一种晶元片检测用组合式检测头的制作方法

本实用新型涉及晶元片检测技术领域，尤其涉及一种晶元片检测用组合式检测头。

背景技术：

普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元片。晶元是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈阵列排布，为了将不良的晶元筛选掉，防止后续制成不良的芯片，晶元在封装制造成芯片之前必须要对所有的晶元进行检测，通常每个晶元片上存在成百上千个晶元，人工检测工作量大，而且容易漏检，目前为了降低成本、提高检测效率，通常采用检测设备进行检测，探针是晶元片检测设备上的重要部件，将晶元片固定后，通过探针依次在晶元片表面移动来检测每个晶元的性能，为了提高检测效率，通常一个检测头上有多根探针，多根探针同时检测，检测效率显著提高；探针后上的任何一根探针损坏后都需要更换，目前更换探针时都需要将整个探针头拆卸下来，然后对损坏的探针进行更换，更换后再装上去，整个更换过程存在较长的等待时间，从而造成停机等待，降低检测效率。

技术实现要素：

本实用新型为了解决现有技术中存在的上述问题，提供了一种晶元片检测用组合式检测头，该种组合式检测头在不拆卸的情况下能快速的对每一根探针进行单独更换，更换时间短，减小换探针时的停机更等待时间。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶元片检测用组合式检测头，包括基座，所述基座内设有若干竖直的定位通孔，每个定位通孔内均设有探针定位套，探针定位套内设有探针孔，探针孔内设有探针，所述基座的顶面一侧设有连接板，连接板的两端设有连接孔，基座的侧面设有与定位通孔垂直连通的螺纹孔，每个螺纹孔内均设有锁止螺栓；所述探针定位套的上端设有与探针连接的第一接头，第一接头上通过数据线连接有第二接头，所述连接板的侧面设有总接头座，每个第二接头均与总接头座插接，所述总接头座的侧面设有排线，排线的外端连接有排线接头。

当某一个探针损坏需要更换时，只需要拔下对应的第二接头，松开对应的锁止螺栓，整个探针定位套连通损坏的探针一起从定位通孔的上端取出，然后在定位通孔内装入新的带探针的探针定位套，拧紧锁止螺栓，插上对应的第二接头，这样就对损坏的探针进行了快速更换，整个更换过程非常快捷、方便，检测设备停机等待时间非常短；换下来的探针定位套内再更换上新的探针用于下次损坏更换。

作为优选，所述定位通孔的内壁设有锥形下阶梯面，所述探针定位套侧面设有与锥形下阶梯面配合的锥形上阶梯面；所述探针定位套的侧面位于锥形上阶梯面的上侧设有楔形环状定位槽，所述锁止螺栓的端部与楔形环状定位槽的底面抵接。锁止螺栓拧紧后，锥形上阶梯面与锥形下阶梯面压紧定位，定位非常稳定、准确，探针定位套与定位通孔之间不会发生晃动。

作为优选，所述探针孔的上端设有上定位孔，所述探针孔的下端设有下定位孔，所述的探针与探针孔之间形成环形间隙，上定位孔、下定位孔的底部均设有支撑环，上定位孔内设有上定位套，下定位孔内设有下定位套，所述上定位套与支撑环之间、下定位套与支撑环之间均设有柔性密封圈；上定位套与上定位孔之间螺纹连接，下定位套与下定位孔之间螺纹连接，所述上定位套、下定位套的内壁均设有绝缘套。上定位套、下定位套拧紧后，挤压柔性密封圈，使得两个柔性密封圈抱紧探针的上端、下端，在不损坏探针的前提下实现探针的定位，而且还能适用于不同直径的探针定位，通用性强。

作为优选，每个探针定位套的顶部均设有端盖，端盖的中心设有引线孔，所述的数据线穿过引线孔。

因此，本实用新型具有探针更换快捷方便、定位稳定的有益效果。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。

图2为图1中A-A处剖视图。

图3为图2中B处局部放大示意图。

图4为图2中C处局部放大示意图。

图中：基座1、定位通孔2、锥形下阶梯面200、探针定位套3、锥形上阶梯面300、楔形环状定位槽301、探针孔4、探针5、连接板6、连接孔7、锁止螺栓8、第一接头9、第二接头10、总接头座11、排线12、排线接头13、端盖14、引线孔15、数据线16、上定位孔40、下定位孔41、支撑环42、上定位套43、下定位套44、柔性密封圈45、绝缘套46。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：

如图1和图2所示的一种晶元片检测用组合式检测头，包括基座1，基座内设有若干竖直的定位通孔2，每个定位通孔内均设有探针定位套3，探针定位套内设有探针孔4，探针孔内设有探针5，基座的顶面一侧设有连接板6，连接板的两端设有连接孔7，基座的侧面设有与定位通孔垂直连通的螺纹孔，每个螺纹孔内均设有锁止螺栓8，定位通孔2的内壁设有锥形下阶梯面200，探针定位套3侧面设有与锥形下阶梯面配合的锥形上阶梯面300，探针定位套3的侧面位于锥形上阶梯面的上侧设有楔形环状定位槽301，锁止螺栓的端部与楔形环状定位槽的底面抵接。

探针定位套3的上端设有与探针连接的第一接头9，第一接头上通过数据线16连接有第二接头10，连接板的侧面设有总接头座11，每个第二接头均与总接头座插接，总接头座的侧面设有排线12，排线的外端连接有排线接头13。

如图3和图4所示，探针孔4的上端设有上定位孔40，探针孔的下端设有下定位孔41，探针与探针孔之间形成环形间隙，上定位孔、下定位孔的底部均设有支撑环42，上定位孔内设有上定位套43，下定位孔内设有下定位套44，上定位套与支撑环之间、下定位套与支撑环之间均设有柔性密封圈45；上定位套与上定位孔之间螺纹连接，下定位套与下定位孔之间螺纹连接，上定位套、下定位套的内壁均设有绝缘套46；每个探针定位套的顶部均设有端盖14，端盖的中心设有引线孔15，数据线穿过引线孔。

结合附图，本实用新型的使用方法如下：连接孔与检测设备通过螺栓连接，排线接头与检测设备上的数据接口插接；当某一个探针损坏需要更换时，检测设备停机，然后拔下对应的第二接头，松开对应的锁止螺栓，整个探针定位套连通损坏的探针一起从定位通孔的上端取出，最后在定位通孔内装入新的带探针的探针定位套，拧紧锁止螺栓，插上对应的第二接头，这样就对损坏的探针进行了快速更换，整个更换过程非常快捷、方便，检测设备停机等待时间非常短；换下来的探针定位套内再更换上新的探针用于下次损坏更换。