1.一种微区共焦拉曼光谱探测系统(400),其特征在于,包括:
激光发射单元(410),用以发射出入射激光;
第一棱镜(420),设置于所述激光发射单元(410)发射出的入射激光的光路上,用以将入射激光分成两路入射光;
第一分光单元(430),设置于经所述第一棱镜(420)分束后的第一路入射光路上;
光谱激发单元(450),包括样品台(503)与扫描探针(100),所述样品台(503)用以放置样品(501),使得所述第一路入射光路沿光路传输至所述扫描探针(100),并通过所述扫描探针(100)增强拉曼散射至所述样品(501)表面,用以激发出所述样品(501)的散射光;
第一光谱探测单元(460),设置于经所述第一分光单元(430)分离出的第一路拉曼散射光路上,用以对所述样品(501)进行拉曼光谱探测;
第二棱镜(480),设置于所述第一分光单元(430)分离出的第一路散射光经所述第一棱镜(420)分束后的光路上;
共焦探测单元(490),设置于经所述第二棱镜(480)分束后的一条散射光路上,用以探测所述样品(501)激发出的散射光。
2.如权利要求1所述的微区共焦拉曼光谱探测系统(400),其特征在于,所述微区共焦拉曼光谱探测系统(400)还包括:
第二分光单元(440),设置于经所述第一棱镜(420)分束后的第二路入射光路上;
所述样品(501)设置于所述第一路入射光路与所述第二路入射光路之间,使得所述第一路入射光路与所述第二路入射光路均沿光路通过所述扫描探针(100)传输至所述样品(501)表面,用以激发出所述样品的散射光;
第二光谱探测单元(470),设置于经所述第二分光单元(440)分离出的第二路拉曼散射光路上,用以对所述样品(501)进行拉曼光谱探测;
所述第二分光镜(480)设置于所述第一分光单元(430)分离出的第一路散射光以及所述第二分光单元(440)分离出的第二路散射光经所述第一棱镜(420)分束后的光路上。
3.如权利要求2所述的微区共焦拉曼光谱探测系统(400),其特征在于,所述微区共焦拉曼光谱探测系统(400)还包括:
第一聚光镜(910),设置于经所述第二棱镜(480)分束后的另一条散射光路上;
电感探测器(920),设置于经所述第一聚光镜(910)会聚后的散射光路上。
4.如权利要求2所述的微区共焦拉曼光谱探测系统(400),其特征在于,所述微区共焦拉曼光谱探测系统(400)还包括:
第一反射镜(930),设置于所述激光发射单元(410)与所述第一棱镜(420)之间,用以改变入射激光的光路方向,缩小所述微区共焦拉曼光谱探测系统(400)的整体体积;
第二反射镜(940),设置于所述第一棱镜(420)与所述第二分光单元(440)之间,用以改变所述第二路入射光路的光路方向,缩小所述微区共焦拉曼光谱探测系统(400)的整体体积。
5.如权利要求2所述的微区共焦拉曼光谱探测系统(400),其特征在于,所述激光发射单元(410)包括:
多个激光器(401),用以发射出多束入射激光;
多个第三扩束准直镜(402),每个所述第三扩束准直镜(402)设置于每个所述激光器(401)发出的入射光路上;
多个光阑(403),每个所述光阑(403)设置于经所述第三扩束准直镜(402)后的光路上;
多个径向偏振光转换器(404),每个所述径向偏振光转换器(404)设置于经所述光阑(403)后的光路上;
多个二向色镜(405),每个所述二向色镜(405)设置于经所述径向偏振光转换器(404)后的光路上,且经过所述多个二向色镜(405),使得多束入射激光重合成一束入射激光;
偏振分光镜(406),设置于经过所述多个二向色镜(405)重合成一束入射激光的光路上。
6.如权利要求2所述的微区共焦拉曼光谱探测系统(400),其特征在于,所述第一分光单元(430)与所述第二分光单元(440)为二向色镜。
7.如权利要求2所述的微区共焦拉曼光谱探测系统(400),其特征在于,所述光谱激发单元(450)还包括:
第一物镜(502),设置于所述第一分光单元(430)与所述样品(501)之间,用以将光斑紧密聚焦在所述样品(501)表面;
第二物镜(503),设置于所述第二分光单元(440)与所述样品(501)之间,用以将光斑紧密聚焦在所述样品(501)表面。
8.如权利要求2所述的微区共焦拉曼光谱探测系统(400),其特征在于,所述第一光谱探测单元(460)包括:
第二聚光镜(601),设置于经所述第一分光单元(430)分离出的第一路拉曼散射光路上,且经所述第二聚光镜(601)会聚后的第一路拉曼散射光通过器进入光纤;
第一扩束准直镜(602),设置于经光纤传输的第一路拉曼散射光的光路上;
第三聚光镜(603),设置于经所述第一扩束准直镜(602)后的第一路拉曼散射光的光路上;
第一检测器(604),设置于经所述第三聚光镜(603)会聚后的第一路拉曼散射光的光路上,用以对所述样品(501)进行拉曼光谱探测。
9.如权利要求2所述的微区共焦拉曼光谱探测系统(400),其特征在于,所述第二光谱探测单元(470)包括:
第四聚光镜(701),设置于经所述第二分光单元(440)分离出的第二路拉曼散射光路上,且经所述第四聚光镜(701)会聚后的第二路拉曼散射光通过器进入光纤;
第二扩束准直镜(702),设置于经光纤传输的第二路拉曼散射光的光路上;
第五聚光镜(703),设置于经所述第二扩束准直镜(702)后的第二路拉曼散射光的光路上;
第二检测器(704),设置于经所述第五聚光镜(703)会聚后的第二路拉曼散射光的光路上,用以对所述样品(501)进行拉曼光谱探测。
10.如权利要求2所述的微区共焦拉曼光谱探测系统(400),其特征在于,所述共焦探测单元(490)包括:
第三棱镜(901),设置于经所述第二棱镜(480)分束后的一条散射光路上,且与经所述第一聚光镜(910)会聚后的散射光路不同;
两个第六聚光镜(902),每个所述第六聚光镜(902)分别设置于经所述第三棱镜(901)分束的不同散射光路上;
两个针孔光阑(903),每个所述针孔光阑(903)设置于经每个所述第六聚光镜(902)会聚后的散射光路上;
两个光电倍增管(904),每个所述光电倍增管(904)设置于经每个所述针孔光阑(903)后的散射光路上,用以探测所述样品(501)激发出的散射光。