本实用新型涉及测量工具技术领域，特别是涉及一种靶材剩余量的测量工具。
背景技术：
液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)作为当下各类数码显示器中的主流产品，受到越来越多用户的青睐。LCD中的薄膜晶体管(Thin Film Transistor，简称TFT-LCD)因具有屏幕反应速度快、对比度好、亮度高、可视角度大、色彩丰富等特点，而成为当前液晶显示器的主流设备，广泛应用于笔记本电脑、液晶彩电等。
在薄膜晶体管的形成制程中，金属层一般通过溅射(sputtering)形成，其原理为：用带电粒子轰击靶材，高速离子轰击固体表面时，发生表面原子碰撞并发生能量和动量的转移，使靶材原子从表面逸出并淀积在衬底材料上的过程。目前，高性能的溅射靶材在TFT显示器领域作为TFT的导电层，随着显示器市场的快速发展，靶材发挥着重要的作用。而在进行溅射工艺时，随着基板上薄膜厚度的增加，靶材逐渐被消耗，靶材的厚度随之减薄。靶材的剩余量是影响设备工艺调整的重要参数，通过靶材的剩余量不但可以判断靶材是否需要更换，而且还可以为设备工艺参数进行再次调整，以进一步提高靶材利用率而提供依据。目前行业内通常采用两种方式测量靶材剩余量，其中，第一种方式是利用电子游标卡尺进行测量，如图1所示，利用电子游标卡尺测量靶材凹点位置，直接读取测量值，测量值h就是靶材消耗量；第二种方式是利用游标卡尺与直尺配合测量，如图2所示，首先将直尺放置在靶材上，然后利用游标卡尺测量直尺的顶端与靶材凹点的距离H，其中，直尺的高度为h，则靶材消耗量＝H-h。
然而，上述两种方式在测量的过程中，测量人员的肉眼无法准确判断靶材消耗量最深的位置，并且在测量的过程中，由于测试人员身体的晃动等原因造成读数存在较大的误差。
技术实现要素：
因此，为解决现有技术存在的技术缺陷和不足，本实用新型提出一种靶材剩余量的测量工具。
具体地，本工具包括：
下支架1、上支架2、测量组件3及锁紧组件4，在所述上支架2的底部设置有第一连接孔21，在所述上支架2设置有多个通孔结构22，在所述上支架2的侧壁上设置有通槽23，在所述通槽23内设置有第二连接孔24，其中，
所述下支架1通过所述第一连接孔21与所述上支架2相连接；
所述测量组件3活动设置于所述通孔结构22中，并可沿所述通孔结构22上下活动；
所述锁紧组件4安装于所述第二连接孔24上。
在本实用新型的一个实施例中，所述上支架2包括上支架本体25和固定板26，其中，所述固定板26设置于所述通槽23的靠近所述多个通孔结构22的一端。
在本实用新型的一个实施例中，所述通槽23的长度与所述第二连接孔24的长度相等。
在本实用新型的一个实施例中，所述通槽23为矩形通槽。
在本实用新型的一个实施例中，所述第一连接孔21为螺纹孔。
在本实用新型的一个实施例中，所述第二连接孔24为螺纹孔。
在本实用新型的一个实施例中，所述锁紧组件4包括多个螺栓。
在本实用新型的一个实施例中，所述测量组件3包括第一测量组件31和第二测量组件32，所述第一测量组件31和第二测量组件32活动设置于所述通孔结构22中。
在本实用新型的一个实施例中，所述第一测量组件31和所述第二测量组件32均包括多个测量杆。
在本实用新型的一个实施例中，所述测量杆包括测量刻度尺和挡块，其中，所述挡块位于所述测量刻度尺的上端。
本实用新型实施例，具备如下优点：
1、本实用新型的测量工具能够一次性多点位读取靶材剩余量，通过判断测量杆的高低能够快速、准确的确定靶材最深处的位置，从而获得靶材的剩余量，提高靶材的利用率。
2、本实用新型的测量工具在测量过程中不会因为测试人员的身体晃动等因素造成读书的误差，并且测量过程更为方便，具有较高的稳定性，并提高了测量工具的耐用性和测量的准确性。
3、本实用新型的测量工具在不需要测量的时候，所有的测量杆可自由下落，并且通过挡块能够将测量杆稳定的放置在上支架内，方便测量时的使用且提高使用安全性。
4、利用本实施例的测量工具不仅能够准确的测量出靶材的剩余量，并且可以防止测量过程中靶材的溅射物的产生，提高靶材的良率，从而可以延缓靶材更换的时间，从而提高设备稼动率。
通过以下参考附图的详细说明，本实用新型的其它方面和特征变得明显。但是应当知道，该附图仅仅为解释的目的设计，而不是作为本实用新型的范围的限定，这是因为其应当参考附加的权利要求。还应当知道，除非另外指出，不必要依比例绘制附图，它们仅仅力图概念地说明此处描述的结构和流程。
附图说明
下面将结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细的说明。
图1为现有技术提供的一种靶材测量方式示意图；
图2为现有技术提供的另一种靶材测量方式示意图；
图3为本实用新型实施例提供的一种测量靶材剩余量的工具的主视图；
图4为本实用新型实施例提供的一种上支架结构的俯视图；
图5为本实用新型实施例提供的一种测量杆的结构示意图；
图6为本实用新型实施例提供的一种上支架的主视图；
图7为本实用新型实施例提供的一种测量靶材剩余量的工具的俯视图；
图8为本实用新型实施例提供的一种测量靶材剩余量方式的示意图；
图9为本实用新型实施例提供的一种测量靶材剩余量的过程示意图。
符号说明
1下支架；2上支架；3测量组件；4锁紧组件；5靶材；21第一连接孔；22通孔结构；23通槽；24第二连接孔；25上支架本体；26固定板；31第一测量组件；32第二测量组件。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。
实施例一
请参见图3～图5，图3为本实用新型实施例提供的一种测量靶材剩余量的工具的主视图，图4为本实用新型实施例提供的一种上支架结构的俯视图，图5为本实用新型实施例提供的一种测量杆的结构示意图。具体地，本实用新型一个实施例提出的一种靶材剩余量的测量工具，如图3所示，该测量工具包括：
下支架1、上支架2、测量组件3及锁紧组件4，其中，如图4所示，在上支架2的底部设置有第一连接孔21，在上支架2上设置有多个通孔结构22，在上支架2的侧壁上设置有通槽23，在通槽23内设置有第二连接孔24，其中，
下支架1通过第一连接孔21与上支架2相连接；
测量组件3设置于通孔结构22中，并可沿所述通孔结构22上下活动；
锁紧组件4安装于第二连接孔24上。
优选地，上支架2包括上支架本体25和固定板26，其中，固定板26设置于通槽23的靠近所述多个通孔结构22的一端。
优选地，通槽23的长度与第二连接孔24的长度相等。
优选地，通槽23为矩形通槽。
优选地，第一连接孔21为螺纹孔。
优选地，第二连接孔24为螺纹孔。
优选地，锁紧组件4包括多个螺栓。
优选地，测量组件3包括第一测量组件31和第二测量组件32，第一测量组件31和第二测量组件32活动设置于通孔结构22中。
优选地，第一测量组件31和第二测量组件32均包括多个测量杆组成。
优选地，如图5所示，测量杆包括测量刻度尺和挡块，其中，挡块位于测量刻度尺的上端。
本实施例的有益效果：
1、本实用新型的测量工具通过多个测量杆进行测量，通过多个测量杆能够一次性获取不同深度的靶材，从而得到靶材剩余量，通过这种测量方式能够快速、准确的确定靶材的剩余量，提高工作效率。
2、本实用新型的测量过程不需要测量人员手持测量工具，从而避免了因测试人员的手部晃动或是身体晃动造成的误差，提高了测量的准确性。
实施例二
请再次参见图3～图5，并同时参见图6～图9，图6为本实用新型实施例提供的一种上支架的主视图，图7为本实用新型实施例提供的一种测量靶材剩余量的工具的俯视图，图8为本实用新型实施例提供的一种测量靶材剩余量方式的示意图，图9为本实用新型实施例提供的一种测量靶材剩余量的过程示意图。在上述实施例的基础上，本实施例将对本实用新型的测量工具进行详细介绍。
本实施例的测量工具包括下支架1、上支架2、测量组件3及锁紧组件4，其中，
如图3所示，下支架1设置于测量工具的下方，下支架1的一端设置有螺纹。
如图4所示，上支架2包括第一连接孔21、通孔结构22、通槽23、第二连接孔24、上支架本体25和固定板26，其中，
第一连接孔21为螺纹孔，并设置在上支架本体25的下端，下支架1通过螺纹孔与上支架2连接，用于支撑上支架2；
通孔结构22设置于上支架本体25上，通孔结构22设置有多个，所有通孔结构22的半径相等，且中心处于同一水平线上；
如图6所示，通槽23为上支架2侧壁上的矩形通槽结构，通槽23靠近通孔结构22的一端与通孔结构22的侧壁贯通，这样固定板26能够接触到测量组件3，进而可对其起到紧固作用。通槽23的宽度大于所有通孔结构22的直径总和，通槽23的长度设置成能看见测量组件3的表面为止，通槽23用于放置固定板26；
固定板26活动设置于通槽23内，其长度和宽度与通槽23的长度和宽度相等，固定板26用于在测量过程中固定测量组件3，以免测量组件3晃动造成测量误差；
第二连接孔24包括多个螺纹孔，第二连接孔24设置在通槽23内，且第二连接孔24的长度与通槽23的长度相等。
如图7所示，测量组件3包括第一测量组件31和第二测量组件32，第一测量组件31由两个测量杆组成，第二测量组件32由多个第二测量杆组成，第一测量组件31分别设置在位于两端的通孔结构22中并可在通孔结构22中上下活动，第二测量组件32设置在其余的通孔结构22中，并可在通孔结构22中上下活动，其中，第一测量组件31用于确定测量基准，第二测量组件32用于测量靶材的消耗量。
本实施例的测量工具能够一次性多点位读取靶材剩余量，通过判断测量杆的高低能够快速、准确的确定靶材最深处的位置，从而获得靶材的剩余量，从而提高靶材的利用率。
锁紧组件4由多个螺栓组成，螺栓与第二连接孔24连接，在测量过程，通过螺栓推动固定板26接触第一测量组件31和第二测量组件32，从而用来固定第一测量组件31和第二测量组件32。
如图7所示，测量杆由测量刻度尺和挡块组成，测量刻度尺用于测量靶材的消耗量，从而确定靶材的剩余量，挡块用来防止测量杆在通孔结构22滑落。
本实施例的测量工具在不需要测量的时候，所有的测量杆可自由下落，并且通过挡块能够将测量杆稳定的放置在上支架2内，方便测量时的使用且提高使用安全性。
工作过程：如图8和图9所示，步骤一、将测量工具放置在测量位置处；步骤二、将靶材5放置在上支架2的正下方；步骤三、将第一测量组件31与第二测量组件32分别放在通孔结构22中，第一测量组件31的测量杆的挡块下端和上支架2的上表面接触，接触位置恰好为测量杆为0刻度的位置，利用第一测量组件31作为测量基准；步骤四、将锁紧组件4与第二连接空24连接，从而推动固定板26，使固定板26与第一测量组件31和第二测量组件32的表面接触，近而将第一测量组件31和第二测量组件32的位置固定；步骤5、确定与靶材5接触的第二测量组件32中高度最低的第二测量杆，从而读取靶材5的消耗量H；步骤6、确定靶材的剩余量。
本实施例的测量工具在测量过程中不会因为测试人员的身体晃动等因素造成读书的误差，并且测量过程更为方便，具有较高的稳定性，并提高了测量工具的耐用性和测量的准确性。
综上所述，本文中应用了具体个例对本实用新型实施例提供的一种靶材剩余量的测量工具的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方案及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制，本实用新型的保护范围应以所附的权利要求书为准。