光谱仪以及微全分析系统的制作方法

文档序号:17246468发布日期:2019-03-30 08:50阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种光谱仪以及微全分析系统。光谱仪包括:波导结构、点光源、准直镜以及反射光栅。波导结构包括第一面和第二面,点光源位于第一面,准直镜位于第二面,准直镜被配置为将经过波导结构并入射到准直镜的点光源发出的光转化为准直光,准直光在波导结构中全反射传播。反射光栅位于准直光在全反射传播过程中经过的波导结构的反射面,反射光栅被配置为使入射到反射光栅的准直光中的不同波长范围的光的出射角度不同,从而使不同波长范围的光在全反射传播过程中具有一定偏移量。光谱仪既可避免不同波长范围的光发生串扰,又可以波导结构为载体,支撑点光源、准直镜和反射光栅,实现了光谱仪的小型化、便携化以及稳定性。

技术研发人员:王方舟;王维;孟宪芹;陈小川;孟宪东;梁蓬霞;凌秋雨;刘佩琳;田依杉;郭宇娇
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司
技术研发日:2018.10.23
技术公布日:2019.03.29
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