一种泵电流可调的NOx传感器芯片的制作方法

文档序号:18237762发布日期:2019-07-24 08:48阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种泵电流可调的NOx传感器芯片,包括芯片基体,所述芯片基体上从上至下依次设置有保护层、外电极和进气口;芯片基体内从左至右依次设置有第一内泵电极工作腔和第二内泵电极工作腔,第一内泵电极工作腔与进气口连通,且第一内泵电极工作腔内设置有表面覆盖层、扩散障碍层、粘结剂过渡层、第一内泵上电极、第一内泵衔接电极和第一内泵下电极;表面覆盖层覆盖在所述扩散障碍层的上表面上,通过对表面覆盖层进行激光切割加工调整扩散障碍层的尾气进入速度;扩散障碍层的底面与粘结剂过渡层粘接固定。上述技术方案,结构设计合理、结构新颖、能够有效地调节IP0的大小、提高产品合格率、降低产品制造成本且实用性好。

技术研发人员:蔡丰勇
受保护的技术使用者:温州百岸汽车零部件有限公司
技术研发日:2018.11.21
技术公布日:2019.07.23

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