推动件126推动离模环124的动作，而后再次执行前述藉由量测组件140量测离模环124的动作。此外，当确认完离模环124精准地位于基准位置之后，首先将量测组件140从离模组件120上拆下，而后将离模组件120从量测基座110上拆下。由于量测组件140与离模组件120都是各自作为可组装式的一个组件进行使用，故量测组件140与离模组件120的组装与拆卸变得容易。经由调整与校准后的离模组件120便可重新组装至压印机台，而再次用于压印制程中辅助将压印完的工件从金属模具上分离。

综上所述，在本发明的量测治具中，离模组件设置于量测基座，充气组件设置于量测基座上，且量测组件设置于离模组件上。其中，离模组件的离模环于压印机台中用以将工件从金属模具上分离而处于操作位置。如此，在离模组件安装于量测基座并连接至充气组件与量测组件的情况下，充气组件充气至离模组件，使得推动件将离模环推动至基准位置，而后量测组件量测离模环是否位于基准位置。藉此，离模环能够重新恢复至基准位置，而再次应用于压印机台中。据此，本发明提供的量测治具可用于量测离模组件的水平高度，使得离模组件具有精确的校准结果。

虽然本发明已以实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，故本发明的保护范围当视后附的权利要求书所限定为准。

附图标记

100：量测治具

110：量测基座

112：轨道

120：离模组件

122：离模座

122a、122b：组合部分

124：离模环

126：推动件

126a：内侧

126b：外侧

130：充气组件

132：充气开关

134：充气口

140：量测组件

142：旋转环

144：量测件

146：座体

148：把手