电子部件输送装置以及电子部件检查装置的制作方法

本发明涉及电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

背景技术：

以往，已知有对ic封装等电子部件进行测试的测试装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的测试装置具备：推动机，在保持电子部件的状态下，将该电子部件按压至测试用插座；以及压力检测单元，与推动机连结，检测在该推动机将电子部件按压至插座时的压力(按压力)。并且，在专利文献1记载的测试装置中，在对电子部件进行测试时，能够基于压力检测单元的检测结果检测到推动机是否以预定的压力将电子部件按压至插座。

专利文献1：日本特开2003-161758号公报

然而，在专利文献1中记载的测试装置中，例如，由于电子部件的大小(厚度)及形状(弯曲及倾斜的形状)、电子部件载置部(插座)和推动机间的平行性等，电子部件的各焊球的端子与插座的各触针并不限于均匀地接触。并且，各焊球的端子与各触针若非均匀地接触，则有可能无法正确地进行对电子部件的测试。

技术实现要素：

本发明以解决上述的问题为目的，能够作为以下的方式或者应用例来实现。

[应用例1]本实施方式涉及的电子部件输送装置，其特征在于，具备：输送部，所述输送部具有第一部件以及第二部件，所述第一部件具有第一基部和相对于所述第一基部滑动的第一滑动部，所述第二部件具有配置于第一滑动部的可装卸的第二基部和相对于所述第二基部滑动且与电子部件抵接的第二滑动部；流路，与第二空间连通，并向所述第二空间供给工作流体；流量传感器，设置于所述流路，检测所述工作流体的流量；以及调压部，调整所述工作流体的压力，所述第一部件在所述第一基部与所述第一滑动部之间形成有第一空间，所述第二部件在所述第二基部与所述第二滑动部之间形成有第二空间，用所述第二滑动部保持所述电子部件，并将所述电子部件按压至检查部的探针。

根据本实施例，在检查部进行对电子部件的电气检查时，能够无视电子部件的个体差别，使电子部件的各端子与检查部的各端子均匀地抵接，因此，能够正确地进行该检查。

[应用例2]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选所述工作流体能够进出所述第一空间以及所述第二空间。

根据本应用例，能够使第一滑动部滑动，并且能够使第二滑动部滑动。

[应用例3]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选具有：开闭部，设置于所述流路并对所述流路进行开闭；以及判断部，基于所述流量传感器检测的流量判断所述开闭部的开闭。

根据本应用例，能够防止来自第二空间的工作流体的泄漏。

[应用例4]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选所述流量传感器配置于所述开闭部与所述第二部件的所述第二空间之间。

根据本应用例，由于比开闭部更前端被切断，能够防止误检测。

[应用例5]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选地，若所述流量传感器检测到所述工作流体的预定流量，则所述判断部输出报警。

根据本应用例，能够根据报警检测预定流量。

[应用例6]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选所述第二基部能够与载置所述电子部件的电子部件载置部抵接。

根据本应用例，能够使第二基部的姿态成为仿照电子部件载置部的形状的状态。因此，第二滑动部能够在该仿照的状态下与电子部件抵接。其结果为，例如，在电子部件载置部是对电子部件进行电气检查的装置时，即使在电子部件载置部(插座)与推动机之间不具有平行性的情况下，也能够有助于使电子部件的各端子与载置部的各端子充分接触。

[应用例7]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选所述第二滑动部抵接于所述电子部件的抵接力与所述第二基部抵接于所述电子部件载置部的抵接力不同。

根据本应用例，例如，通过使第二滑动部抵接于电子部件的抵接力小于第二基部抵接于电子部件载置部的抵接力，能够发挥上述效果，且防止过度按压电子部件。

[应用例8]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选具有向所述第一空间和所述第二空间供给所述工作流体的工作流体供给部。

根据本应用例，通过在第一空间和第二空间设置共通的工作流体供给部，能够简化装置结构。

[应用例9]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选具有与所述第二空间连通的第三空间。

根据本应用例，能够抑制设置有第三空间的量的第二空间的压力的变动。

[应用例10]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选所述第一滑动部受所述工作流体的第一受压面的面积大于所述第二滑动部受所述工作流体的第二受压面的面积。

根据本应用例，当将第一空间和第二空间的压力设为相同时，能够使施加在第一滑动部的力大于施加在第二滑动部的力。

[应用例11]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选所述第二基部能够抵接于所述电子部件的一部分。

根据本应用例，例如，在第二基部按压电子部件的一部分的状态下，第二滑动部能够按压电子部件的剩余部分。

[应用例12]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选所述第二滑动部抵接于所述电子部件的抵接力和所述第二基部抵接于所述电子部件的抵接力不同。

根据本应用例，能够减少电子部件中第二滑动部与电子部件抵接的部分的负荷，或者减少电子部件中第二基部与电子部件抵接的部分的负荷。即，能够根据电子部件的部位使抵接力不同。

[应用例13]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选所述第二基部和所述第二滑动部相对于所述电子部件在不同位置抵接。

根据本应用例，例如，在第二基部按压电子部件的一部分的状态下，第二滑动部能够按压电子部件的剩余部分。

[应用例14]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选能够分别变更流向所述第一空间的所述工作流体的压力和流向所述第二空间的所述工作流体的压力。

根据本应用例，能够使施加在第一滑动部的力和施加在第二滑动部的力不同。

[应用例15]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选具有：可动部，能够载置并移动所述电子部件；以及力检测部，设置于所述可动部，能够检测力，所述力检测部能够抵接于与所述第二滑动部抵接的所述电子部件。

根据本应用例，例如，在检查部进行对电子部件的电气检查时，能够将与第二滑动部抵接的电子部件抵接于检查部时的实际的抵接力置换为由力检测部检测的抵接力。并且，能够根据由力检测部检测的抵接力的大小，判断检查电子部件时的抵接力是否是对于该电子部件来说是既没有过度也没有不足的大小。

[应用例16]本实施方式涉及的电子部件检查装置，其特征在于，具备：输送部，所述输送部具有第一部件以及第二部件，所述第一部件具有第一基部和相对于所述第一基部滑动的第一滑动部，所述第二部件具有配置于第一滑动部的可装卸的第二基部和相对于所述第二基部滑动且与电子部件抵接的第二滑动部；流路，与第二空间连通，并向所述第二空间供给工作流体；流量传感器，设置于所述流路，检测所述工作流体的流量；调压部，调整所述工作流体的压力；以及检查部，检查所述电子部件，所述第一部件在所述第一基部与所述第一滑动部之间形成有第一空间，所述第二部件在所述第二基部与所述第二滑动部之间形成有第二空间，用所述第二滑动部保持所述电子部件，并将所述电子部件按压至所述检查部的探针。

根据本实施例，能够调节第一空间以及第二空间内的工作流体的压力。并且，例如，在检查部进行对电子部件的电气检查时，能够无视电子部件的个体差别，使电子部件的各端子与检查部的各端子均匀地抵接，因此，能够正确地进行该检查。

[应用例17]本实施方式涉及的电子部件输送装置，其特征在于，将电子部件输送至检查所述电子部件的电气特性的检查部，所述电子部件输送装置具备：输送部，将所述电子部件输送至所述检查部，所述输送部具有第一部件以及第二部件，所述第一部件具有第一基部、相对于所述第一基部滑动的第一滑动部、以及由所述第一基部和所述第一滑动部划定的第一空间，所述第二部件具有安装于所述第一滑动部的第二基部、相对于所述第二基部滑动且与电子部件抵接的第二滑动部、以及由所述第二基部和所述第二滑动部划定的第二空间；管道部，具有与所述第二空间连通且向所述第二空间供给工作流体的流路；流量传感器，配置于所述流路，检测所述工作流体的流量；调压部，调整所述工作流体的压力；以及控制部，使所述第二滑动部保持所述电子部件，使所述第二滑动部将所述电子部件按压至所述检查部。

根据本实施例，在检查部进行对电子部件的电气检查时，能够无视电子部件的个体差别，使电子部件的各端子与检查部的各端子均匀地抵接，因此，能够正确地进行该检查。

[应用例18]本实施方式涉及的电子部件检查装置其特征在于，具备：检查部，检查电子部件的电气特性；输送部，将所述电子部件输送至所述检查部，所述输送部具有第一部件以及第二部件，所述第一部件具有第一基部、相对于所述第一基部滑动的第一滑动部、以及由所述第一基部和所述第一滑动部划定的第一空间，所述第二部件具有安装于所述第一滑动部的第二基部、相对于所述第二基部滑动且与电子部件抵接的第二滑动部、以及由所述第二基部和所述第二滑动部划定的第二空间；管道部，具有与所述第二空间连通且向所述第二空间供给工作流体的流路；流量传感器，配置于所述流路，检测所述工作流体的流量；调压部，调整所述工作流体的压力；以及控制部，使所述第二滑动部保持所述电子部件，使所述第二滑动部将所述电子部件按压至所述检查部。

根据本实施例，能够调节第一空间以及第二空间内的工作流体的压力。并且，例如，在检查部进行对电子部件的电气检查时，能够无视电子部件的个体差别，使电子部件的各端子与检查部的各端子均匀地抵接，因此，能够正确地进行该检查。

附图说明

图1是从正面侧观察第一实施方式涉及的电子部件检查装置的概略立体图。

图2是示出图1所示的电子部件检查装置的动作状态的概略俯视图。

图3是示出在图2中的检查区域设置的设备输送头的立体图。

图4是依次示出在图2中的检查区域设置的设备输送头的工作状态的概略部分垂直剖视图。

图5是依次示出在图2中的检查区域设置的设备输送头的工作状态的概略部分垂直剖视图。

图6是依次示出在图2中的检查区域设置的设备输送头的工作状态的概略部分垂直剖视图。

图7是示出当将吸嘴的下面(吸附面)作为基准时，即使是从下面到ic设备的各端子的距离存在偏差的ic设备，各端子与检查部的各探针也能够接触的状态的垂直剖视图。

图8是示出当将吸嘴的下面(吸附面)作为基准时，即使是从下面到ic设备的各端子的距离存在偏差的ic设备，各端子与检查部的各探针也能够接触的状态的垂直剖视图。

图9是示出当将吸嘴的下面(吸附面)作为基准时，即使是从下面到ic设备的各端子的距离存在偏差的ic设备，各端子与检查部的各探针也能够接触的状态的垂直剖视图。

图10是示出切断用电磁阀的开闭顺序的流程图。

图11是第二实施方式涉及的设备输送头的概略部分垂直剖视图。

图12是第三实施方式涉及的设备输送头的概略部分垂直剖视图。

图13是第四实施方式涉及的设备输送头以及可动部的概略部分垂直剖视图。

图14是第五实施方式涉及的设备输送头的概略部分垂直剖视图。

图15是第六实施方式涉及的设备输送头的概略部分垂直剖视图。

附图标记说明

1…电子部件检查装置；3…吸引部(第二部件)(输送部)；5…姿态调整部(第一部件)；6…隔热部；7…x方向移动机构；8…管道；9…力检测部；10…电子部件输送装置；11a、11b…托盘输送机构；12…温度调整部；13…设备输送头；14…设备供给部；15…托盘输送机构；16…检查部；17、17a、17b…设备输送头；18…设备回收部；19…回收用托盘；20…设备输送头；21、22a、22b…托盘输送机构；30…可动部；31…吸嘴(第二滑动部)(输送部)；32…第一块部；33…第二块部；34…第三块部(第二基部)(输送部)；35…垫圈；36…接头；37、38…垫圈；41、42…接头；43…垫圈；51…第一调整机构；52…第二调整机构；53…膜片；61…隔热部件；71…管道；71a…直线导轨；72…喷射器；72a…支承基座；73…调节器；73a…垫块；80、81、82…管道(流路)；83…储罐；84…调节器(调压部)；85…工作流体供给部；86…分岐点；87…流量传感器；88…切断用电磁阀(开闭部)；89…分岐点；90…ic设备(电子部件)；141…凹部(洼坑)；150…槽；152…导销；161…检查部主体；162…抵接部；163…探针；165…凹部(洼坑)；166…电子部件施力部；171…连结部；181…凹部(洼坑)；200…托盘；231…第一隔壁；232…第二隔壁；233…第三隔壁；234…第四隔壁；235…第五隔壁；241…前盖；242、243…侧盖；244…后盖；245…顶盖；300…监视器；301…显示画面；311…上面；312…下面；313…内腔部；314…开口部(吸引口)；315…凸缘部；316…槽；321…上面；322…下面；324…内腔部；325…凹部；331…上面；332…下面；333…内腔部；334…槽；336…内腔部；338、340…槽；341…上面；342…下面；344…贯通孔；346…突出部；348…凹部；400…信号灯；500…扬声器；511…缸体(第一基部)；512…活塞(第一滑动部)；513…内腔部；514…凸缘部；515…活塞杆；516…贯通孔；521…板部件；531…下面；600…鼠标台；700…操作面板；711a…导轨；712a…滑块；800…控制部；901…端子；902…基板；903…突出部；a1…托盘供给区域；a2…设备供给区域(供给区域)；a3…检查区域；a4…设备回收区域(回收区域)；a5…托盘去除区域；f3、f3’…吸引力；f90…抵接力；h90…距离；s1…第一空间；s2…第二空间。

具体实施方式

以下，基于附图所示的优选实施方式对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置进行详细说明。

＜第一实施方式＞

以下，参照图1～图9，对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第一实施方式进行说明。需要说明的是，以下，为便于说明，如图1所示，将互相正交的三个轴设为x轴、y轴以及z轴。另外，包含x轴和y轴的xy平面为水平，z轴为铅垂。另外，将与x轴平行的方向称为“x方向(第一方向)”，将与y轴平行的方向称为“y方向(第二方向)”，将与z轴平行的方向称为“z方向(第三方向)”。另外，各方向的箭头所朝向的方向称为“正”，其相反方向称为“负”。另外，本说明书中称作的“水平”并不完全限定于水平，只要不妨碍电子部件的输送，还包括相对于水平稍微(例如，小于5°的程度)倾斜的状态。另外，图1、图4～图9中(对于图11～图15也同样)的上侧称为“上”或者“上方”，下侧称为“下”或者“下方”。

如图4所示，本实施方式涉及的电子部件输送装置10具备：输送部，具有作为第一部件的姿态调整部5和作为第二部件的吸引部3，所述姿态调整部5具有作为第一基部的缸体511和作为相对于缸体511滑动的第一滑动部的活塞512，所述吸引部3具有作为配置于活塞512的可装卸的第二基部的第三块部34和作为相对于第三块部34滑动且与电子部件抵接的第二滑动部的吸嘴31；管道81，作为与第二空间s2连通并向第二空间s2供给工作流体r的流路；流量传感器87，设置于管道81，检测工作流体r的流量；以及调节器84，作为调整工作流体r的压力的调压部，姿态调整部5在缸体511与活塞512之间形成有第一空间s1，吸引部3在所述第二基部与所述第二滑动部之间形成所述第二空间s2，由第三块部34保持所述电子部件，并将电子部件向检查部16(参照图5)的探针163(参照图5)按压。

由此，即使电子部件存在个体差别，也能够通过调节第一空间s1以及第二空间s2内的工作流体r的压力将该差别抵消。并且，例如，在检查部16(参照图5)对电子部件进行电气检查时，能够无视电子部件的个体差别，使电子部件的各端子与检查部16的各端子均匀地抵接，因此，能够正确地进行该检查。另外，通过检测管道81内工作流体r的流量，能够检测工作流体r是否从管道81泄漏。

本实施方式涉及的电子部件检查装置1具备本实施方式的电子部件输送装置10，还具备用于检查电子部件的检查部16。即，本实施方式的电子部件检查装置1具备：输送部，具有作为第一部件的姿态调整部5和作为第二部件的吸引部3，所述姿态调整部5具有作为第一基部的缸体511和作为相对于缸体511滑动的第一滑动部的活塞512，所述吸引部3具有作为配置于活塞512的可装卸的第二基部的第三块部34和作为相对于第三块部34滑动，并与电子部件抵接的第二滑动部的吸嘴31；管道81，作为与第二空间s2连通，并向第二空间s2供给工作流体r的流路；流量传感器87，设置于管道81，检测工作流体r的流量；调节器84，作为调整工作流体r的压力的调压部；以及检查部16，用于检查电子部件，姿态调整部5在缸体511与活塞512之间形成有第一空间s1，吸引部3在第三块部34与吸嘴31之间形成第二空间s2，由吸嘴31保持电子部件，并将电子部件向检查部16的探针163按压。

由此，获得具有前述的电子部件输送装置10的优点的电子部件检查装置1。另外，能够将电子部件输送到检查部16，由此，能够在检查部16进行对该电子部件的检查。另外，能够将检查后的电子部件从检查部16输送出。

以下，对各部的结构进行说明。图1是从正面侧观察本实施方式涉及的电子部件检查装置的概略立体图。图2是示出图1所示的电子部件检查装置的动作状态的概略俯视图。如图1以及图2所示，内置电子部件输送装置10的电子部件检查装置1，例如是输送bga(ballgridarray)封装的ic设备等电子部件并在该输送过程中对电子部件的电气特性进行检查或测试(以下简单地称为“检查”)的装置。需要说明的是，以下，为便于说明，以使用ic设备作为电子部件的情况为代表进行说明，并将其记为“ic设备90”。在本实施方式中，ic设备90呈平板状。另外，在ic设备90的下面配置有多个半球状的端子901(参照图5以及图6)。

需要说明的是，作为ic设备，除了所述的设备以外，例如可以列举出“lsi(largescaleintegration)”、“cmos(complementarymos)”、“ccd(chargecoupleddevice)”及将多个ic设备模块封装化后的“模块ic”，另外，“水晶设备”、“压力传感器”、“慣性传感器(加速度传感器)”、“陀螺仪传感器”、“指纹传感器”等。

另外，电子部件检查装置1(电子部件输送装置10)预先搭载并使用按ic设备90的种类更换的被称为“更换套件”的套件。该更换套件中具有载置ic设备90的载置部，作为该载置部，例如有后述的温度调整部12、设备供给部14等。另外，作为载置ic设备90的载置部，也有由用户准备的检查部16或托盘200，其与如上所述的更换套件分开。在本实施方式中，图4所示的吸引部3的第二块部33以及第三块部34相当于更换套件。

电子部件检查装置1具备托盘供给区域a1、设备供给区域(以下简单地称为“供给区域”)a2、检查区域a3、设备回收区域(以下简单地称为“回收区域”)a4以及托盘去除区域a5，如后所述，这些区域被各壁部所分隔。并且，对于ic设备90而言，从托盘供给区域a1到托盘去除区域a5按箭头α90方向依次经过各区域，并在途中的检查区域a3进行检查。如此，电子部件检查装置1具备：电子部件输送装置10即自动分拣机，在各区域输送ic设备90；检查部16，在检查区域a3内进行检查；以及控制部800。另外，除此之外，电子部件检查装置1还具备监视器300、信号灯400以及操作面板700。

需要说明的是，对于电子部件检查装置1而言，配置托盘供给区域a1以及托盘去除区域a5的一侧，即图2中的下侧为正面侧，配置检查区域a3的一侧，即图2中的上侧作为背面侧使用。

托盘供给区域a1是供给排列有多个未检查状态的ic设备90的托盘200的材料供给部。在托盘供给区域a1中，能够层叠多个托盘200。

供给区域a2是将从托盘供给区域a1输送来的托盘200上的多个ic设备90分别输送并供给至检查区域a3的区域。需要说明的是，按照跨越托盘供给区域a1和供给区域a2的方式设置有将托盘200逐个在水平方向上输送的托盘输送机构11a、11b。托盘输送机构11a是能够使托盘200连同载置于托盘200的ic设备90向y方向的正侧，即图2中的箭头α11a方向移动的移动部。由此，能够将ic设备90稳定地送入供给区域a2。另外，托盘输送机构11b是能够使空的托盘200向y方向的负侧，即图2中的箭头α11b方向移动的移动部。由此，能够使空的托盘200从供给区域a2移动至托盘供给区域a1。

供给区域a2设置有温度调整部(ソークプレート(英语表述：soakplate，汉语表述(一个例子)：均温板))12、设备输送头13以及托盘输送机构15。

温度调整部12构成为载置多个ic设备90的载置部，是被称为能够对该载置的ic设备90统一加热或者冷却的“均温板”。通过该均温板，能够对被检查部16检查前的ic设备90进行预先加热或者冷却，调整到适于该检查(高温检查或者低温检查)的温度。在图2所示的结构中，在y方向配置有两个温度调整部12并被固定。并且，将由托盘输送机构11a从托盘供给区域a1输送来的托盘200上的ic设备90输送至任意的温度调整部12。需要说明的是，作为该载置部的温度调整部12由于被固定，能够对温度调整部12上的ic设备90进行稳定的温度调整。

设备输送头13在供给区域a2内以能够在x方向以及y方向上移动的方式被支承，还具备能够在z方向移动的部分。由此，设备输送头13能够承担从托盘供给区域a1输送来的托盘200和温度调整部12之间的ic设备90的输送、以及温度调整部12和后述的设备供给部14之间的ic设备90的输送。需要说明的是，在图2中，设备输送头13的x方向的移动由箭头α13x表示，设备输送头13的y方向的移动由箭头α13y表示。

托盘输送机构15是将全部ic设备90去除后的状态的空的托盘200在供给区域a2内向x方向正侧，即箭头α15方向输送的机构。并且，在该输送后，空的托盘200通过托盘输送机构11b从供给区域a2返回托盘供给区域a1。

检查区域a3是检查ic设备90的区域。在该检查区域a3设置有对ic设备90进行检查的检查部16和具有吸引部3的设备输送头17。另外还设置有按照跨越供给区域a2和检查区域a3的方式移动的设备供给部14以及按照跨越检查区域a3和回收区域a4的方式移动的设备回收部18。

设备供给部14构成为载置有由温度调整部12温度调整后的ic设备90的载置部，能够将该ic设备90输送至检查部16附近，被称为“供给用穿梭板”或者简单地“供给穿梭件”。

另外，作为该载置部的设备供给部14，按照在供给区域a2和检查区域a3之间能够沿x方向，即箭头α14方向往返移动的方式被支承。由此，设备供给部14能够将ic设备90从供给区域a2稳定地输至检查区域a3的检查部16附近，另外，还能够在检查区域a3通过设备输送头17去除ic设备90后再次返回供给区域a2。

在图2所示的结构中，在y方向配置有两个设备供给部14，将温度调整部12上的ic设备90输送至任意设备供给部14。另外，与温度调整部12同样，设备供给部14构成为能够加热或者冷却载置于设备供给部14的ic设备90。由此，对由温度调整部12进行温度调整后的ic设备90，能够维持该温度调整状态，并输送至检查区域a3的检查部16附近。

设备输送头17是保持维持了温度调整状态的ic设备90，并将ic设备90输送至检查区域a3内的动作部，即输送部的一种。该设备输送头17按照在检查区域a3内能够在y方向以及z方向上往返移动的方式被支承，是被称为“索引臂”的机构的一部分。由此，设备输送头17能够将从供给区域a2输送来的设备供给部14上的ic设备90输送并载置至检查部16上。需要说明的是，在图2中，设备输送头17在y方向的往返移动由箭头α17y表示。另外，虽然设备输送头17按照能够在y方向以及z方向上往返移动的方式被支承，但并不限于此，也可以按照还能够在x方向上往返移动的方式被支承。

另外，与温度调整部12同样，设备输送头17构成为能够对保持的ic设备90进行加热或者冷却。由此，能够从设备供给部14到检查部16持续维持ic设备90的温度调整状态。

检查部16构成为载置电子部件即ic设备90，并对ic设备90的电气特性进行检查的载置部。在该检查部16设置有与ic设备90的端子901电连接的多个探针163(参照图5以及图6)。并且，通过ic设备90的端子901和探针163电连接即接触，能够进行ic设备90的检查。ic设备90的检查是基于与检查部16连接的测定器(未图示)具备的检查控制部中存储的程序而进行的。需要说明的是，检查部16也与温度调整部12同样，能够对ic设备90进行加热或者冷却，将ic设备90调整至适宜检查的温度。

设备回收部18构成为能够载置在检查部16完成检测的ic设备90，并将ic设备90输送至回收区域a4的载置部，其被称为“回收用穿梭板”或者简单地被称为“回收穿梭件”。

另外，设备回收部18按照在检查区域a3和回收区域a4之间能够沿x方向，即箭头α18方向往返移动的方式被支承。另外，在图2所示的结构中，与设备供给部14同样，在y方向上配置有两个设备回收部18，检查部16上的ic设备90被被输送并载置于任意的设备回收部18。该输送由设备输送头17进行。

回收区域a4是回收在检查区域a3被检查且完成该检测的多个ic设备90的区域。该回收区域a4设置有回收用托盘19、设备输送头20以及托盘输送机构21。另外，回收区域a4还准备有空的托盘200。

回收用托盘19是载置在检查部16被检查的ic设备90的载置部，并按照在回收区域a4内不能移动的方式被固定。由此，即使是在配置有较多设备输送头20等各种可动部的回收区域a4，也能在回收用托盘19上稳定地载置已完成检查的ic设备90。需要说明的是，在图2所示的结构中，沿x方向配置有三个回收用托盘19。

另外，沿x方向还配置有三个空的托盘200。该空的托盘200也是用于载置在检查部16被检查的ic设备90的载置部。并且，向回收区域a4移动来的设备回收部18上的ic设备90被输送并载置于回收用托盘19以及空的托盘200中的任意一个。由此，ic设备90按照检查结果被分类并且回收。

设备输送头20在回收区域a4内按照能够在x方向以及y方向上移动的方式被支承，还进一步具备能够在z方向上移动的部分。由此，设备输送头20能够将ic设备90从设备回收部18输送至回收用托盘19或空的托盘200。需要说明的是，在图2中，设备输送头20的x方向的移动由箭头α20x表示，设备输送头20的y方向的移动由箭头α20y表示。

托盘输送机构21是将从托盘去除区域a5输送来的空的托盘200在回收区域a4内向x方向，即箭头α21方向输送的机构。并且，在该输送后，空的托盘200能够被配置至回收ic设备90的位置，即三个的空的托盘200中的任意一个。

托盘去除区域a5是回收并去除排列有已完成检查状态的多个ic设备90的托盘200的材料去除部。在托盘去除区域a5中，能够层叠多个托盘200。

另外，按照跨越回收区域a4与托盘去除区域a5的方式，设置有将每个托盘200在y方向上输送的托盘输送机构22a、22b。托盘输送机构22a是能够使托盘200在y方向，即箭头α22a方向往返移动的移动部。由此，能够将已完成检查的ic设备90从回收区域a4输送至托盘去除区域a5。另外，托盘输送机构22b能够使用于回收ic设备90的空的托盘200向y方向的正侧，即箭头α22b方向移动。由此，能够使空的托盘200从托盘去除区域a5移动至回收区域a4。

控制部800能够控制例如托盘输送机构11a、托盘输送机构11b、温度调整部12、设备输送头13、设备供给部14、托盘输送机构15、检查部16、设备输送头17、设备回收部18、设备输送头20、托盘输送机构21、托盘输送机构22a以及托盘输送机构22b的各部的工作。控制部800能够基于流量传感器87检测的流量来判断切断用电磁阀88的开闭。由此，能够防止工作流体r从后述的第二空间s2以及管道81的泄漏。

操作员能够通过监视器300来设定以及确认电子部件检查装置1的动作条件等。该监视器300具备例如由液晶画面构成的显示画面301，并被配置于电子部件检查装置1的正面侧上部。如图1所示，在托盘去除区域a5的图中的右侧，设置有载置鼠标的鼠标台600。该鼠标用于在操作监视器300显示的画面时使用。

另外，在相对于监视器300的图1的右下方配置有操作面板700。操作面板700是除监视器300以外，用于命令电子部件检查装置1所期望的动作的装置。

另外，信号灯400能够通过发光的颜色的组合告知检查装置1的工作状态等。信号灯400配置在检查装置1的上部。需要说明的是，在电子部件检查装置1中内置有扬声器500，还能够通过该扬声器500告知检查装置1的工作状态等。

在电子部件检查装置1中，托盘供给区域a1与供给区域a2之间被第一隔壁231分隔，供给区域a2与检查区域a3之间被第二隔壁232分隔，检查区域a3与设备回收区域a4之间被第三隔壁233分隔，设备回收区域a4与托盘除去区域a5之间被第四隔壁234分隔。另外，供给区域a2与设备回收区域a4之间也被第五隔壁235分隔。

电子部件检查装置1最外部由盖覆盖，该盖例如有前盖241、侧盖242、侧盖243、后盖244以及顶盖245。

图3是示出图2中的检查区域设置的设备输送头的立体图。图4～图6是依次示出在图2中的检查区域设置的设备输送头的工作状态的概略部分垂直剖视图。需要说明的是，图3中，在图中左侧示出安装于第一块部32的第二块部33及第三块部34的状态，在图中右侧示出从第一块部32拆下的第二块部33及第三块部34的状态。

如前所述，设备输送头17按照在y方向以及z方向上能够移动的方式被支承。设备输送头17用于在检查区域a3内输送ic设备90。如图4～图6所示，设备输送头17具备吸引部3、姿态调整部5以及隔热部6。

吸引部3是构成为能够通过吸引(吸附)而保持电子部件即ic设备90的吸引单元。该吸引部3具备吸嘴31、第一块部32、第二块部33以及第三块部34。第二块部33和第三块部34相当于前述的“更换套件”。第二块部33和第三块部34能够按照ic设备90的种类更换，即，装卸。需要说明的是，第二块部33和第三块部34虽然是独立的，但并不限于此，也可以构成为一体。需要说明的是，虽然吸引部3的设置数量在图4～图6所示的结构中为一个，但并不限于此，也可以是多个。

真空生成源即喷射器72对吸引部3施与吸引力f3。通过喷射器72的工作产生负压，通过调压机构即调节器73来调整适宜的压力，通过管道71以及接头36，使内腔部324以及内腔部333成为负压。通过接头36能够防止空气的泄漏。

吸嘴31能够吸附ic设备90，由具有在上面311和下面312开口的内腔部313的圆筒状的部件构成。内腔部313作为使空气通过的流路发挥功能。并且，内腔部324以及内腔部333成为负压，与此连通的内腔部313成为负压，即，空气通过在内腔部313内向上方流动，从而在下面312的开口部(吸引口)314产生吸引力f3。由此，能够以下面312作为吸附面吸附ic设备90。另外，向内腔部313流入空气而压力上升，即，通过空气在内腔部313内向下方流动，或者，停止空气向上方的流动，从而吸引力f3减小，直至消失，能够使ic设备90从下面312解除(脱离)。需要说明的是，在之后，将吸引ic设备90的方向，即吸引力f3作用的方向称为“吸引方向α3”。另外，吸引方向α3朝向z方向的正侧(参照图5)。

另外，吸引力f3的最大值(吸引部3的最大吸引力)并无限定，例如优选-95kpa以上-30kpa以下，更加优选-90kpa以上-50kpa以下。进一步，构成为能够通过调节器73的压力设定来变更吸引部3的吸引力f3。需要说明的是，作为调节器73，例如，优选电动气动调节器。由此，能够无段式地变更吸引力f3(调整)。通过这样的吸引力f3，能够调整被安装于吸嘴31的垫圈35(例如，本实施方式中的o型环)所密封的区域的真空度。需要说明的是，在本实施方式中，吸嘴31的真空度设为恒定。

在吸嘴31的外周部，在其长度方向的途中突出地形成有外径扩大的凸缘部315。凸缘部315与第三块部34抵接，能够防止吸嘴31从吸引部3脱落(参照图4)。需要说明的是，凸缘部315的外周部形成有槽340。槽340沿凸缘部315的圆周方向形成为环状。并且，该槽340配置有环状的垫圈43。由此，能够保持第二空间s2的压力。另外，在凸缘部315的下方形成有槽150。形成一个槽150。第三块部34的导销152插入槽150。由此，能够防止吸嘴31相对于第三块部34的旋转。

另外，在吸嘴31的外周部，比凸缘部315更上方形成有槽316。槽316沿吸嘴31的圆周方向形成为环状。并且，在该槽316配置有环状的垫圈35。由此，垫圈35在吸嘴31和第二块部33之间被压缩。

在吸嘴31的上方配置有第一块部32。该第一块部32由具有平整的上面321和下面322的块状(或者板状)的部件构成。第一块部32具备在下面322开口的凹部325。吸嘴31的比凸缘部315更上侧的部分插入凹部325。由此，吸嘴31能够在z方向上移动。另外，第一块部32具备在下面322和上面321开口的内腔部324。与吸嘴31的内腔部313同样，该内腔部324作为使空气通过的流路发挥功能。

另外，接头36从上面321侧气密地连接于内腔部324。接头36通过管道71与喷射器72连接。另外，在管道71的途中，即接头36与喷射器72之间配置有调节器73。

另外，还能够在第一块部32内置例如对被吸嘴31吸附的ic设备90进行加热的加热器(未图示)。

第一块部32的下方配置有第二块部33。该第二块部33由具有平整的上面331和下面332的块状(或者板状)的部件构成，上面331与第一块部32的下面322相接。

第二块部33具备在上面331和下面332开口的内腔部333。吸嘴31的比凸缘部315更上侧的部分插入至内腔部333。由此，吸嘴31能够在z方向上移动。

另外，内腔部333也作为使空气通过的流路发挥功能，通过该内腔部333，吸嘴31的内腔部313和第一块部32的内腔部324连通。由此，形成使空气通过的一系列的流路。

在第二块部33的上面331侧，在上面331开放的槽334形成为与内腔部333同心的环状。该槽334配置有环状的垫圈37。由此，垫圈37在第一块部32与第二块部33之间被压缩，与垫圈35一起，能够维持所述一系列的流路的气密性。

第一块部32以及第二块部33具备连通第一块部32的外周部和第二块部33的外周部的内腔部336。接头41从外侧气密地连接于该内腔部336。接头41通过管道8(管道81)与工作流体供给部85连接。通过接头41能够防止空气的泄漏。

在第二块部33的上面331侧，在上面331开放的槽338形成为与内腔部336同心的环状。该槽338配置有环状的垫圈38。由此，垫圈38在第一块部32与第二块部33之间被压缩，与垫圈35一起，能够维持所述一系列的流路的气密性。

工作流体供给部85向后述的第一空间s1和第二空间s2供给工作流体r(例如空气)。通过在第一空间s1和第二空间s2设置共通的工作流体供给部85，能够使装置结构简化。进一步地，在第一空间s1和第二空间s2，能够省略分别设置专用的工作流体供给部。因此，能够使装置结构进一步简化。另外，通过使工作流体r能够出入第一空间s1以及第二空间s2，如后所述，能够使活塞512在缸体511内滑动，并且能够使吸嘴31在贯通孔344内滑动。

在此，虽然向第一空间s1和第二空间s2供给的工作流体r的压力在本实施方式中是相同压力，但也可不同。需要说明的是，工作流体供给部85除了工作流体的供给之外，还能够进行吸引(工作流体r的回收)。

第二块部33的下方配置有第三块部34。第三块部34由具有平整的上面341和下面342的块状(或者板状)的部件构成，上面341与第二块部33的下面332相接。

第三块部34的上面341侧形成有在上面341开放且在俯视下比吸嘴31的凸缘部315大的凹部348。在该凹部348内，凸缘部315能够在z方向上移动。

并且，如图4所示，在凸缘部315与凹部348的底部抵接的状态下，在吸嘴31的下侧的位置的移动界限被限制，因此，能够防止吸嘴31的脱落。与此相对地，在凸缘部315与第二块部33的下面332抵接的状态下，吸嘴31的上侧的位置的移动界限被限制。需要说明的是，吸嘴31能够移动的可动区域被充分确保，以能够与各种ic设备90的厚度相对应。由第二块部33的下面332与第二受压面m2所分隔的空间作为供给工作流体r的第二空间s2发挥功能。

另外，凹部348的底部形成有贯通至下面342的贯通孔344。不论吸嘴31的位置如何，比凸缘部315更下侧的部分能够从贯通孔344突出。

第三块部34具备导销152。导销152与吸嘴31的槽150相对应，配置于第三块部34。导销152被固定于第三块部34，且向上方突出。并且，如前所述，通过将导销152插入至吸嘴31的槽150，能够进行吸嘴31和凹部348的定位。由此，能够防止吸嘴31相对于第三块部34的旋转。

在比吸引部3更上方配置有姿态调整部5。姿态调整部5被称为在图6所示的状态下对吸引部3的姿态进行调整的“柔量单元”。姿态调整部5具备第一调整机构51和第二调整机构52。

第一调整机构51在吸引部3的姿态调整中，承担吸引部3绕x轴的姿态调整和吸引部3绕y轴的姿态调整。

第一调整机构51具备缸体511以及相对于缸体511在z方向上能够滑动的活塞512。缸体511在内侧具备内腔部513。活塞512插入该内腔部513的内侧。活塞512具备凸缘部514以及连结凸缘部514和第二调整机构52的活塞杆515。另外，凸缘部514的外周部具有圆角。由此，活塞512其具有圆角的外周部能够变更为活塞512的中心轴呈倾斜状的姿态。因此，活塞512能够按照仿照检查部16的抵接部162的面的朝向的方式变更姿态。需要说明的是，也可以省略活塞512的圆角，设置与活塞512独立的垫圈。在该情况下，垫圈由弹性体构成即可，与上述同样，活塞512能够变更为其中心轴呈倾斜状的姿态。

另外，如图4所示，缸体511设置有贯通内周部和外周部的贯通孔516。接头42从外侧气密地连接于该贯通孔516。接头42通过管道8(管道82)与工作流体供给部85连接。通过接头42能够防止空气的泄漏。

需要说明的是，管道8构成为从途中分岐为管道81以及管道82。另外，在管道8的分岐点86与工作流体供给部85之间设置有储罐83和作为调压部的调节器84。调节器84配置于比储罐83更靠近工作流体供给部85侧。调节器84调整工作流体r的压力。需要说明的是，调节器84能够设为与调节器73同样的结构。

另外，也可以分别(柔量单元用和空气弹簧用(在本实施方式中将具备第二空间s2的机构称为空气弹簧))安装两台以上电动气动调节器。

储罐83能够在内侧存积从工作流体供给部85供给的工作流体r，作为工作流体r的备用槽或者缓冲槽发挥功能。另外，储罐83其内部空间通过管道81与第二空间s2连通。即，储罐83作为与第二空间s2连通的第三空间发挥功能。由此，由于吸嘴31的移动，即使第二空间s2的压力变动，因为与储罐83连通，工作流体r向储罐83流出或者工作流体r从第三空间进入。因此，能够缓和第二空间s2的内压变动。其结果为，吸嘴31能够稳定地按压ic设备90。如此，储罐83作为缓和第二空间s2的压力变动的缓和部发挥功能。

电子部件输送装置10具备设置于管道81且作为开闭管道81的开闭部(阀)的切断用电磁阀88以及作为基于流量传感器87检测的流量来判断切断用电磁阀88的开闭的判断部的控制部800(参照图1)。由此，能够防止工作流体r从第二空间s2泄漏。

另外，当工作流体r从第二空间s2泄漏时，能够防止第一空间s1的压力下降，而难以通过第一空间s1的工作流体r的压力调节来抵消电子部件的个体差别。

进一步地，特别是在更换为具备机械弹簧(在本实施方式中，将不具备第二空间s2的机构称为机械弹簧)的更换套件时，有可能发生这样的问题，由此，即使安装具备机械弹簧的更换套件，也能够防止由于空气泄漏，第一空间s1的压力下降，从而接触性恶化。另外，能够防止操作员的设定错误，一直进行稳定的检查(接触)。流量传感器87也可以是用于判断所安装的更换套件是否是具备机械弹簧的更换套件的传感器。

流量传感器87配置于切断用电磁阀88与吸引部3的第二空间s2之间。由此，由于比切断用电磁阀88的更前端被切断，能够防止误检测。例如，当安装具备机械弹簧的更换套件时，由于比切断用电磁阀88更前端被切断，工作流体r的流量无变化。因此，没有误检测。另外，在忘记安装更换套件时，也能够防止工作流体r的泄漏。

在管道81的途中设置有检测工作流体r的流量的流量传感器87。流量传感器87位于管道81内，设置于切断用电磁阀88的附近。流量传感器87能够检测管道81的接头41与切断用电磁阀88之间的流量。作为流量传感器87的工作流体r的流量其他检测方法，例如，使用热线式流量计作为流量传感器87，将流量传感器87配置在管道81内，检测工作流体r的流量。

需要说明的是，流量传感器87也可以是最大能够检测5l/min的传感器。在流量传感器87的流量检测中，未泄漏状态是流量为0～0.3l/min，或者也可以是0～0.1l/min。另外，流量传感器87也可以内置于调节器84。

流量传感器87的方式为能够检测流量即可，并无特别限定。流量传感器87，例如也可以是电磁式流量计、涡街流量计、涡轮流量计、面积流量计、差压式流量计、超声波流量计或者科里奥利流量计。需要说明的是，并不限定于流量传感器，例如，也可以是用于检测在管道的内腔流动的工作流体r的压力的压力传感器等。除此之外，也可以是温度传感器等，能够检测流量的传感器即可。

由流量传感器87检测到的表示工作流体r的流量的信号被输入至控制部800，控制部800掌握利用流量传感器87检测的工作流体r的流量。需要说明的是，作为流量传感器87，能够检测管道81内流动的工作流体r的流量即可，可以是预先设定在管道81内的传感器，另外，也可以在之后安装。

在流过超过流量传感器87的阈值的流量时，切断用电磁阀88能够切断向吸引部3的第二空间s2供给的工作流体r。

若流量传感器87检测到工作流体r的预定流量，则控制部800能够输出报警。由此，通过报警能够检测预定流量。需要说明的是，在泄漏检查时，即，在判断后述的工作流体r的流量是否在预定值以下时，检测到最大检测流量的80％以上(若最大检测流量为5l/min，则为4l/min)的流量的情况下，发出报警即可。

在第一调整机构51的下方配置有第二调整机构52。第二调整机构52具备在z方向上重叠的两张板部件521。该两张板部件521能够相对地在xy平面方向移动。由此，第二调整机构52在对吸引部3的姿态调整中，能够承担吸引部3在x方向的姿态调整、吸引部3在y方向的姿态调整以及吸引部3绕z轴回的姿态调整。

另外，姿态调整部5通过连结部171连结于使设备输送头17整体按照能够在y方向以及z方向往返移动的方式支承的机构(未图示)。

吸引部3与姿态调整部5之间配置有隔热部6。隔热部6能够防止或抑制来自内置于第一块部32的所述加热器的热传递至姿态调整部5。由此，防止姿态调整部5由所述热引起的误动作，因此，能够正常工作，即，正确地调整吸引部3的姿态。

在本实施方式中，隔热部6由呈柱状的多个隔热部件61构成。各隔热部件61的热导率相对较小，且多个互相分开配置。需要说明的是，作为隔热部件61的构成材料并无限定，例如，能够使用像玻璃环氧树脂等的各种隔热材料。第一块部32与板部件521通过互相分开的隔热部件61连接，且，各隔热部件61间由于具有空隙，能够抑制第一块部32和板部件521间的热传递。

如前所述，检查区域a3内配置有检查部16。检查部16是载置电子部件即ic设备90的载置部，是在其载置状态下对ic设备90进行检查的插座。如图5以及图6所示，检查部16具备检查部主体161、抵接部162以及探针163。

检查部主体161凹陷形成有用于载置并容纳ic设备90的凹部(洼坑)165。需要说明的是，凹部165的形成数量，虽然在图5以及图6所示的结构中为一个，但并不限于此，也可以为多个。

凹部165的底部突出配置有与ic设备90的端子901相同数目的探针163。

另外，检查部(载置部)16具有将被检查部(载置部)16载置的电子部件即ic设备90向吸引方向α3施力的电子部件施力部166。该电子部件施力部166由内置于各探针163的螺旋弹簧构成。由此，与来自吸引部3侧对ic设备90的按压相结合，能够使ic设备90的各端子901与各探针163充分接触。因此，能够正确地进行对ic设备90的检查。

如前所述，检查区域a3内能够配置载置电子部件即ic设备90的载置部即检查部16。并且，该载置部即检查部16具备抵接部162。抵接部162由板状部件构成，且重叠设置于检查部主体161上。由此，抵接部162能够与设备输送头17具备的吸引部3的第三块部34的下面342抵接。另外，设备输送头17具备能够调整吸引部3的姿态的姿态调整部5。在此，例如，假定检查部16整体在相对于xy平面(水平面)倾斜1度的情况。即使在这样的情况下，如图6所示，在吸引部3和抵接部162抵接的状态下，也能够通过姿态调整部5，使吸引部3仿照与检查部16相同倾斜的姿态。这样的吸引部3的姿态调整有助于ic设备90的各端子901与各探针163的接触。

图7～图9是示出当将吸嘴的下面(吸附面)作为基准时，即使是从下面到ic设备的各端子的距离(h90)存在偏差的ic设备，各端子与检查部的各探针也能够接触的状态的垂直剖视图。但是，在被吸嘴31吸附的ic设备90中，当以吸嘴31的下面(吸附面)312作为基准时，从下面312到各端子901的距离h90可能产生偏差。作为该原因，例如，即使是同种类的ic设备90，也能够列举出ic设备90的厚度存在不同(设计上或者偏差)，即，厚度的误差有大有小(参照图7以及图8)，此外，ic设备90产生弯曲(参照图9)等个体差别。需要说明的是，图7是示出ic设备90自身存在大小不同厚度的状态，图8是示出即使是同种类的ic设备90，彼此间也存在较薄ic设备90和较厚ic设备90的状态，图9是示出ic设备90自身弯曲的状态。需要说明的是，如图7所示，在上述距离h90产生偏差情况包括：ic设备90的上面(与下面312相接的面)与下面(吸附面)312平行且ic设备90的下面(设置有各端子901的面)为倾斜的情况；ic设备90的上面(与下面312相接的面)倾斜且ic设备90的下面(设置有各端子901的面)与下面(吸附面)312平行的情况；以及ic设备90的上面(与下面312相接的面)倾斜，ic设备90的下面(设置有各端子901的面)倾斜的情况。

例如，当距离h90相对较小时，在各端子901中，存在无法到达检查部16的探针163的端子901。在该情况下，为接触不良，难于进行正确的检查。

另外，当距离h90相对较大时，虽然各端子901能够到达并接触检查部16的探针163，但存在其接触压过度的端子901。在该情况下，也难于进行正确的检查。

在此，本发明的电子部件检查装置1(电子部件输送装置10)是能够解决这样的现象的结构。以下，对该结构以及作用参照图4～图6进行说明。

[1]如图4所示，设备输送头17为吸引部3尚未吸引ic设备90的状态。需要说明的是，此时，喷射器72已经进行吸引。另外，向第一空间s1以及第二空间s2供给工作流体r，第一空间s1以及第二空间s2成为正压。通过第二空间s2成为正压，成为吸嘴31的凸缘部315与第三块部34的凹部348的底部抵接的状态。

[2]然后，该设备输送头17能够利用吸引部3吸引进入检查区域a3的设备供给部14上的ic设备90。由此，设备输送头17成为图5所示的状态。在该图5所示的状态下，ic设备90由于吸引力f3被吸嘴31吸附。另外，如前所述，在吸附ic设备90时，吸嘴31比图4所示的状态更向z方向的正侧(吸引方向α3)移动。即，吸嘴31的凸缘部315成为从第三块部34的凹部348的底部分开的状态。

然后，通过维持吸附ic设备90的状态移动设备输送头17，能够将该被吸附的ic设备90配置在检查部16的凹部165的正上方。

[3]之后，如图6所示，设备输送头17能够使吸引部3下降直至与检查部16抵接。由此，吸引部3能够仿照检查部16的姿态，且将ic设备90按压并容纳至检查部16的凹部165(以下，将该状态称为“按压容纳状态”)。此时，吸嘴31经由ic设备90受到来自检查部16的反作用力，比图5所示的状态更向z方向的正侧移动。即，在按压容纳状态下，与图5所示的状态相比，吸嘴31的凸缘部315与第三块部34的凹部348的底部分开的距离进一步变大。

如此，在图6所示的按压容纳状态下，由于吸嘴31与第三块部34的凹部348的底部分开，通过使工作流体r进一步向第二空间s2供给，吸嘴31能够在-z方向上移动。因此，能够通过吸嘴31，以适宜检查的力使ic设备90朝向检查部16适度地施力。由此，例如，如图7～图9所示，无论距离h90的大小，能够使ic设备90的各端子901与检查部16的探针163在既没有过度也没有不足的情况下均匀地接触(抵接)，因此，能够正确地进行对ic设备90的检查。

特别地，根据ic设备90的个体差别(上面的凹凸形状等)的程度，吸引力f3’的大小按ic设备90种类而不同，在按压容纳状态下，吸嘴31有可能成为与第三块部34的凹部348的底部接触的状态。在该情况下，通过吸嘴31使ic设备90相对于检查部16的凹部165进一步按压变得困难。与此相对，在电子部件输送装置10中，能够调节向第二空间s2的工作流体r的供给量。由此，在按压容纳状态下，能够按照使吸嘴31相对于第三块部34的凹部348的底部分开的方式调节工作流体r的供给量。因此，在按压容纳状态下，通过吸嘴31，能够相对于检查部16的凹部165进一步按压ic设备90。

另外，作为第二基部的第三块部34能够与作为载置电子部件即ic设备90的电子部件载置部的检查部16抵接。由此，第三块部34按压检查部16能够使第三块部34的姿态成为仿照检查部16的抵接部162的形状的状态。因此，能够在该仿照的状态下使ic设备90与吸嘴31抵接。其结果为，能够进一步可靠地使ic设备90的各端子901与检查部16的探针163在既没有过度也没有不足的情况下均匀地接触(抵接)，因此，能够正确地进行对ic设备90的检查。

另外，如图4所示，作为第一滑动部的活塞512的凸缘部514受到第一空间s1内的工作流体r的第一受压面m1的面积大于第二滑动部即吸嘴31受到第二空间s2内的工作流体r的第二受压面m2的面积。由此，如本实施方式，在向第一空间s1和第二空间s2供给相同压力的工作流体r的结构中，能够使第二受压面m2受到的来自工作流体r的力小于第一受压面m1受到的来自工作流体r的力。其结果为，能够使吸嘴31按压ic设备90的力(第二抵接力)小于第三块部34按压检查部16的抵接力(第一抵接力)。因此，能够防止吸嘴31过度按压ic设备90。

如此，在电子部件输送装置10中，第二滑动部即吸嘴31抵接于电子部件即ic设备90的抵接力(第二抵接力)与第二基部的一部分即第三块部34抵接于电子部件载置部即检查部16的抵接力(第一抵接力)不同。在本实施方式中，如前所述，由于第二抵接力小于第一抵接力，能够防止吸嘴31过度按压ic设备90。

另外，第一受压面m1所按压的是比第一受压面m1更下侧的部分即吸引部3整体。与此相对，第二受压面m2所按压的是比第二受压面m2更靠下的部分即吸嘴31的一部分。因此，优选使第一受压面m1的按压力大于第二受压面m2的按压力。从而，第一受压面m1的面积成为大于第二受压面m2的面积。

需要说明的是，第一受压面m1的面积优选为第二受压面m2的面积的2倍以上且20倍以下，更加优选为3倍以上且15倍以下。由此，能够更可靠地发挥上述效果。

需要说明的是，在本实施方式中，作为第一滑动部的活塞512和第二基部即第三块部34虽然独立地构成，但其也可以形成为一体。

图10是示出切断用电磁阀88的开闭过程的流程图。首先，在步骤s10中，控制部800断开切断用电磁阀88。控制部800切断工作流体r。步骤s10的处理完成后，控制部800使处理前进至步骤s20。

接下来，在步骤s20中，控制部800判断通过流量传感器87检测的工作流体r的流量是否为0l/min。当通过流量传感器87检测的流量为0l/min时，控制部800判断为是，并使处理前进至步骤s40。另外，当通过流量传感器87检测的流量为0l/min以外时，控制部800判断为否，并使处理前进至步骤s30。

接下来，在步骤s30中，控制部800将通过流量传感器87检测的流量的值重置为0l/min。步骤s30的处理完成后，控制部800使处理前进至步骤s20。

接下来，在步骤s40中，控制部800接通切断用电磁阀88。控制部800供给工作流体r。步骤s40的处理完成后，控制部800使处理前进至步骤s50。

接下来，在步骤s50中，控制部800判断通过流量传感器87检测的工作流体r的流量是否在0.1l/min以下(泄漏检查)。当通过流量传感器87检测的流量在0.1l/min以下时，控制部800判断为是，并完成处理。在是的情况下，控制部800也可以判断为无泄漏。另外，当通过流量传感器87检测的流量超过0.1l/min时，控制部800判断为否，并使处理前进至步骤s60。在否的情况下，控制部800也可以判断为存在泄漏。

接下来，在步骤s60中，控制部800断开切断用电磁阀88。控制部800认定工作流体r从第二空间s2或者管道81泄漏从而断开切断用电磁阀88。由此，通过检测管道81内工作流体r的流量，能够检测工作流体r是否从第二空间s2以及管道81泄漏。步骤s60的处理完成后，控制部800完成处理。

需要说明的是，在步骤s50中，控制部800也可以使工作流体r以最大压强流动。例如，通过调节器84将工作流体r的压力设定为0.5mpa。然后，在泄漏检查后返回通常压力。例如，通过调节器84将工作流体r的压力设定为0.1mpa。另外，当通过流量传感器87检测的工作流体r的流量超过5l/min时，控制部800也可以认定未安装更换套件而发出报警。

在步骤s50中为是的情况下，即，未泄漏的情况下，控制部800还可以进一步地判断安装的更换套件不是具备机械弹簧的更换套件。另外，在步骤s50中为否的情况下，即，存在泄漏的情况下，控制部800还可以进一步地判断安装的更换套件是具备机械弹簧的更换套件。

另外，还可以将在步骤s50中为是的情况，即在未泄漏的情况下的第二抵接力，和在步骤s50中为否的情况，即在存在泄漏的情况下的第二抵接力，选定为不同的值。例如，也可以基于基于缸体内径的大小选定在未泄漏的情况下的第二抵接力，也可以基于第一滑动部(活塞512)的缸体内径的大小选定在存在泄漏的情况下的第二抵接力。

此时，控制部800也可以从多个算式中选择基于缸体内径大小的算式，并基于选择的算式计算在未泄漏的情况下的第二抵接力并进行选定，另外，控制部800也可以从多个值中选择基于缸体内径大小的值，从而选定在未泄漏的情况下的第二抵接力。

另外，此时，控制部800也可以从多个算式中选择基于第一滑动部(活塞512)的缸体内径大小的算式，基于选择的算式，计算在存在泄漏的情况下的第二抵接力并进行选定，另外，控制部800也可以从多个值中选择基于第一滑动部(活塞512)的缸体内径大小的值，从而选定在存在泄漏的情况下的第二抵接力。上述多个算式既可以是存储部(未图示)中预先存储的算式，也可以是从外部输入的算式，上述多个值既可以是存储部中预先存储的值，也可以是从外部输入的值。

＜第二实施方式＞

图11是本实施方式涉及的设备输送头的概略部分垂直剖视图。以下，参照图11对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第二实施方式进行说明，且以与前述的实施方式的不同点为中心进行说明，并对同样的事项省略其说明。

除了电子部件、第二基部以及检查部的结构不同以外，本实施方式与所述第一实施方式相同。

在本实施方式中，ic设备90具备基板902以及从基板902的+z侧的面突出设置的突出部903。需要说明的是，基板902的-z侧的面设置有多个端子901。另外，突出部903的俯视大小与吸嘴31的下端面为大致相同大小。

另外，在电子部件输送装置10中，检查部16的凹部165成为能够使基板902进入的大小。

另外，在本实施方式中，管道81和管道82由互相独立的流路构成，管道81和管道82分别与储罐83、调节器84以及工作流体供给部85连接。由此，能够独立调整第一空间s1和第二空间s2的压力。即，流向第一空间s1的工作流体r(未图示)的压力和流向第二空间s2的工作流体r的压力能够分别变更，并且能够分别单独设定。因此，能够独立调整吸嘴31按压ic设备90的力和第三块部34按压ic设备90以及检查部16的力。这样的结构虽未图示，但能够省略使第一受压面m1与第二受压面m2之比成为所期望的数值的设计，较为有利。需要说明的是，能够使对第一空间s1和第二空间s2的压力的设定为在图1所示的监视器300上操作的结构。

另外，通过这样的结构，能够使作为第二滑动部的吸嘴31抵接于电子部件即ic设备90的抵接力和第二基部的一部分即第三块部34抵接于电子部件即ic设备90的抵接力不同。由此，例如，当打算减少对基板902的负荷时，能够使对基板902的抵接力弱于对突出部903的抵接力，当打算减少对突出部903的负荷时，能够使对突出部903的抵接力弱于对基板902的抵接力。

另外，在电子部件输送装置10中，吸引部3的第三块部34具备从下面342向-z方向突出的突出部346。该突出部346在按压容纳状态下，进入检查部16的凹部165。另外，突出部346在按压容纳状态下，与ic设备90的基板902抵接。即，第二基部的一部分即突出部346能够与电子部件即ic设备90的一部分即基板902抵接。由此，突出部346能够按压ic设备90的基板902。

另外，在按压容纳状态下，ic设备90的突出部903进入第三块部34的贯通孔344，并被吸嘴31按压。第二基部的一部分即第三块部34的突出部346和第二滑动部即吸嘴31相对于电子部件即ic设备90抵接于不同的位置。由此，能够使突出部346按压ic设备90的基板902，并且吸嘴31按压ic设备90的突出部903。

另外，按压容纳状态，第三块部34的下面342与检查部16的抵接部162抵接，检查部16被第三块部34按压。

如此，在本实施方式中，吸嘴31按压ic设备90的突出部903，第三块部34的突出部346按压ic设备90的基板902，第三块部34的下面342按压检查部16。由此，即使如本实施方式的具有高低差的ic设备90，也能够使ic设备90的各端子901与检查部16的探针163在既没有过度也没有不足的情况下均匀地接触(抵接)，因此，能够正确地进行对ic设备90的检查。

＜第三实施方式＞

图12是本实施方式涉及的设备输送头的概略部分垂直剖视图。以下，参照图12对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第三实施方式进行说明，且以与前述的实施方式的不同点为中心进行说明，并对同样的事项省略其说明。

除了电子部件以及第二基部的结构不同以外，本实施方式与所述第二实施方式相同。

在本实施方式中，ic设备90为突出部903的中心s903与基板902的中心s902在x方向以及y方向错位的设备。即，突出部903相对于基板902偏心配置。需要说明的是，“中心”是指，俯视形状为四边形的情况下，两条对角线的交叉点。

另外，在本实施方式中，与中心s902和中心s903的错位相配合，相对于第三块部34的突出部346的中心，贯通孔344在x方向以及y方向错位配置。即，贯通孔344相对于突出部346偏心配置。由此，在贯通孔344内滑动的吸嘴31能够按压ic设备90的突出部903。

如此，在本实施方式中，即使突出部903的中心s903和基板902的中心s902在x方向以及y方向上存在错位，也能够使ic设备90的各端子901与检查部16的探针163在既没有过度也没有不足的情况下均匀地接触(抵接)，因此，能够正确地进行对ic设备90的检查。

＜第四实施方式＞

图13是本实施方式涉及的设备输送头以及可动部的概略部分垂直剖视图。以下，参照图13对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第四实施方式进行说明，且以与前述的实施方式的不同点为中心进行说明，并对同样的事项省略其说明。

本实施方式除了检查部的结构不同以外，与所述第二实施方式相同。如图13所示，设备供给部14是载置检查前的电子部件即ic设备90的检查前电子部件载置部，设备回收部18是载置检查后的电子部件即ic设备90的检查后电子部件载置部。如图13所示，设备供给部14和设备回收部18作为能够载置并移动电子部件即ic设备90的可动部30被单元化。该可动部30除了设备供给部14和设备回收部18以外还具备x方向移动机构7。

设备供给部14凹陷形成有载置并容纳ic设备90的凹部(洼坑)141。在本实施方式中，优选凹部141的形成数量为八个，其配置方式与设备输送头17a、设备输送头17b的八个吸引部3的配置方式相同，即，在x方向配置四个、y方向配置四个的状态。

设备回收部18也凹陷形成有载置并容纳ic设备90的凹部(洼坑)181。在本实施方式中，优选凹部181的形成数量为八个，其配置方式与设备输送头17的八个吸引部3的配置方式相同，即，在x方向配置四个、y方向配置四个的状态。

x方向移动机构7具备直线导轨71a以及一并支承设备供给部14和设备回收部18的支承基座72a。直线导轨71a具备导轨711a和两个滑块712a。在该两个滑块712a上固定有支承基座72a。

另外，电子部件输送装置10具备设置于可动部30(在图示的结构中为设备供给部14)且能够检测力的力检测部9。力检测部9配置在设备供给部14上的垫块73a上。

作为力检测部9并无限定，例如优选使用负载传感器。负载传感器内置应变计，是将力的大小转换为电气信号的转换器。由此，并非将抵接力f90作为设计值(计算值)而是作为实际测量值，能够尽可能正确地进行检测。

另外，力检测部9检测的检测结果，即抵接力的大小存储于控制部800的存储部(未图示)。

另外，力检测部9配置在设备供给部14上的垫块73a上，能够抵接于与第二滑动部即吸嘴31抵接(吸附)的电子部件即ic设备90。

在这样的本实施方式中，例如，如图13所示，在使ic设备90成为按压容纳状态之前，即在进行检查前，将ic设备90推压至力检测部9，检测其抵接力f90。然后，能够基于检测到的抵接力f90，进行按压力的调整。

另外，作为检测抵接力f90的定时，例如优选在从ic设备90开始与力检测部9抵接的位置开始进一步下降0.1mm以上且2.0mm以下范围内的位置进行检测。

需要说明的是，如上所述的抵接力检测，可以不使用ic设备，而使用与ic设备90大小相同的力检测部件。

＜第五实施方式＞

图14是本实施方式涉及的设备输送头的概略部分垂直剖视图。以下，参照图14对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第五实施方式进行说明，且以与前述的实施方式的不同点为中心进行说明，并对同样的事项省略其说明。

本实施方式除了第一滑动部的结构不同以外，与所述第一实施方式相同。如图14所示，缸体511的内侧设置有具有弹性的膜片53。膜片53设置于缸体511的z方向的途中，且比贯通孔516更靠近-z侧。该膜片53，其下面531与活塞512的凸缘部514抵接。需要说明的是，虽未图示，膜片53在自然状态下与x轴以及y轴平行。在本实施方式中，比该膜片53更靠近+z侧的空间为第一空间s1。

如图14所示，在活塞512向+z侧顶起膜片53而使膜片53变形的状态下，活塞512受到膜片53要恢复自然状态的复原力。由此，通过膜片53，能够产生相对于xy平面的平行性。其结果为，在产生平行性的状态下，第三块部34能够按压检查部16。

流量传感器87也可以配置在切断用电磁阀88和储罐83之间。在向其他的设备输送头的吸引部3的第二空间s2供给工作流体r等，管道81从途中与管道80分岐的情况下，流量传感器87也可以设置在管道81的分岐点89与储罐83之间。由此，即使只有一个流量传感器87的情况，例如，在设置于管道81的切断用电磁阀88断开(切断)，且设置于管道80的切断用电磁阀接通(连通)的情况下，也能够检测与管道80连接的设备输送头的工作流体r泄漏。

＜第六实施方式＞

图15是本实施方式涉及的设备输送头的概略部分垂直剖视图。以下，参照图15对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第六实施方式进行说明，且以与前述的实施方式的不同点为中心进行说明，并对同样的事项省略其说明。

本实施方式除了更换套件的结构不同以外，与所述第一实施方式相同。如图15所示，通过安装具备机械弹簧的更换套件，在来自内腔部336的工作流体r持续泄漏的情况下，第一空间s1的压力也会下降，难于通过第一空间s1的工作流体r的压力的调节抵消ic设备90的个体差别。

在本实施方式中，由流量传感器87检测工作流体r的泄漏量，并自动判断所安装的更换套件是否具备空气弹簧，在未具备空气弹簧，也就是说具备机械弹簧的更换套件的情况下，能够切断工作流体r的供给。通过切断用电磁阀88，能够防止来自内腔部336的工作流体r的泄漏。

另外，由于比切断用电磁阀88的更前端被切断，在流量传感器87的流量无变化。因此，没有误检测。另外，在忘记安装更换套件的情况下，也能够防止工作流体r从内腔部336泄漏。

以上，对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置针对图示的实施方式进行了说明，但本发明并非限定于此，构成电子部件输送装置以及电子部件检查装置的各部可以置换为能够发挥同样的功能的任意结构。另外，还可以付加任意结构物。例如，虽然以设备输送头17作为本发明的输送部进行说明，但输送部是输送ic设备的装置即可，本发明的输送部也可以设置于设备输送头13、设备输送头20。

另外，关于本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置，也可以组合所述各实施方式中的任意两种以上的结构(特征)。