技术总结
一种可防撞针卡的探针台，涉及探针台技术领域，其探针台包括中心盘装置，中心盘装置用于装取晶圆卡盘，中心盘装置设有用于控制中心盘装置从竖直方向和水平方向之间切换的锁具，测试晶圆时，利用锁具将中心盘装置固定于水平方向，测试完，则扭动开关进行解锁，将中心盘装置从水平方向转到竖直方向，其特征在于：该探针台包括防撞针卡装置，防撞针卡装置包括感应器、顶起装置和控制器，感应器设于中心盘装置，顶起装置设于锁具的一侧，感应器感应晶圆若位于中心盘装置，则控制器控制顶起装置顶住锁具使锁具处于锁定状态，本实用新型的探针台可提高生产效率和减少圆形卡盘撞伤。
技术研发人员：钟树
受保护的技术使用者：上海利扬创芯片测试有限公司
技术研发日：2018.04.28
技术公布日：2018.11.30