一种绝缘抗压式晶元检测探针的制作方法

本实用新型涉及探针技术领域，尤其涉及一种绝缘抗压式晶元检测探针。

背景技术：

晶元是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈阵列排布，为了将不良的晶元筛选掉，防止后续制成不良的芯片，晶元在封装制造成芯片之前必须要对所有的晶元进行检测，通常每个晶元片上存在成百上千个晶元，通常采用检测设备进行检测，探针是晶元片检测设备上的重要部件，将晶元片固定后，通过探针依次在晶元片表面移动来检测每个晶元的性能。探针安装时需要与探针座连接定位，很多探针座是金属制成的，导电性能良好，因此探针与探针座连接需要独立设置绝缘套，安装非常麻烦；有的探针表面自带绝缘漆膜，然而储存过程中、安装过程中，探针表面的绝缘漆膜都容易被损坏而导致绝缘性能下降，使用时容易造成短路，而且通常探针直径都比较小，为了降低探针本身的电阻，通常用黄铜制造探针，其径向抗压能力较小，探针被夹持时。夹持力过大时容易导致探针表面形变而产生凹陷，进而导致探针内的弹性端子伸缩困难，容易被卡死。尤其是对于晶元检测，对探针的绝缘性、稳定性均具有较高的要求，探针绝缘性不好、产生形变等都容易引入检测误差。

技术实现要素：

本实用新型为了解决现有技术中存在的上述问题，提供了一种绝缘抗压式晶元检测探针，该种探针绝缘性能好，不易与探针座短路，径向抗压性能好，不易变形。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种绝缘抗压式晶元检测探针，包括探针本体，所述的探针本体包括针管、针头、导电端子，针头与针管的下端内部滑动连接，针管内设有压簧，导电端子与针管的上端固定连接，所述针管的外端套设有支撑套，所述支撑套的上端设有上端盖，上端盖与支撑套的上端螺纹连接，所述上端盖内设有上绝缘套，所述上绝缘套的下端设有上定位锥孔，所述导电端子从上定位锥孔的中心伸出上端盖外；所述支撑套的下端设有下端盖，所述针管的下端套设有下绝缘套，所述下绝缘套的上端设有下定位锥孔，所述针头从下定位锥孔的中心伸出下端盖外，所述下绝缘套的下端与下端盖之间设有预紧弹簧，所述针管与支撑套之间形成环形间隙。探针使用时，探针座夹持支撑套，该种探针通过支撑套将探针本体与探针座隔离，探针本体上端、下端分别通过上绝缘套、下绝缘套定位，一方面起到绝缘作用，另一方面确保探针本体的轴线与支撑套的轴线保持同轴，探针本体与支撑套之间通过环形间隙绝缘，支撑套能防止探针本体径向受压变形。

作为优选，所述的支撑套由不锈钢制成，所述的上绝缘套、下绝缘套均由电木制成。不锈钢支撑强度大，而且不易生锈，稳定性好，可以长期使用，电木自身强度大、绝缘性能好。

作为优选，所述针头的中间部位套设有限位卡环，所述针头的下端设有针尖，所述针尖的下端面为球面。限位卡环套入针头后，通过钳子压一下，使得限位卡环与针头卡紧限位，防止针头被意外压入太多而损坏针管内的弹簧，进而导致针头弹性降低。

作为优选，所述上绝缘套与导电端子之间设有密封圈。密封圈起到防水防尘的效果。

因此，本实用新型具有绝缘性能好、抗压性能好的有益效果。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。

图2为图1中A处局部放大示意图。

图3为图1中B处局部放大示意图。

图中：探针本体1、针管100、针头101、导电端子102、支撑套2、上端盖3、上绝缘套4、上定位锥孔5、密封圈6、下端盖7、下绝缘套8、下定位锥孔9、预紧弹簧10、环形间隙11、限位卡环12、针尖13。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：

如图1、图2和图3所示的一种绝缘抗压式晶元检测探针，包括探针本体1，探针本体包括针管100、针头101、导电端子102，针头与针管的下端内部滑动连接，针管内设有压簧，导电端子与针管的上端固定连接，针管的外端套设有支撑套2，支撑套的上端设有上端盖3，上端盖与支撑套的上端螺纹连接，上端盖内设有上绝缘套4，上绝缘套的下端设有上定位锥孔5，导电端子从上定位锥孔的中心伸出上端盖外，上绝缘套与导电端子之间设有密封圈6；支撑套的下端设有下端盖7，针管的下端套设有下绝缘套8，下绝缘套的上端设有下定位锥孔9，针头从下定位锥孔的中心伸出下端盖外，下绝缘套的下端与下端盖之间设有预紧弹簧10，针管与支撑套之间形成环形间隙11。针头101的中间部位套设有限位卡环12，针头的下端设有针尖13，针尖的下端面为球面。本实施例中，支撑套由不锈钢制成，所述的上绝缘套、下绝缘套均由电木制成。

结合附图，本实用新型的使用方法如下：装配时，先将上绝缘套、上端盖与支撑套的上端螺纹连接，然后将探针本体的上端从支撑套的下端插入支撑套内，直至导电端子从上端盖处穿过，然后依次将下绝缘套、预紧弹簧、下端盖从针头处套入，下端盖与支撑套的下端螺纹连接，最后将限位卡环套入针尖上，再用钳子夹一下限位卡环，使得限位卡环发生形变后夹紧针尖。探针本体通过上绝缘套、下绝缘套定位，确保探针本体的轴线与支撑套的轴线同轴，而且将探针本体与支撑套之间隔离绝缘，该种探针与探针座连接使用时，探针座不会与探针本体有任何的接触，从而确保探针本体与探针座之间完全绝缘，而且探针本体的径向也不会收压，因此不会发生变形，性能更加稳定。