一种用于晶圆流片的电阻率检测装置的制作方法

本发明涉及晶圆流片生产测试附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片的电阻率检测装置。

背景技术：

众所周知，用于晶圆流片的电阻率检测装置是一种对生产完成后的晶圆流片，对其电阻率进行检测，以便于更好的检验晶圆流片的生产是否达标的辅助装置，其在晶圆流片生产测试的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆流片的电阻率检测装置包括检测台和四组支撑滑柱，四组支撑滑柱的顶端分别与检测台底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且检测台的顶端放置有电阻率检测探头；现有的用于晶圆流片的电阻率检测装置使用时，首先将整体放置无尘环境的检测室内部，然后将待检测的晶圆流片平放在检测台上，然后将电阻率检测探头与外部计算机接通，人工使用电阻率检测探头的底部输出端对其进行反复检测，并记录每次检测的数值，将检测后的数值进行统计并求出平均值即可；现有的用于晶圆流片的电阻率检测装置使用中发现，晶圆流片在检测台上的放置稳定性较差，在使用电阻率检测探头对晶圆流片进行检测的过程中晶圆流片容易发生滑动，影响检测结果，导致其使用可靠性较低；并且人工手拿电阻率检测探头对晶圆流片进行检测，人为因素较多，影响检测精度，同时浪费较多人力，操作不便，导致其实用性较差。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本发明提供一种提高晶圆流片在检测台上的放置稳定性，防止在使用电阻率检测探头对晶圆流片进行检测的过程中晶圆流片发生滑动，减少影响检测结果的外界因素，提高使用可靠性；并且无需人工手拿电阻率检测探头对晶圆流片进行检测，降低人为因素，提高检测精度，同时减轻人力，操作方便，提高实用性的用于晶圆流片的电阻率检测装置。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，包括检测台，检测台的顶端放置有电阻率检测探头；包括左弧形夹板、右弧形夹板、上齿条、下齿条、左连接杆、右连接板、支撑滑柱、第一调节轴、棘轮、上滑轨、下滑轨、挡板、支撑弹簧和限位棘爪，所述检测台的内部设置有调节腔室，并且检测台顶端的左侧和右侧分别横向设置有左右方向上的左滑动通槽和右滑动通槽，并且左滑动通槽和右滑动通槽均与调节腔室内部相通，所述左弧形夹板和右弧形夹板的底端分别与检测台的顶端左侧和右侧可滑动接触，并且所述左连接杆和右连接杆的顶端分别与所述左弧形夹板和右弧形夹板的底端中部连接，左连接杆和右连接杆的底端均自检测台的顶端分别可滑动穿过左滑动通槽和右滑动通槽内部并伸入至调节腔室内部，所述支撑滑柱横向位于所述调节腔室内部，并且支撑滑柱的左端与调节腔室的左端内壁上侧连接，左连接杆和右连接杆的内部上侧分别横向设置有左右贯穿的左支撑通孔和右支撑通孔，所述支撑滑柱的右端自左连接杆的左端分别可滑动穿过左支撑通孔和右支撑通孔内部并伸出至右连接杆的右端外界与所述调节腔室的右端内壁上侧连接，所述上齿条的顶端左侧与左连接杆的底端连接，并且所述下齿条的顶端右侧与右连接杆的底端连接，所述调节腔室的后端内壁中部设置有固定槽，并且固定槽内部设置有转动滚珠轴承，所述第一调节轴的后端自检测台的前端穿过检测台的前端外壁并伸入至调节腔室内部，并且第一调节轴的后端插入并固定安装至转动滚珠轴承内部，所述第一调节轴上设置有调节齿轮，并且调节齿轮的顶端与上齿条的底端啮合，调节齿轮的底端与下齿条的顶端啮合，所述棘轮位于检测台的前侧，并且棘轮固定套装在第一调节轴的外部，所述上滑轨和下滑轨分别位于所述棘轮的右上侧和右下侧，并且上滑轨和下滑轨的后端均与检测台的前端右侧连接，上滑轨的底端与下滑轨的顶端分别横向设置有左右方向上的上滑槽和下滑槽，所述限位棘爪的顶端和底端分别设置有上滑块和下滑块，所述上滑块和下滑块分别可滑动设置在上滑槽和下滑槽内部，所述挡板左端的上侧和下侧分别与所述上滑轨和下滑轨的右端连接，并且所述支撑弹簧的右端与挡板的左端连接，支撑弹簧的左端与限位棘爪的右端连接，限位棘爪的左端插入至棘轮的右侧棘齿内部，所述第一调节轴的前端同心设置有第一手轮；还包括左支撑板、调节丝杠、固定挡板、限位滑柱、调节块、安装板、第一锥型齿轮、第二锥型齿轮和第二调节轴，所述左支撑板的底端与所述检测台的顶端左侧连接，并且左支撑板的右端上侧和下侧分别设置有上轴承座和下轴承座，并且上轴承座和下轴承座内部分别设置有上滚珠轴承和下滚珠轴承，所述调节丝杠的顶端插入并固定安装至上滚珠轴承内部，调节丝杠的底端插入并固定安装至下滚珠轴承内部，所述固定挡板位于所述上轴承座的下方，并且固定挡板的左端与左支撑板的右端上侧连接，固定挡板的内部右侧设置有上下贯穿的转动通孔，并且固定挡板通过转动通孔套设在所述调节丝杠的外部，所述限位滑柱的顶端与固定挡板的底端左侧连接，并且所述调节块的顶端左侧和右侧分别设置有上下贯穿的左限位通孔和右螺纹通孔，调节板通过螺纹通孔螺装套设在调节丝杠的外部，并且所述限位滑柱的底端自调节块顶端可滑动穿过左限位通孔内部并伸出调节块的底端外界与所述下轴承座的顶端左侧连接，所述左支撑板的内部上侧横向设置有调节通孔，并且调节通孔的右端同心设置有调节轴承座，调节轴承座内部设置有调节滚珠轴承，所述第二调节轴的右端自左支撑板的左端分别可滑动穿过调节通孔和调节滚珠轴承内部并伸出至调节轴承座的右端外界与所述第一锥型齿轮的左端同心连接，所述第二锥型齿轮位于所述固定挡板的上方，并且第二锥型齿轮固定套装在所述调节丝杠的外部上侧，第二锥型齿轮与第一锥型齿轮啮合，第二调节轴的左端同心设置有第二手轮，所述安装板的左端与所述调节块的右端连接，并且所述电阻率检测探头的顶端与所述安装板的底端中部连接。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括四组多节伸缩杆、螺纹杆、第一螺纹管、第二螺纹管和底板，所述四组多节伸缩杆的顶端分别与所述检测台底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且四组多节伸缩杆的底端分别与底板顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述螺纹杆的顶端与所述检测台的底端中部连接，并且底板的顶端中部设置有固定槽，固定槽内部设置有调节滚珠轴承，所述第二螺纹管的底端插入并固定安装至调节滚珠轴承内部，所述螺纹杆的底端插入并螺装至第一螺纹管的顶端内部，第一螺纹管的外部设置有外部螺纹，并且所述第一螺纹管通过外部螺纹插入并螺装至第二螺纹管的顶端内部。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括四组丝杆和四组万向脚轮，所述四组丝杆的顶端分别与所述底板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述四组万向脚轮的顶端分别与所述四组丝杆的底端连接。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括所述支撑罩，所述四组支撑罩的底端均设置有支撑槽，并且四组支撑罩的顶端内壁上均设置有支撑螺纹通孔，四组支撑罩分别通过支撑螺纹通孔分别螺装套设在所述四组丝杆的外部，四组万向脚轮分别位于四组支撑槽内部。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括右支撑板、上挡板和辅助滑柱，所述安装板的右端设置有辅助板，并且辅助板的顶端设置有上下贯穿的辅助通孔，所述右支撑板的底端与所述检测台的顶端右侧连接，并且所述上挡板的右端与右支撑板的左端上侧连接，所述辅助滑柱的顶端与上挡板的底端左侧连接，辅助滑柱的底端自辅助板的顶端可滑动穿过辅助通孔内部并伸出至辅助板的底端外界与所述检测台的顶端右侧连接。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括第一锁紧螺栓和第二锁紧螺栓，所述第一螺纹管的前端上侧中部设置有第一锁紧螺纹通孔，并且第一锁紧螺纹通孔与第一螺纹管内部相通，所述第二螺纹管的前端上侧中部设置有第二锁紧螺纹通孔，并且第二锁紧螺纹通孔与第二螺纹管内部相通，所述第一锁紧螺栓和第二锁紧螺栓的后端分别插入并螺装至第一锁紧螺纹通孔和第二锁紧螺纹通孔内部。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括转动手轮，所述转动手轮固定套装在所述第二螺纹管的外部。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括四组防滑垫圈，所述四组防滑垫圈的顶端分别与所述四组支撑罩的底端同心连接。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括拨动钮，所述拨动钮的后端中部与所述限位棘爪的前端中部连接，并且拨动钮后端的上侧和下侧分别与所述上滑轨和下滑轨的前端可滑动接触。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括梅花锁紧螺栓，所述辅助板的前端设置有定位螺纹通孔，并且定位螺纹通孔与所述限位通孔内部相通，所述梅花锁紧螺栓的后端自辅助板的前端插入并螺装至定位螺纹通孔内部，并且梅花锁紧螺栓的后端与所述辅助滑柱的前端锁紧接触。

与现有技术相比本发明的有益效果为：可以通过顺时针转动第一手轮，使第一调节轴带动调节齿轮转动，通过上齿条与下齿条与调节齿轮之间的啮合，使上齿条在支撑滑柱的作用下向右移动，同时使下齿条在支撑滑柱的作用下向左移动，从而使左弧形夹板向右移动，同时使右弧形夹板向左移动，将晶圆流片夹紧，同时通过棘轮随着第一调节轴顺时针转动，通过限位棘爪上的上滑块和下滑块分别在上滑槽和下滑槽内部的滑动配合，使限位棘齿可以在支撑弹簧的支撑下向左插进至棘轮的右侧棘齿内部，从而可以使转动后的第一调节轴的位置进行锁紧固定，防止左弧形夹板和右弧形夹板将夹紧后的晶圆流片松开，从而可以提高晶圆流片在检测台上的放置稳定性，防止在使用电阻率检测探头对晶圆流片进行检测的过程中晶圆流片发生滑动，减少影响检测结果的外界因素，提高使用可靠性；并且可以通过转动第二手轮，使第一锥型齿轮转动，通过第一锥型齿轮与第二锥型齿轮之间的啮合，使调节丝杠在上滚珠轴承和下滚珠轴承的作用下进行转动，通过限位滑柱与左限位通孔之间的滑动配合，使安装板可以沿着限位滑柱的方向上下移动，同时通过调节丝杠与右螺纹通孔之间的螺装配合，转动调节丝杠可以使安装板带动电阻率检测探头上下移动，无需人工手拿电阻率检测探头对晶圆流片进行检测，降低人为因素，提高检测精度，同时减轻人力，操作方便，提高实用性。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明支撑弹簧、限位棘爪和第一手轮等连接的结构示意图；

图3是本发明图1中a处的局部放大结构示意图；

图4是本发明图1中b处的局部放大结构示意图；

图5是本发明图1中c处的局部放大结构示意图；

图6是本发明图2中d处的局部放大结构示意图；

图7是本发明图2中e处的局部放大结构示意图；

附图中标记：1、检测台；2、电阻率检测探头；3、左弧形夹板；4、上齿条；5、左连接杆；6、支撑滑柱；7、第一调节轴；8、棘轮；9、上滑轨；10、挡板；11、支撑弹簧；12、限位棘爪；13、第一手轮；14、左支撑板；15、调节丝杠；16、固定挡板；17、限位滑柱；18、调节块；19、安装板；20、第一锥型齿轮；21、第二锥型齿轮；22、第二调节轴；23、多节伸缩杆；24、螺纹杆；25、第一螺纹管；26、第二螺纹管；27、底板；28、丝杆；29、万向脚轮；30、支撑罩；31、右支撑板；32、上挡板；33、辅助滑柱；34、第一锁紧螺栓；35、第二锁紧螺栓；36、转动手轮；37、防滑垫圈；38、拨动钮；39、梅花锁紧螺栓。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1至图7所示，本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，包括检测台1，检测台1的顶端放置有电阻率检测探头2；包括左弧形夹板3、右弧形夹板、上齿条4、下齿条、左连接杆5、右连接板、支撑滑柱6、第一调节轴7、棘轮8、上滑轨9、下滑轨、挡板10、支撑弹簧11和限位棘爪12，检测台1的内部设置有调节腔室，并且检测台1顶端的左侧和右侧分别横向设置有左右方向上的左滑动通槽和右滑动通槽，并且左滑动通槽和右滑动通槽均与调节腔室内部相通，左弧形夹板3和右弧形夹板的底端分别与检测台1的顶端左侧和右侧可滑动接触，并且左连接杆5和右连接杆的顶端分别与左弧形夹板3和右弧形夹板的底端中部连接，左连接杆5和右连接杆的底端均自检测台1的顶端分别可滑动穿过左滑动通槽和右滑动通槽内部并伸入至调节腔室内部，支撑滑柱6横向位于调节腔室内部，并且支撑滑柱6的左端与调节腔室的左端内壁上侧连接，左连接杆5和右连接杆的内部上侧分别横向设置有左右贯穿的左支撑通孔和右支撑通孔，支撑滑柱6的右端自左连接杆5的左端分别可滑动穿过左支撑通孔和右支撑通孔内部并伸出至右连接杆的右端外界与调节腔室的右端内壁上侧连接，上齿条4的顶端左侧与左连接杆5的底端连接，并且下齿条的顶端右侧与右连接杆的底端连接，调节腔室的后端内壁中部设置有固定槽，并且固定槽内部设置有转动滚珠轴承，第一调节轴7的后端自检测台1的前端穿过检测台1的前端外壁并伸入至调节腔室内部，并且第一调节轴7的后端插入并固定安装至转动滚珠轴承内部，第一调节轴7上设置有调节齿轮，并且调节齿轮的顶端与上齿条4的底端啮合，调节齿轮的底端与下齿条的顶端啮合，棘轮8位于检测台1的前侧，并且棘轮8固定套装在第一调节轴7的外部，上滑轨9和下滑轨分别位于棘轮8的右上侧和右下侧，并且上滑轨9和下滑轨的后端均与检测台1的前端右侧连接，上滑轨9的底端与下滑轨的顶端分别横向设置有左右方向上的上滑槽和下滑槽，限位棘爪12的顶端和底端分别设置有上滑块和下滑块，上滑块和下滑块分别可滑动设置在上滑槽和下滑槽内部，挡板10左端的上侧和下侧分别与上滑轨9和下滑轨的右端连接，并且支撑弹簧11的右端与挡板10的左端连接，支撑弹簧11的左端与限位棘爪12的右端连接，限位棘爪12的左端插入至棘轮8的右侧棘齿内部，第一调节轴7的前端同心设置有第一手轮13；还包括左支撑板14、调节丝杠15、固定挡板16、限位滑柱17、调节块18、安装板19、第一锥型齿轮20、第二锥型齿轮21和第二调节轴22，左支撑板14的底端与检测台1的顶端左侧连接，并且左支撑板14的右端上侧和下侧分别设置有上轴承座和下轴承座，并且上轴承座和下轴承座内部分别设置有上滚珠轴承和下滚珠轴承，调节丝杠15的顶端插入并固定安装至上滚珠轴承内部，调节丝杠15的底端插入并固定安装至下滚珠轴承内部，固定挡板16位于上轴承座的下方，并且固定挡板16的左端与左支撑板14的右端上侧连接，固定挡板16的内部右侧设置有上下贯穿的转动通孔，并且固定挡板16通过转动通孔套设在调节丝杠15的外部，限位滑柱17的顶端与固定挡板16的底端左侧连接，并且调节块18的顶端左侧和右侧分别设置有上下贯穿的左限位通孔和右螺纹通孔，调节板通过螺纹通孔螺装套设在调节丝杠15的外部，并且限位滑柱17的底端自调节块18顶端可滑动穿过左限位通孔内部并伸出调节块18的底端外界与下轴承座的顶端左侧连接，左支撑板14的内部上侧横向设置有调节通孔，并且调节通孔的右端同心设置有调节轴承座，调节轴承座内部设置有调节滚珠轴承，第二调节轴22的右端自左支撑板14的左端分别可滑动穿过调节通孔和调节滚珠轴承内部并伸出至调节轴承座的右端外界与第一锥型齿轮20的左端同心连接，第二锥型齿轮21位于固定挡板16的上方，并且第二锥型齿轮21固定套装在调节丝杠15的外部上侧，第二锥型齿轮21与第一锥型齿轮20啮合，第二调节轴22的左端同心设置有第二手轮，安装板19的左端与调节块18的右端连接，并且电阻率检测探头2的顶端与安装板19的底端中部连接；可以通过顺时针转动第一手轮，使第一调节轴带动调节齿轮转动，通过上齿条与下齿条与调节齿轮之间的啮合，使上齿条在支撑滑柱的作用下向右移动，同时使下齿条在支撑滑柱的作用下向左移动，从而使左弧形夹板向右移动，同时使右弧形夹板向左移动，将晶圆流片夹紧，同时通过棘轮随着第一调节轴顺时针转动，通过限位棘爪上的上滑块和下滑块分别在上滑槽和下滑槽内部的滑动配合，使限位棘齿可以在支撑弹簧的支撑下向左插进至棘轮的右侧棘齿内部，从而可以使转动后的第一调节轴的位置进行锁紧固定，防止左弧形夹板和右弧形夹板将夹紧后的晶圆流片松开，从而可以提高晶圆流片在检测台上的放置稳定性，防止在使用电阻率检测探头对晶圆流片进行检测的过程中晶圆流片发生滑动，减少影响检测结果的外界因素，提高使用可靠性；并且可以通过转动第二手轮，使第一锥型齿轮转动，通过第一锥型齿轮与第二锥型齿轮之间的啮合，使调节丝杠在上滚珠轴承和下滚珠轴承的作用下进行转动，通过限位滑柱与左限位通孔之间的滑动配合，使安装板可以沿着限位滑柱的方向上下移动，同时通过调节丝杠与右螺纹通孔之间的螺装配合，转动调节丝杠可以使安装板带动电阻率检测探头上下移动，无需人工手拿电阻率检测探头对晶圆流片进行检测，降低人为因素，提高检测精度，同时减轻人力，操作方便，提高实用性。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括四组多节伸缩杆23、螺纹杆24、第一螺纹管25、第二螺纹管26和底板27，四组多节伸缩杆23的顶端分别与检测台1底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且四组多节伸缩杆23的底端分别与底板27顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，螺纹杆24的顶端与检测台1的底端中部连接，并且底板27的顶端中部设置有固定槽，固定槽内部设置有调节滚珠轴承，第二螺纹管26的底端插入并固定安装至调节滚珠轴承内部，螺纹杆24的底端插入并螺装至第一螺纹管25的顶端内部，第一螺纹管25的外部设置有外部螺纹，并且第一螺纹管25通过外部螺纹插入并螺装至第二螺纹管26的顶端内部；可以通过底板对整体进行支撑，然后同时握住第二螺纹管与第一螺纹管，使第一螺纹管和第二螺纹管保持相对不动，同时转动第一螺纹管和第二螺纹管，使螺纹杆在第一螺纹管内部旋出旋出，当螺纹杆旋出至一定距离后，可以握住螺纹杆与第一螺纹管，转动第二螺纹管，使第一螺纹管在第二螺纹管内部旋进和旋出，从而可以根据操作人员的身高对整体进行高度上的调节，并且可以通过多节伸缩杆对调节后的检测台与底板之间进行稳定的支撑，提高适应能力，降低使用局限性。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括四组丝杆28和四组万向脚轮29，四组丝杆28的顶端分别与底板27底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，四组万向脚轮29的顶端分别与四组丝杆28的底端连接；可以通过四组丝杆分别对四组万向脚轮进行支撑，并且可以通过四组万向脚轮的转动，方便整体进行移动，提高适应能力，降低使用局限性。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括支撑罩30，四组支撑罩30的底端均设置有支撑槽，并且四组支撑罩30的顶端内壁上均设置有支撑螺纹通孔，四组支撑罩30分别通过支撑螺纹通孔分别螺装套设在四组丝杆28的外部，四组万向脚轮29分别位于四组支撑槽内部；当整体移动至用户所需位置后，可以通过四组支撑罩上的支撑螺纹通孔分别与四组丝杆之间的螺装配合，向下转动四组支撑罩，使四组支撑罩的底端与地面进行接触，使四组脚轮分别进入四组支撑槽内部，从而使四组脚轮脱离地面，将整体进行稳定支撑，提高整体的稳定性。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括右支撑板31、上挡板3210和辅助滑柱33，安装板19的右端设置有辅助板，并且辅助板的顶端设置有上下贯穿的辅助通孔，右支撑板31的底端与检测台1的顶端右侧连接，并且上挡板3210的右端与右支撑板31的左端上侧连接，辅助滑柱33的顶端与上挡板3210的底端左侧连接，辅助滑柱33的底端自辅助板的顶端可滑动穿过辅助通孔内部并伸出至辅助板的底端外界与检测台1的顶端右侧连接；可以通过辅助滑柱与辅助板上的辅助通孔之间的滑动配合，可以对安装板在随转动调节丝杠时上下移动时进行稳定支撑，提高安装板带动电阻率检测探头上下移动过程中的稳定性。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括第一锁紧螺栓34和第二锁紧螺栓35，第一螺纹管25的前端上侧中部设置有第一锁紧螺纹通孔，并且第一锁紧螺纹通孔与第一螺纹管25内部相通，第二螺纹管26的前端上侧中部设置有第二锁紧螺纹通孔，并且第二锁紧螺纹通孔与第二螺纹管26内部相通，第一锁紧螺栓34和第二锁紧螺栓35的后端分别插入并螺装至第一锁紧螺纹通孔和第二锁紧螺纹通孔内部；可以通过第一锁紧螺栓将螺纹杆与第一螺纹杆进行锁紧，同时可以通过第二锁紧螺栓将第一螺纹管和第二螺纹管相对锁紧，从而可以对整体进行高度调节时，无需人工攥住螺纹杆与第一螺纹管或者第一螺纹管与第二螺纹管，节省人力，同时可以通过第一锁紧螺栓和第二锁紧螺栓将调节后的螺纹杆、第一螺纹管与第二螺纹管之间的距离进行锁紧固定，提高整体的稳定性。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括转动手轮36，转动手轮36固定套装在第二螺纹管26的外部；可以通过转动手轮方便操作人员转动第二螺纹管或者同时转动第一螺纹管和第二螺纹管，提高实用性。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括四组防滑垫圈37，四组防滑垫圈37的顶端分别与四组支撑罩30的底端同心连接；可以通过四组防滑垫圈提高四组支撑罩底端与地面接触的防滑稳定能力。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括拨动钮38，拨动钮38的后端中部与限位棘爪12的前端中部连接，并且拨动钮38后端的上侧和下侧分别与上滑轨9和下滑轨的前端可滑动接触；当需要将晶圆流片进行拆卸时，可以通过拨动钮向右滑动限位棘爪，从而可以使棘轮逆时针转动，从可以使上齿条向左移动，下齿条向右移动，使左弧形夹板和右弧形夹板之间的距离增大，方便使晶圆流片卸下，提高实用性。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，还包括梅花锁紧螺栓39，辅助板的前端设置有定位螺纹通孔，并且定位螺纹通孔与限位通孔内部相通，梅花锁紧螺栓39的后端自辅助板的前端插入并螺装至定位螺纹通孔内部，并且梅花锁紧螺栓39的后端与辅助滑柱33的前端锁紧接触；可以通过向后转动梅花锁紧，使梅花锁紧螺栓的后端与辅助滑柱的前端锁紧，从而可以使移动后的电阻率检测探头调节后的位置可以进行锁紧固定，提高使用可靠性。

本发明的一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，其在工作时，首先将整体通过四组脚轮移动至用户所需位置，然后通过四组支撑罩上的支撑螺纹通孔分别与四组丝杆之间的螺装配合，向下转动四组支撑罩，使四组支撑罩的底端与地面进行接触，使四组脚轮分别进入四组支撑槽内部，从而使四组脚轮脱离地面，将整体进行稳定支撑，通过四组防滑垫圈提高四组支撑罩底端与地面接触的防滑稳定能力，然后转动第二锁紧螺栓将第二螺纹管与第一螺纹管相对锁紧，使第一螺纹管和第二螺纹管保持相对不动，同时转动第一螺纹管和第二螺纹管，使螺纹杆在第一螺纹管内部旋出旋出，当螺纹杆旋出至一定距离后，转动第一锁紧螺栓，使螺纹杆与第一螺纹管相对锁紧，转动第二螺纹管，使第一螺纹管在第二螺纹管内部旋进和旋出，通过转动手轮方便操作人员转动第二螺纹管或者同时转动第一螺纹管和第二螺纹管，从而可以根据操作人员的身高对整体进行高度上的调节，并且可以通过多节伸缩杆对调节后的检测台与底板之间进行稳定的支撑，然后将晶圆流片放置在检测台上的左弧形夹板和右弧形夹板之间，通过顺时针转动第一手轮，使第一调节轴带动调节齿轮转动，通过上齿条与下齿条与调节齿轮之间的啮合，使上齿条在支撑滑柱的作用下向右移动，同时使下齿条在支撑滑柱的作用下向左移动，从而使左弧形夹板向右移动，同时使右弧形夹板向左移动，将晶圆流片夹紧，同时通过棘轮随着第一调节轴顺时针转动，通过限位棘爪上的上滑块和下滑块分别在上滑槽和下滑槽内部的滑动配合，使限位棘齿可以在支撑弹簧的支撑下向左插进至棘轮的右侧棘齿内部，从而可以使转动后的第一调节轴的位置进行锁紧固定，防止左弧形夹板和右弧形夹板将夹紧后的晶圆流片松开，从而可以提高晶圆流片在检测台上的放置稳定性，防止在使用电阻率检测探头对晶圆流片进行检测的过程中晶圆流片发生滑动，并且可以通过转动第二手轮，使第一锥型齿轮转动，通过第一锥型齿轮与第二锥型齿轮之间的啮合，使调节丝杠在上滚珠轴承和下滚珠轴承的作用下进行转动，通过限位滑柱与左限位通孔之间的滑动配合，使安装板可以沿着限位滑柱的方向上下移动，同时通过调节丝杠与右螺纹通孔之间的螺装配合，转动调节丝杠可以使安装板带动电阻率检测探头上下移动，将电阻率检测探头调节至对晶圆流片进行检测的合适位置，然后将电阻率检测探头与外部计算机接通，人工使用电阻率检测探头的底部输出端对其进行反复检测，并记录每次检测的数值，将检测后的数值进行统计并求出平均值，最后，通过拨动钮向右滑动限位棘爪，从而可以使棘轮逆时针转动，从可以使上齿条向左移动，下齿条向右移动，使左弧形夹板和右弧形夹板之间的距离增大，将晶圆流片卸下即可。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。