一种半导体器件气密检测定位装置的制作方法

本实用新型涉及检具领域，具体涉及一种半导体器件气密检测定位装置。

背景技术：

在半导体精密器件加工行业，为了保证半导体器件的使用寿命和高可靠性，必须确保器件具有良好的气密封装，以抵御域外部恶劣气体对器件的侵蚀，因此器件的气密性必须作为一个重要参数列入可靠性试验之中。在对器件进行检测之前，为保证器件检测时密封性能符合检测要求，一般需要在检测本体及检测器件之间增加密封框。对密封框进行定位，以确保产品的密封性。传统的定位方式，是由螺丝进行分别固定。定位方式粗放，效率低下，需要一种更便捷、通用的定位检具。

技术实现要素：

本实用新型要解决的问题在于提供一种半导体器件气密检测定位装置，无论哪种尺寸被检测件都可定位到主体板上，定位、夹紧便捷，方便进行气密检测试验，定位销、夹紧装置利用率高，成本低。

为解决上述问题，本实用新型提供一种半导体器件气密检测定位装置，为达到上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种半导体器件气密检测定位装置，包括：主体板，主体板的边沿包裹有矩形边框，主体板具备沿水平左右划分的第一分区、第二分区；定位销，三个定位销位于矩形边框上并重合于同一条水平线上，其中第一分区具备两个定位销；夹紧装置，包括矩形边框上的夹钳和位于被检测件上的凸扣，第一分区具备一个第一夹钳，第二分区具备一个第二夹钳；被检测件与主体板贴合，被检测件上具备与定位销装配的孔洞，夹钳与凸扣卡接固定，被检测件包括与主体板等大的第一被检测件和与第一分区等大的第二被检测件。

采用上述技术方案的有益效果是：被检测件有两种尺寸规格，无论是哪种被检测件与定位到主体板上，都至少有两个定位销对其进行定位，两点确定一线，能限制被检测件沿自身平面旋转。夹钳、凸扣能够构成死点夹紧装置，防止被检测件沿垂直于自身平面方向旋转，实现快速定位、快速固定的作用。每个被检测件都至少被一个夹钳、凸扣固定，定位销、夹钳的利用效率高，在满足定位的前提下，定位销、夹钳的数量少，降低设备成本。边框起到强化主体板结构强度的作用，为夹钳提供固定位置。

作为本实用新型的进一步改进，主体板竖向布置，夹钳位于矩形边框的上边沿，定位销位于矩形边框的下边沿，每个定位销的自身轴线为水平线并垂直于主体板。

采用上述技术方案的有益效果是：下部定位、上部固定的方式便捷有效，防止被检测件从主体板上落下。

作为本实用新型的更进一步改进，第一夹钳位于第一分区的竖向中心线上，第二夹钳位于第二分区的竖向中心线上，第一分区的两个定位销位于竖向中心线的两侧。

采用上述技术方案的有益效果是：使得无论在定位哪种被检测件时，被检测件固定方式稳固，不易翻转偏移。

作为本实用新型的又进一步改进，主体板的竖向两侧具备若干根引导杆，引导杆沿水平朝向被检测件的方向延伸，引导杆与主体板弹性铰接。

采用上述技术方案的有益效果是：位于竖向两侧的引导杆，可以起到引导待被检测件与主体板吻合对接的作用。

作为本实用新型的又进一步改进，引导杆在远离主体板的一端具备缓冲头。

采用上述技术方案的有益效果是：顶部的缓冲头，防止引导杆损伤到被检测件。

作为本实用新型的又进一步改进，矩形边框在朝向被检测件的一侧具备传感器，传感器的指向与主体板平行。

采用上述技术方案的有益效果是：传感器可以通过红外线感知被检测件是否已与主体板贴合完毕，传感器可以与夹钳电联，实现夹钳受传感器控制，被检测件与主体板贴合后夹钳便实现夹紧，动作配合效率高，提供了设备改进空间。

作为本实用新型的又进一步改进，主体板的第一分区具备贯穿的洞口。

采用上述技术方案的有益效果是：孔洞的位置便于无论哪种被检测件，都可以在检测完毕后，通过洞孔顶出，使其快速离开主体板。

作为本实用新型的又进一步改进，主体板在背离被检测件的一面垂直固定有加强板。

采用上述技术方案的有益效果是：加强板起到强化主体板结构的作用。

作为本实用新型的又进一步改进，凸扣包括位于第一被检测件的上边沿的第一凸扣、第二凸扣，第一凸扣、第二凸扣之间的距离等于第一夹钳与第二夹钳之间的距离，凸扣还包括位于第二被检测件的上边沿的第三凸扣，第三凸扣位于第二被检测件的竖向中心线上。

采用上述技术方案的有益效果是：第一被检测件尺寸较大所以需要两个夹紧装置进行固定，第二被检测件尺寸较小，一个夹紧装置即足够，固定位置位于第二被检测件的竖向中心线上，防止第二被检测件偏转。

作为本实用新型的又进一步改进，第一被检测件、第二被检测件的两侧具备把手。

采用上述技术方案的有益效果是：把手方便人员移动被检测件。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一种实施方式的应用示意图；

图2是本实用新型一种实施方式的局部视图。

1-主体板；1a-第一分区；1b-第二分区；2a-第一夹钳；2b-第二夹钳；3a-第一凸扣；3b-第二凸扣；3c-第三凸扣；4a-第一定位销；4b-第二定位销；4c-第三定位销；5-矩形边框；6-引导杆；6a-缓冲头；7a-第一被检测件；7b-第二被检测件；8-把手；9-洞口；10-传感器；11-加强板。

具体实施方式

下面结合具体实施例，对本实用新型的内容做进一步的详细说明：

为了达到本实用新型的目的，一种半导体器件气密检测定位装置，包括：主体板1，主体板1的边沿包裹有矩形边框5，主体板1具备沿水平左右划分的第一分区1a、第二分区1b；定位销，三个定位销位于矩形边框5上并重合于同一条水平线上，其中第一分区1a具备一个第一定位销4a、一个第二定位销4b，第二分区1b具备一个第三定位销4c；夹紧装置，包括矩形边框5上的夹钳和位于被检测件上的凸扣，第一分区1a具备一个第一夹钳2a，第二分区1b具备一个第一夹钳2a；被检测件与主体板1贴合，被检测件上具备与定位销装配的孔洞，夹钳与凸扣卡接固定，被检测件包括与主体板1等大的第一被检测件7a和与第一分区1a等大的第二被检测件7b。

图2是第一夹钳2a、第一夹钳2a已夹紧后的状态。

采用上述技术方案的有益效果是：被检测件有两种尺寸规格，无论是哪种被检测件与定位到主体板上，都至少有两个定位销对其进行定位，两点确定一线，能限制被检测件沿自身平面旋转。夹钳、凸扣能够构成死点夹紧装置，防止被检测件沿垂直于自身平面方向旋转，实现快速定位、快速固定的作用。每个被检测件都至少被一个夹钳、凸扣固定，定位销、夹钳的利用效率高，在满足定位的前提下，定位销、夹钳的数量少，降低设备成本。边框起到强化主体板结构强度的作用，为夹钳提供固定位置。

在本实用新型的另一些实施方式中，主体板1竖向布置，夹钳位于矩形边框5的上边沿，定位销位于矩形边框6的下边沿，第一定位销4a、第二定位销4b、第三定位销4c的自身轴线为水平线并垂直于主体板1。

采用上述技术方案的有益效果是：下部定位、上部固定的方式便捷有效，防止被检测件从主体板上落下。

在本实用新型的另一些实施方式中，第一夹钳2a位于第一分区1a的竖向中心线上，第二夹钳2b位于第二分区1b的竖向中心线上，第一分区1a的第一定位销4a、第二定位销4b位于竖向中心线的两侧。

采用上述技术方案的有益效果是：使得无论在定位哪种被检测件时，被检测件固定方式稳固，不易翻转偏移。

在本实用新型的另一些实施方式中，主体板1的竖向两侧具备若干根引导杆6，引导杆6沿水平朝向被检测件的方向延伸，引导杆6与主体板1弹性铰接。

采用上述技术方案的有益效果是：位于竖向两侧的引导杆，可以起到引导待被检测件与主体板吻合对接的作用。

在本实用新型的另一些实施方式中，引导杆6在远离主体板1的一端具备缓冲头6a。

采用上述技术方案的有益效果是：顶部的缓冲头，防止引导杆损伤到被检测件。

在本实用新型的另一些实施方式中，矩形边框5在朝向被检测件的一侧具备传感器10，传感器10的指向与主体板1平行。

采用上述技术方案的有益效果是：传感器可以通过红外线感知被检测件是否已与主体板贴合完毕，传感器可以与夹钳电联，实现夹钳受传感器控制，被检测件与主体板贴合后夹钳便实现夹紧，动作配合效率高，提供了设备改进空间。

在本实用新型的另一些实施方式中，主体板1的第一分区1a具备贯穿的洞口9。

采用上述技术方案的有益效果是：孔洞的位置便于无论哪种被检测件，都可以在检测完毕后，通过洞孔顶出，使其快速离开主体板。

在本实用新型的另一些实施方式中，如图2所示，主体板1在背离被检测件的一面垂直固定有加强板11。

采用上述技术方案的有益效果是：加强板起到强化主体板结构的作用。

在本实用新型的另一些实施方式中，凸扣包括位于第一被检测件7a的上边沿的第一凸扣3a、第二凸扣3b，第一凸扣3a、第二凸扣3b之间的距离等于第一夹钳2a与第二夹钳2b之间的距离，凸扣还包括位于第二被检测件7b的上边沿的第三凸扣3c，第三凸扣3c位于第二被检测件7b的竖向中心线上。

采用上述技术方案的有益效果是：第一被检测件尺寸较大所以需要两个夹紧装置进行固定，第二被检测件尺寸较小，一个夹紧装置即足够，固定位置位于第二被检测件的竖向中心线上，防止第二被检测件偏转。

在本实用新型的另一些实施方式中，第一被检测件7a、第二被检测件7b的两侧具备把手8。

采用上述技术方案的有益效果是：把手方便人员移动被检测件。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。