技术特征：
技术总结
本发明提出一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法，所述低阻尼电容式加速度传感器，由变间距式和变面积式两种电容结构组成。所述变间距式电容采用具有差分特性的梳齿状电极板结构，通过静电驱动方式减小电容可动极板和固定极板的间距，克服了干法刻蚀工艺对高深宽比梳齿状电极结构制备的难题，有效提高了所制备加速度传感器的初始电容；并在变间距式电容的固定极板上刻蚀倒三角形凹槽结构，与已报道的矩形凹槽结构相比，大大降低了空气阻尼并且具有较好的保真度。将变间距式和变面积式电容结构组合能够有效提高传感器的灵敏度、降低空气阻尼。本发明中的传感器初始电容大，阻尼小，噪声低，灵敏度高，制作工艺简单，可以降低成本。
技术研发人员：刘超然;王益哨;董林玺;王高峰
受保护的技术使用者：杭州电子科技大学
技术研发日：2018.11.01
技术公布日：2019.03.19