本实用新型是关于一种承载座的结构,其用于拆卸测试电子零件的机械,使该承载座能够将该测试电子零件的机械产生的反力均匀地向上升起,其能够不必使用该螺丝及螺丝孔才不会因为受力过大而产生崩坏。
背景技术:
一般传统的专用于检测为封装前的印刷电路板(PCB)、晶圆或集成电路芯片(IC)的检测机台通常用探针(Probe)进行检测,此对于印刷电路板(PCB)、晶圆或集成电路芯片(IC)的制造成本中影响相当大的制程,使用了探针卡检测可提前筛选出不良品后继续加工,大大的降低制造成本,避免成本的浪费及影响后续产品的质量。
其中检测机台和探针卡(Probe card)之间具有复数个弹簧针(Pogo Pin),其被用来连接于检测机台和探针卡,该检测机台又称为测试头工具机,该探针卡提供探针卡内的探针与待测物接触,其中该待测物为晶圆或集成电路芯片IC或印刷电路板(PCB),每一垂直Pogo Pin had a spring inside and弹簧针内具有一弹簧,其含有力量回馈,现今的科技技术大多使用垂直式探针卡做为检测印刷电路板(PCB)、晶圆或集成电路芯片(IC),随着晶圆针测技术不断的提升,使得裸晶在切割的后未封装前,可测试其质量,避免不良品封装成本,此称为电路探测检验,且该探针卡也可被使用在最终测试。
一般检测机台与探针卡间的弹簧针(Pogo Pin)具有数十根至数千根针,探针卡内的两探针距离最小可做到125μm,且最大的测试焊垫可高达500个。探针卡的主要目的是将探针卡上的数个探针直接与芯片上的凸点(bump)或焊垫(pad)直接接触,触发芯片讯号后,再搭配周边仪器与软件控制达到自动化量测的目的,其中垂直式的探针卡拥有高密度的探针排列,可在同时间内进行多组芯片测试,因此如果能在封装前进行芯片测试,发现有不良品存在晶圆当中,即进行标记,直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃,可为制造商省下不少的封装成本,而晶圆探针卡为半导体制造中晶圆测试的接口,在测试时由晶圆探针卡与测试机相连接,以其探测针探测晶粒,再将资料送往测试机做分析与判断,其广泛地应用于内存集成电路、消费性集成电路产品、LCD驱动集成电路、通讯集成电路产品、电子仪器以及医疗设备用的集成电路等科技产品的晶圆测试。
一般探针卡与测试机台连接后,开始对印刷电路板(PCB)、晶圆或集成电路芯片(IC)进行检测,而每一探针卡上的探针均具有一定的力度回馈才能确保对于芯片的检测的准确率,通常在进行芯片检测时,每一弹簧针(Pogo Pin)所回馈的力度大约为30公克,每一测试机台上的弹簧针数的总和约为8千支针,故每一测试机台上所有弹簧针所释放的力度总和至少为240公斤重,当进行测试时,检测机台上的支撑座向下压,将欲检测的晶圆顶住,该测试机台上的探针向该晶圆施加力度,而该支撑座周围使用螺丝锁固,当晶圆检测结束后,接着将该支撑座上的螺丝松开,因为该弹簧针所施放的力度具有240公斤重,当该支撑座的螺丝拆卸至最后几个时,因为没有足够的螺丝可承受该重量,故该支撑座上的螺丝及螺丝孔就容易产生崩牙或直接崩坏,造成制造成本及影响检测的效率。
综上所述的习用承载座的结构中,有许多未尽完善的结构,因此本实用新型人经过长期的研究及创新,研发出一种具有良好分散受力的承载座的结构,能够均匀分散该测试机台上的每一探针所回馈的力度,而使该承载座不会因受力过大而产生损坏。
技术实现要素:
本实用新型的主要目的,在于提供一承载座,其装设于承载座一侧,使其能够当印刷电路板(PCB)、晶圆或集成电路芯片(IC)测试结束后,能够不用拆卸螺丝就能够平稳地将承载座抬起,不会因为附载过重而对承载座造成损伤。
本实用新型的另一目的,在于提供一承载座,该承载座的结构相较于先前技术,能够达到不需拆卸螺丝即能将该承载座抬起,且因为不需拆卸螺丝,故能够达到快速拆装,增加印刷电路板(PCB)、晶圆或集成电路芯片(IC)的检测效率。
为了达到上述的目的,本实用新型揭示了一种承载座的结构,其包含一本体,其中该本体内包含一拉杆,其具有一拉杆部、一枢接件、一第一枢接部及一第二枢接部,该拉杆部的一侧设置该枢接件,其中该枢接件与该本体枢接,该第一枢接部与该第二枢接部设至于该拉杆部之上并相对设置于该枢接件两侧,二固定部,其透过一第一连杆组及一第二连杆组分别枢接于该第一枢接部与该第二枢接部,该第一连杆组及该第二连杆组分别连接一第一杆体与一第二杆体并分别滑设于该二固定部,进一步设置一第一限位件与一第二限位件,该第一限位件与该第二限位件分别固定于该第一杆体与该第二杆体之上,该第一限位件与该第二限位件分别向下延伸设置一第一延伸部及一第二延伸部以及二定位片,该二定位片的一侧分别对应该第一延伸部与该第二延伸部设置二轮柱,且该第一延伸部与该第二延伸部分别具有一凸部,其中,该拉杆枢接于该本体,当该拉杆推动时,带动该第一连杆组与该第二连杆组往外移动,使分别连接的该第一杆体与该第二杆体向外侧移动而滑设于该二固定部,并且该第一延伸部与该第二延伸部分别滑设于该二轮柱的下方,当该第一延伸部与该第二延伸部的该凸部接触到该二轮柱时,该凸部会带动该固定承载座的结构向下。
本实用新型的一实施例中,其亦揭露该第一连杆组更包含一第一杆体。
本实用新型的一实施例中,其亦揭露该第二连杆组更包含一第二杆体。
本实用新型的一实施例中,其亦揭露该第一限位件及该第二限位件上分别设有一第一定位孔及一第二定位孔。
本实用新型的一实施例中,其亦揭露该承载座的结构更包含一承载座,该承载座上二侧上设置有一第一连接件及一第二连接件,且分别与该二固定部连接。
本实用新型的一实施例中,其亦揭露该承载座更包含至少一槽体,该槽体内设置至少一弹簧针座。
本实用新型的一实施例中,其亦揭露该弹簧针座上具有至少一弹簧针。
附图说明
图1:其为本实用新型的一较佳实施例的立体图;
图1A:其为本实用新型的一较佳实施例的分解图;
图2:其为本实用新型的一较佳实施例的立体图;
图2A:其为本实用新型的一较佳实施例的分解图;
图2B:其为本实用新型的一较佳实施例的做动示意图的前视图;
图2B1:其为本实用新型的图2B的AA’线的剖视图;
图2C:其为本实用新型的一较佳实施例的做动示意图的前视图;
图2C1:其为本实用新型的图2C的AA’线的剖视图;
图3:其为本实用新型的一较佳实施例的立体图组合图;以及
图4:其为本实用新型的一较佳实施例的实施状态图。
【图号对照说明】
1 固定承载座的结构
2 本体
3 拉杆
32 枢接件
34 第一枢接部
36 第二枢接部
38 拉杆部
4 第一连杆组
402 第一杆体
42 第二连杆组
422 第二杆体
5 第一限位件
502 第一延伸部
504 第一限位孔
52 第二限位件
522 第二延伸部
524 第二限位孔
54 凸部
6 固定部
7 定位片
702 定位孔
704 轮柱
8 承载座
82 槽体
84 弹簧针座
842 弹簧针
86 第一锁固件
862 第二锁固件
864 锁固孔
9 测试机台
92 晶圆
94 晶圆承载台
96 探针卡
962 探针卡补强板
964 探针
具体实施方式
为了使本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识,特用较佳的实施例及配合详细的说明,说明如下:
本实用新型针对习知技术的承载座的结构中进行改良及创新,其结构中在进行芯片检测时,一般使用螺丝将承载座锁固于检测机台上,在进行增加印刷电路板(PCB)、晶圆或集成电路芯片(IC)的测试,当测试结束后,需将该承载座升起,但该测试机台内的弹簧针相对于该承载座施加了高达240公斤重的力度,以致于当螺丝一个一个逐渐被拆起时,还未被拆起的螺丝就得承受240公斤重的力度,致使当剩下的螺丝总和能承受的力度低于240公斤重时,其承载座上的螺纹或螺丝的螺牙就容易产生崩坏,且每检测一次印刷电路板(PCB)、晶圆或集成电路芯片(IC)就需将承载座上的螺丝拆开再锁上,明显很花费时间。
然而,本实用新型针对以上该些缺点提出一种承载座的结构,该承载座取代原先使用螺丝锁固的方法,藉由连杆带动凸轮组件而锁固于定位片内,因为本实用新型取代原先螺丝的设计,故不会有螺丝或螺纹崩坏产生,且本实用新型还有另一优点,具有快速拆卸承载座,增加印刷电路板(PCB)、晶圆或集成电路芯片(IC)的检测效率。
首先,请参阅图1,其为本实用新型的一较佳实施例的立体图,图1A,其为本实用新型的一较佳实施例的分解图。如图所示,本实用新型为一种承载座的结构1,其包含一本体2、一拉杆3、一第一连杆组4、一第二连杆组42、一第一限位件5、一第二限位件52、二固定部6以及二定位片7。
其中,该本体2内包含有该拉杆3,该拉杆3具有一拉杆部38、一枢接件32、一第一枢接部34以及一第二枢接部36,其中该拉杆部38的一侧设置该枢接件32,其中该枢接件32与该本体2枢接,该第一枢接部34与该第二枢接部36设至于该拉杆部38之上并相对设置于该枢接件32两侧,二固定部6,其透过一第一连杆组4及一第二连杆组42分别枢接于该第一枢接部34与该第二枢接部36,该第一连杆组4及该第二连杆组42分别连接一第一杆体402与一第二杆体422并分别滑设于该二固定部6,进一步设置一第一限位件5与一第二限位件52,该第一限位件5与该第二限位件52分别固定于该第一杆体402与该第二杆体422之上,该第一限位件5与该第二限位件52分别向下延伸设置一第一延伸部502及一第二延伸部522,二定位片7,该二定位片7的一侧分别对应该第一延伸部502与该第二延伸部522设置二轮柱704,且该第一延伸部502与该第二延伸部分522别具有一凸部54,其中,该拉杆3枢接于该本体,当该拉杆3推动时,带动该第一连杆组4与该第二连杆组42往外移动,使分别连接的该第一杆体402与该第二杆体422向外侧移动而滑设于该二固定部6,并且该第一延伸部502与该第二延伸部分522别滑设于该二轮柱704的下方,当该第一延伸部502与该第二延伸部522的该凸部接触到该二轮柱704时,该凸部54会带动该固定承载座的结构1向下,其中该二定位片7上分别更设有至少一定位孔702,该定位孔702能够结合螺丝固定于测试机台上。
请继续参阅图2,其为本实用新型的一较佳实施例的立体图,图2A,其为本实用新型的一较佳实施例的分解图。如图所示,为使更了接本实用新型的做动关系,该图2及图2A为该图1及图1A的连杆组伸直的态样图。
呈上所述,当该拉杆3做逆时针移动时,该第一连杆组4的该第一杆体402向该二固定部6方向伸直,且该第一限位件5设置于该第一杆体402上,该第一限位件5上的该第一限位孔504能够将螺丝钉穿入该第一限位孔504内将其更牢固地固定于该第一杆体402上,且只需稍微松开该第一限位孔504上的螺丝,即能调整该第一限位件5在该第一杆体402上的位置,当该第一杆体402向该固定件6方向伸直时,该第一限位件5上的该第一延伸部502的该凸部54会向该定位片7的该轮柱704方向伸入,以及当该拉杆3做逆时针移动时,该第二连杆组42的该第二杆体422向该固定部6方向伸直,且该第二限位件52设置于该第二杆体422上,该第二限位件52上的该第二限位孔524能够将螺丝钉穿入该第二限位孔524内将其更牢固地固定于该第二杆体424上,且只需稍微松开该第二限位孔524上的螺丝,即能调整该第二限位件52在该第二杆体424上的位置,当该第二杆体424向该固定部62方向伸直时,该第二限位件52上的该第二延伸部522的该凸部524会向该定位片7的该轮柱704方向伸入。
请继续图2B,其为本实用新型的一较佳实施例的做动示意图的前视图,图2B1,其为本实用新型的图2B的AA’线的剖视图,图2C,其为本实用新型的一较佳实施例的做动示意图的前视图,图2C1,其为本实用新型的图2C的AA’线的剖视图,图3,其为本实用新型的一较佳实施例的立体图组合图,其更包含有一承载座8、弹簧针座84、第一锁固件86以及第二锁固件862。
其中,该第一锁固件86及该第二锁固件862装设于该承载座8的一侧,且该第一所固件86与该第二所固件862相对设置,该第一锁固件86及该第二锁固件862分别具有二锁固孔864,该固定承载座的结构1装设于该承载座8的一侧,且该固定承载座的结构1的该二固定部6具有至少一固定孔604,该二固定部6上的该固定孔604分别用于与该第一锁固件86与该第二锁固件862上的该二锁固孔864连接,其可用螺丝或销进行连接,该承载座8上更包含至少一槽体82,该槽体82内设置至少一弹簧针座84,该弹簧针座84内具有至少一弹簧针842。
承上所述,当该承载座8欲进行晶圆测试时,该固定承载座的结构1的该二定位片7分别将先固定于测试机台的二侧,该固定承载座的结构1再装设于该承载座一侧,该固定承载座的结构1与该承载座8进行连接,其中该固定承载座的结构1的该二固定部6分别与该第一锁固件86与该第二锁固件862相接,使该承载座8与该承载座1连成一体,接着再将该二定位片7分别设置于该固定承载座的结构1两侧下方,且该二固定部6分别置于该二定位片7上方,此时该承载座8并未向下压合,该拉杆3一端与该本体2枢接,当该拉杆3逆时针移动时,会带动该第一杆体402往该固定部6方向移动,而原本设置于该第一杆体402上的该第一限位件5的该第一延伸部502上的该凸部54位于该定位片7的该轮柱704的圆心点知该轮柱704的底边间,当该第一杆体402带动第一限位件5向外移动时,该凸部54会顺着该轮柱704的圆弧伸入至该轮柱704下方,使该承载座8会向下移动,而该第二连杆组42也是相同做动的原理,在此不加以赘述,且本实用新型的该固定承载座的结构1可设置于该承载座8的二侧,使其拆卸时能够分散该弹簧针842所产生的力度。
请继续参阅图4,其为本实用新型的一较佳实施例的实施状态图,其包含有一测试机台9、一晶圆92、一晶圆承载台94以及一探针卡96。
其中该固定承载座的结构1设置于该测试机台9上方后,再将其颠倒过来放置于一探针卡补强板962上,该探针补强板962下设有该探针卡96,该探针卡96上具有至少一探针964,该晶圆承载台94设置于该探针卡96下方,且该晶圆承载台94上设有至少一该晶圆92,其可藉由移动该晶圆承载台94将该晶圆92与该探针卡96上的该探针964相接触,进而对该晶圆92进行检测,且该测试机台9与该固定承载座的结构1相互连接后,该测试机台9与该探针卡96之间连接有复数个该弹簧针842,因为每一该弹簧针842内均具有弹力,故每一该探针842会产生至少30公克重的力度,而该固定承载座的结构1上通常具有8000根探针,使的该固定承载座的结构1受到240公斤重的力度,当测试结束后,该测试机台9翻转至正面,将该承载座拆下时,其依然承受有240公斤重的压力,此时如果如同先前技术使用螺丝所固的话,当拆卸时,将有部分的螺丝会产生崩坏的情况发生,但本实用新型使用一或二的该固定承载座的结构1与该承载座8相连接,该固定承载座的结构1取代原先使用螺丝所固于该承载座8上,该承载座8使用该拉杆3带动枢接于两侧的连杆组后,连杆组再带动限位件下方的凸轮件伸入固定于测试机台上的固定片的轮柱下,使轮柱能够被凸轮件上的凹槽卡住,且该固定承载座的结构1两侧的该第一固定件6及该第二固定件62将会与该承载座8上该第一锁固件86及该第二锁固件862相连接,经由上述结构,能够将在进行晶圆检测时,不会因为拆卸螺丝时因为部分螺丝承载过大而产生崩坏,其承载台因为省去螺丝的拆装而具快速拆装的功用,大幅地减少作业时间,增加检测效率。
上文仅为本实用新型的较佳实施例而已,并非用来限定本实用新型实施的范围,凡依本实用新型权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰,均应包括于本实用新型的权利要求范围内。