一种三孔缝结构的传感器的制作方法

文档序号:16387505发布日期:2018-12-22 10:13阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提出了一种三孔缝结构的传感器,利用此结构的三个偶极子谐振单元的明模式谐振与暗模式谐振的互作用,产生具有陡的非对称的响应谱线型,从而设计出具有法诺共振现象透射谱的三孔缝结构的传感器。在相同的开关对比度情况下,非对称响应谱线线型所需的波长偏移或者间隔比由单一的谐振腔得到的对称的类洛仑兹线型的谱宽小,可增加波分复用器的波长分辨率以及生物传感器的灵敏度。通过调控结构的几何参数,透射谱中出现了法诺峰的不同程度的红移,可实现法诺谐振的调谐,由缩比定理等比例地改变结构参数的尺度能实现传感器中谐振频率频段的变化,即工作频段不限于THz频段,本传感器可用于波分复用器、光开关、生物传感器等领域。

技术研发人员:李琦;刘飞;傅涛;李海鸥;张法碧;陈永和;肖功利;孙堂友
受保护的技术使用者:桂林电子科技大学
技术研发日:2018.09.25
技术公布日:2018.12.21
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