一种硅片成像系统的制作方法

文档序号:17142267发布日期:2019-03-19 21:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片成像系统,包括机架、相机、镜头、光源及输送带,所述输送带用于承载待测硅片,其特征在于:所述光源为组合光源,其由四个条形光源组合成框式,所述四个条形光源的光源角度分别可调;所述光源的中心与所述镜头的中心同心,且其中心投影位于所述输送带沿输送方向的中心线上,所述镜头到所述待测硅片的检测面的距离为500±3mm,所述光源的发光面距所述待测硅片的检测面的距离为120±3mm。

2.如权利要求1所述的一种硅片成像系统,其特征在于:所述相机为aca4600-7gc型相机,曝光时间120ms,所述镜头为VS-1218VM镜头,光圈为F4,成像分辨率为60μm/pixel,所述条形光源为T5一体式LED灯管。

3.如权利要求1所述的一种硅片成像系统,其特征在于:所述输送带由两条平行且同步设置的窄输送带组成,两条窄输送带的下方设有黑色背板。

4.如权利要求1所述的一种硅片成像系统,其特征在于:所述相机通过位置调节装置安装在所述机架上,所述位置调节装置包括固定板、上下调节板及相机安装板;所述固定板沿竖直方向固定在所述机架上,其沿竖直方向设有两排等距排布的第一螺纹孔;所述上下调节板由一竖板及一水平板组成L型,其竖板上设有对应于所述第一螺纹孔的两条第一条型孔,以实现其沿所述固定板的上下调整及固定,其水平板沿所述输送带输送方向加工有两个第二螺纹孔;所述相机安装板由一竖板及一水平板组成,其竖板与相机的侧壁相连,其水平板通过所述第二螺纹孔固定在所述上下调节板的水平板上。

5.如权利要求4所述的一种硅片成像系统,其特征在于:所述相机安装板的水平板通过两个同心且对称的弧形孔与所述第二螺纹孔相连,所述位置调节装置还包括旋转调节板,所述旋转调节板呈竖直状连接在所述上下调节板的水平板上,且位于所述相机安装板的左侧,其沿输送带输送方向的前后两侧加工有第三螺纹孔,螺栓旋接在所述第三螺纹孔上并伸出,螺栓的伸出端抵接在所述相机安装板上。

6.如权利要求1所述的一种硅片成像系统,其特征在于:所述组合光源通过一灯架安装在所述机架上,所述灯架的四角均设有悬挂片,所述悬挂片上加工有沿竖直方向的第四条形孔,以实现其在机架上的上下调整及固定。

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