氯硅烷定量取样系统的制作方法

本实用新型涉及一种取样系统，具体涉及到一种具有定量取样、避免空气接触产生副反应、安全环保、可靠性好的氯硅烷定量取样系统。

背景技术：

氯硅烷是一种化学品，能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化氢。与有机金属化合物反应，氯原子被相应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料，是半导体行业重要的生产原料。目前传统取样为手动敞口取样，取样过程中与空气中水分接触极易产生副反应影响取样品质并且堵塞管道，同时取样过程中产生HCl酸雾对取样人员的人身安全具有威胁。

随着人们对环境问题的日益关注，世界范围内对液体、气体的排放、内容物法规越来越严格，且很快就会执行新的高标准。随着对环保及安全的要求越来越高，所以对整个系统的安全性稳定性提出了更高的要求。

因此，现有取样系统已不能满足要求，存在很大的提升空间。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种氯硅烷定量取样系统，以解决现有取样系统存在各方面技术问题。

为达到上述目的，本实用新型提供一种氯硅烷定量取样系统，包括入口三通球阀、定量罐、出口三通球阀、取样针阀、氮气吹扫装置和取样装置，其中的连接关系为：所述入口三通球阀的一端和料液进口管线连接，所述入口三通球阀的另两端分别和所述定量罐以及取样针阀通过管道连接；所述定量罐的另一端与所述出口三通球阀连接；所述出口三通球阀的另两端分别和料液回口以及所述氮气吹扫装置管线连接；所述取样针阀的另外一端和所述取样装置连接。

本实用新型较佳实施例所述的氯硅烷定量取样系统，所述取样装置包括取样瓶、碱液吸收罐和活性炭吸附罐，所述取样瓶、碱液吸收罐和活性炭吸附罐依序连接，所述取样瓶的另外一端和所述取样针阀连接。

本实用新型较佳实施例所述的氯硅烷定量取样系统，还包括取样瓶保护罩，所述取样瓶保护罩覆盖连接所述取样瓶。

本实用新型较佳实施例所述的氯硅烷定量取样系统，所述氮气吹扫装置包括单向阀、分子筛脱水罐和氮气针阀，所述单向阀、分子筛脱水罐和氮气针阀依序连接，所述单向阀的另外一端和所述出口三通球阀连接，所述氮气针阀的另外一端和氮气入口连接。

本实用新型对现有氯硅烷取样系统进行改进，因此，与现有技术相比，本实用新型具有定量取样、避免空气接触产生副反应、安全环保、可靠性好且使用寿命长的优点。

当然，实施本申请内容的任何一个具体实施例，并不一定同时具有以上全部的技术效果。

附图说明

图1为本实用新型的连接示意图。

具体实施方式

以下结合附图，具体说明本实用新型。

请参考图1，一种氯硅烷定量取样系统，包括入口三通球阀7、定量罐1、出口三通球阀8、取样针阀11、氮气吹扫装置和取样装置，其中的连接关系为：所述入口三通球阀7的一端和料液进口管线连接，所述入口三通球阀7的另两端分别和所述定量罐1以及取样针阀11通过管道连接；所述定量罐1的另一端与所述出口三通球阀8连接；所述出口三通球阀8的另两端分别和料液回口以及所述氮气吹扫装置管线连接；所述取样针阀11的另外一端和所述取样装置连接。使用定量罐1可以定量取样，也可以根据实际需要制作相应容积的定量罐1进行定量取样。

优选的，所述取样装置包括取样瓶4、碱液吸收罐5和活性炭吸附罐6，所述取样瓶4、碱液吸收罐5和活性炭吸附罐6依序连接，所述取样瓶4的另外一端和所述取样针阀11连接。另外，还包括取样瓶保护罩3，所述取样瓶保护罩3覆盖连接所述取样瓶4。取样瓶保护罩通过进样针与取样瓶4连接；取样瓶4中产生的挥发气通过挥发气排放针与碱液吸收罐5以管道连接，碱液吸收罐5的出口与活性炭吸附罐6通过管道连接。过程中，采用了碱液进行挥发气预处理，这样可以降低活性炭装填量，降低活性炭的更换频率以及生产运行成本。

优选的，所述氮气吹扫装置包括单向阀10、分子筛脱水罐2和氮气针阀9，所述单向阀10、分子筛脱水罐2和氮气针阀9依序连接，所述单向阀10的另外一端和所述出口三通球阀8连接，所述氮气针阀9的另外一端和氮气入口(简称N2入口)连接。通过氮气对系统吹扫以避免取样过程与空气接触发生化学副反应进而堵塞管道，而且，对吹扫氮气进行脱水处理，避免氮气中的水分造成介质产生副反应。

下面说一下本系统的工艺流程：

氯硅烷料液通过介质管道引入取样系统料液进口，随后经过入口三通球阀7输送至定量罐1，通过定量罐1后送至出口三通球阀8，通过出口三通球阀8之后输送至介质出口管线的料液回口。吹扫氮气通过氮气入口(N2入口)进入取样系统，随后经过氮气针阀9紧接着输送至分子筛脱水罐2，通过分子筛脱水罐2后随后送至单向阀10，经过单向阀10之后可通过出口三通球阀8切换送至定量罐1，随后继续通过入口三通球阀7,切换入口三通球阀7送至取样针阀11，通过取样针阀11后进入取样瓶4，取样瓶4中产生的挥发气通过挥发气针头送至碱液吸收罐5，随后尾气继续送至活性炭吸附罐6，最终通过活性炭吸附罐6排放。

还有本取样系统的使用方法：

(1)系统置换：取样前打开氮气针阀9，氮气通过分子筛脱水罐2和单向阀10，随后通过出口三通球阀8切换输送至定量罐1，紧接着切换入口三通球阀7送至取样针阀11，最终送达取样针，完成系统实时置换并关闭氮气针阀9、入口三通球阀7(全关阀位)、出口三通球阀8(全关阀位)和取样针阀11。

(2)实时循环：通过切换入口三通球阀7将氯硅烷液体送至定量罐1，随后切换出口三通球阀8循环至料液出口。循环40秒完成实时循环过程。循环完成后切换入口三通球阀7(全关阀位)和出口三通球阀8(全关阀位)。

(3)实时取样：取样时通过打开氮气针阀9、出口三通球阀8(取样阀位)、入口三通球阀7(取样阀位)和取样针阀11，进行取样，观察取样瓶液位不再增加时，取样结束。

(4)阀门复位：取样完成后应将氮气针阀9、出口三通球阀8、入口三通球阀7、取样针阀11关闭，同时取下取样瓶4。

本实用新型对现有取样系统进行改进，因此，与现有技术相比，本实用新型具有定量取样、避免空气接触产生副反应、安全环保、可靠性好且使用寿命长的优点。

以上公开的仅为本实用新型的几个具体实施例，但本实用新型并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化，都应落在本实用新型的保护范围内。