一种清针组件及探针台的制作方法

文档序号:18779185发布日期:2019-09-29 16:10阅读:409来源:国知局
一种清针组件及探针台的制作方法

本实用新型涉及一种清针组件及探针台。



背景技术:

现有探针台上用于清理探针的毛刷大多采用将刷毛设置在一个平面,通过电机带动平面旋转,使运动的刷毛对探针进行清理。

上述技术方案存在两个问题,其一靠近旋转轴的刷毛由于运动量小,不能清除探针上附着力较强的杂质,毛刷利用率低;其二,有的探针台采用探针插向毛刷的方式清洁探针,要求毛刷密度高,由于探针插向毛刷容易造成刷毛弯折变形从而影响使用。



技术实现要素:

为解决上述问题,本实用新型提出一种清针组件及探针台。

本实用新型的技术方案为:一种清针组件,包括,

环状清洁部,包括安装本体和刷毛,刷毛连接于安装本体环状边沿;

驱动电机,连接于安装本体;所述驱动电机带动所述环状清洁部运动;驱动电机固定于第一连接部;

调位气缸,包括固定部和滑动部,在气压作用下,所述滑动部相对于固定部运动;所述滑动部连接于第一连接部。

进一步的,所述固定部设置有螺旋调位杆,所述滑动部设置有限位挡块,所述螺旋调位杆止抵于限位挡块时,调位气缸到达最大行程。

进一步的,所述驱动电机为直流电机。

进一步的,所述驱动电机的延伸方向平行于调位气缸进给方向。

进一步的,所述清针组件包括旋转电机,旋转电机输出轴连接于固定部。

一种探针台,包括上述的清针组件。

本实用新型的有益效果在于:刷毛利用率高,刷毛的清洁力强;结构简单,使用方便可靠。

附图说明

图1为清针组件示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案,下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1所示,一种清针组件100,用于清除探针或其它尖端物表面的杂物;包括,

环状清洁部20,包括安装本体21和刷毛22,刷毛22连接于安装本体21环状边沿,安装本体21旋转运动带动刷毛22运动,需要清洁的探针置于所述刷毛22清洁范围内,从而实现清洁功能;

驱动电机30,连接于安装本体21;所述驱动电机30带动所述环状清洁部20运动;驱动电机30固定于第一连接部40;便于实现对环状清洁部20的自动控制;

调位气缸50,包括固定部51和滑动部52,在气压作用下,所述滑动部52相对于固定部51运动;所述滑动部52连接于第一连接部40;通过所述固定部51安装于设备,当需要调节所述环状清洁部20的位置时,气压驱动所述滑动部52运动,从而实现所述环状清洁部20相对于所述固定部51位置运动;从而满足对探针的清洁功能,相对于将刷毛22设置在平面内的清洁;刷毛22利用率高,环状清洁部20有正向和反向两个方向的运动,便于充分利用刷毛22。

如图1所示,所述固定部51设置有螺旋调位杆511,所述滑动部52设置有限位挡块521,所述螺旋调位杆511止抵于限位挡块521时,调位气缸50到达最大行程;通过调整螺旋调位杆511改变固定部51和滑动部52的相对位置关系,从而改变调位气缸50的行程,实现对环状清洁部20位置的调节,从而满足多种场合环状清洁部20的使用要求。

如图1所示,所述驱动电机30为直流电机,操作简单,使用方便;通过改变电流的方向就能改变环状清洁部20的转向。

如图1所示,所述驱动电机30的延伸方向平行于调位气缸50进给方向,减小驱动电机30和调位气缸50占用的规则立体空间,造型美观,便于结构安装布置;用一个最小的能够容纳驱动电机30和调位气缸50的长方体来衡量占用的规则立体空间;若驱动电机30和调位气缸50垂直,则长和宽分别为驱动电机30和调位气缸50的最远端,从而使占用的规则立体空间体积最大。

如图1所示,所述清针组件100包括旋转电机,旋转电机输出轴连接于固定部51;通过所述旋转电机带动所述调位气缸50旋转,从而实现环状清洁部20从不同角度清洁探针,提升探针的清洁效率。

一种探针台,包括上述的清针组件100;探针台用于测试半导体晶片,从而需要测试探针,测试探针在测试中会产生烧蚀或其它杂质,使用所述清针组件100清除探针表面的杂质,提升探针的导电率,提升探针测试结果的准确度。

以上是本实用新型的较佳实施例,不用于限定本实用新型的保护范围。应当认可,本领域技术人员在理解了本实用新型技术方案后所作的非创造性变形和改变,应当也属于本实用新型的保护和公开的范围。

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