一种基板缺陷检测装置的制作方法

本实用新型属于检测装置技术领域，尤其涉及一种基板缺陷检测装置。

背景技术：

在液晶面板行业中，配向膜的涂布主要通过转印或喷墨的方式，其中转印式由于其准确性及印刷表面相对均匀性等优点得到广泛的使用。具体来说，就是通过PI喷嘴11将PI液喷涂在刮刀12上，再由刮刀12均匀地将PI液转印到网纹轮13上，网纹轮13的转动把PI液再转印到APR版15上，APR版15上的圆形网孔将PI液挤压出来并带走，最后均匀地转印到放置于基台17上的TFT基板或CF基板16上，如图1所示。如果基台残留有微小玻璃碎屑等异物，PI液转印过程中，基台上异物会给TFT基板或CF基板背面一向上的应力，使得TFT基板或CF基板背面出现微小裂纹。如何能有效地减少微小裂纹的发生，主要有两方面，一是“预”，即定期清理卡匣、传送设备、转印基台；第二个方面是“防”，即改良检查设备，第一时间发现不良问题，及时有效地避免异常发生。

现有技术中，PI液涂布完后经预烘烤，以一定的频率进入自动光学检查机检查TFT或CF基板表面的缺陷(如mura、异物等)，再以一定的频率进入人工检查机进行人工肉眼检查。其存在的缺陷是自动光学检查机只能检查出TFT或CF基板表面的异物，无法检测出背面存在的微小裂纹或划痕。而人工肉眼检查又无法发现，不能及时拦截异常基板，会造成大量的基板报废，降低生产良率，增加了生产成本。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种能够同时检测基板正面和背面不良的基板缺陷检测装置。

本实用新型提供一种基板缺陷检测装置，包括光源机构、摄像机构、用于传送基板的传送机构以及图像处理机构，所述光源机构包括第一光源，所述摄像机构包括第一摄像头和第二摄像头，所述第一光源和第一摄像头位于基板的同一侧，且所述第一光源和第一摄像头呈镜像对称设置，第一光源和第一摄像头之间形成大于0°小于180°的夹角，所述第二摄像头位于基板的另一侧。

优选地，所述第一摄像头和第二摄像头均包括多个CCD镜头。

优选地，所述第一摄像头和第一光源位于基板的正面，所述第二摄像头位于基板的背面。

优选地，所述传送机构位于所述第一摄像头和第二摄像头之间，所述第一摄像头接收由所述第一光源发出经所述基板正面反射的光信号。

优选地，所述第二摄像头接收由所述第一光源发出经所述基板背面折射的光信号。

优选地，所述夹角为20-30°。

优选地，所述第一光源由一个或多个光源组成。

优选地，还包括移动机构，所述移动机构包括电机和支架，所述第一摄像头和第二摄像头固定在支架上。

优选地，所述摄像机构还包括第二光源，所述第二光源与第二摄像头位于同一侧，且所述第二光源和第二摄像头镜像对称设置。

优选地，所述第一光源和第一摄像头的焦点与所述第二光源和第二摄像头的焦点重叠或不重叠。

本实用新型的基板缺陷检测装置，其结构简单并具有普适性，通过在基板正面和背面设置两组摄像头，并通过一组设置在基板正面侧的光源，通过光的反射和折射，从而在基板传送过程中，自动检测出基板正面和背面存在的微小裂纹或划痕等不良，及时拦截异常基板，减少大量的基板报废，提高生产良率，降低生产成本。

附图说明

图1为配向膜的涂布示意图；

图2为本实用新型基板缺陷检测装置的结构示意图；

图3为本实用新型基板缺陷检测装置的折射示意图；

图4为本实用新型基板缺陷检测装置的俯视图；

图5为本实用新型基板缺陷检测装置的仰视图。

具体实施方式

如图2至图5所示，本实用新型的基板缺陷检测装置包括包括光源机构、摄像机构、传送机构3以及图像处理机构，其中传送机构3用于传送基板4，光源机构包括第一光源1，摄像机构包括第一摄像头21，第一光源1和第一摄像头21位于同一侧，均位于基板4正面的一侧，且第一光源1和第一摄像头21镜像对称设置，形成大于0°小于180°的夹角，优选地，夹角为20-30°。

第一光源1将光通过光纤传导到基板4的正面表面，由于第一光源1与基板正面表面具有一定的入射角，优选地入射角为10-15°，基于光的反射现象，基板正面表面将光反射到第一摄像头21，由于基板4通过传送机构3进行传送，第一摄像头21能够获得基板4正面的黑白扫描图像，并将黑白扫描图像的信号传输给图像处理机构，优选地图像处理机构是电脑，并由电脑软件将获得黑白扫描图通过2值化处理，得到光反馈波形图。再通过对比百分比差值，如果超过一定的范围，即判定为基板正面表面缺陷。

进一步地，摄像机构还包括第二摄像头22，第二摄像头22位于基板4另一侧，与第一光源1和第一摄像头21相对设置。第二摄像头22与基板背面表面呈一定角度的夹角，由于第一光源1与基板正面表面具有一定的入射角，基于光的折射现象，光穿过基板4后会发生折射，第二摄像头22用于接收经基板背面折射发出的光信号。由于基板4通过传送机构3进行传送，第二摄像头22能够获得基板4背面的黑白扫描图像，并将黑白扫描图像的信号传输给图像处理机构，优选地图像处理机构是电脑，并由电脑软件将获得黑白扫描图通过2值化处理，得到光反馈波形图。如果基板4背面出现微小裂纹、划痕等不良6，经背面折射出的光路其折射角就会发生变化，附图3所示，这种变化会被第二摄像头22记录，再通过对比百分比差值，得出不良缺陷的类型及位置。

在另一个实施例中，第一摄像头21和第二摄像头22可以上下移动，防止反射折射光偏移，从而配合不同厚度的基板缺陷检测。

在另一个实施例中，第一摄像头21和第二摄像头22包括多个CCD镜头，垂直于基板4的前进方向排列成1列，优选地，第一摄像头21和第二摄像头22均包括7个CCD镜头。

在另一个实施例中，使用红外光或者探针代替第二摄像头22，对基板背面进行检测。

在另一个实施例中，还可以设置第二光源，第二光源与第二摄像头22位于同一侧，均位于基板背面侧，与第一光源1与第一摄像头21独立设置，第二光源与第二摄像头22镜像对称设置，形成大于0°小于180°的夹角，优选地，夹角为20-30°。第二光源与第一光源1的作用相同，第二摄像头22用于接收第二光源发出的经由基板背面表面反射的光信号。

在另一个实施例中，第一光源1和第一摄像头21的焦点与第二光源和第二摄像头22的焦点重叠或不重叠。

在另一个实施例中，第一光源1由一个或多个光源组成。

在另一个实施例中，基板缺陷检测装置还包括移动机构，移动机构包括电机和支架，第一摄像头和第二摄像头固定在支架上，支架在电机的驱动下，可以在竖直方向上移动，从而带动第一摄像头和第二摄像头在竖直方向上移动，调整第一摄像头和第二摄像头与基板正面和背面之间的距离。第一摄像头和第二摄像头可以同时相对或相背移动，也可以分别移动。移动机构可以采用电机驱动，也可以使用丝杆等驱动装置。

本实用新型的基板缺陷检测装置的使用方法是，

(1)传送机构3将基板4传送待检测位置；

(2)第一光源1将光通过光纤传导到基板4的第一表面；

(3)基板的第一表面将光反射到第一摄像头21，基板的第二表面将光折射到第二摄像头22；

(4)通过第一摄像头21和第二摄像头22获得基板4的黑白扫描图；

(5)第一摄像头21和第二摄像头22将信号传输给电脑，由电脑软件将获得黑白扫描图通过2值化处理，得到光反馈波形图；通过对比百分比差值，如果超过一定的范围，即判定为缺陷。

其中，第一表面为基板4的正面，第二表面为基板4的背面，基板4为TF T基板或CF基板。

本实用新型结构简单并具有普适性，通过在基板正面和背面分别设置摄像头，并通过一组设置在基板正面侧的光源，通过光的反射和折射，从而在基板传送过程中，自动检测出基板正面和背面存在的微小裂纹或划痕等不良，及时拦截异常基板，减少大量的基板报废，提高生产良率，降低生产成本。

以上详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换(如数量、形状、位置等)，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。