技术总结
本实用新型提供一种连续测量薄膜厚度的装置，所述装置至少包括：对辊，包括主动辊和从动辊，主动辊固定在底板上，从动辊设置在主动辊上，待测薄膜穿过主动辊和从动辊之间并通过主动辊和从动辊对其施加压力；平板电容器，包括平行设置的固定极板和活动极板，活动极板通过连接件支撑在从动辊上；中控系统，至少包括与平板电容器相连的电容信号转化装置；当待测薄膜的厚度发生变化时，从动辊沿所述待测薄膜的厚度方向发生位移，进而引起活动极板发生位移，从而使平板电容器的电容发生变化，电容的变化由电容信号转化装置检测出来，实现对所述待测薄膜厚度的测量。本实用新型的装置能够在保证测试精度的同时，降低连续在线测试薄膜厚度的成本。
技术研发人员：程跃;胡园园;鲍晋珍;方宏晨;郑春良
受保护的技术使用者：上海恩捷新材料科技股份有限公司
技术研发日：2018.07.23
技术公布日：2019.03.19