一种热膨胀式流体二维加速度计及其加工方法与流程

文档序号:16544809发布日期:2019-01-08 20:47阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及惯性测量技术领域,尤其是涉及一种热膨胀式流体二维加速度计及其加工方法。该热膨胀式流体二维加速度计采用方形结构的检测层、悬置金属电阻桥加热丝和金属电阻桥热敏丝,上密封层与下密封层组成密闭腔体,并配合相应的检测和处理信号电路,可实现二维加速度的同时检测。该结构在X轴和Y轴方向分别放置两根金属电阻桥加热丝,在每根金属电阻桥加热丝两侧的两根金属电阻桥热敏丝,可实现加速度值的准确测量。另外,该加速度计具有结构简单,制作和装配方便,成本低,功耗低,抗冲击能力强,寿命长的特点。

技术研发人员:朴林华;胡永辉;朴然;王灯山;任安润;田文杰
受保护的技术使用者:北京信息科技大学
技术研发日:2018.10.30
技术公布日:2019.01.08
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