一种承片台及探针台的制作方法

文档序号:19038874发布日期:2019-11-05 22:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于吸附有晶粒蓝膜(40)的承片台(100),其特征在于:所述承片台(100)包括,

吸附环槽(21);所述吸附环槽(21)连通有一个或多个真空控制孔(22);所述吸附环槽(21)用于吸附有晶粒蓝膜(40);吸附环槽(21)吸附有晶粒蓝膜(40)后,所述吸附环槽(21)与有晶粒蓝膜(40)构成真空吸附空间(a);

吸附平面(31),晶粒区域(50)正对应并贴合于所述吸附平面(31);所述吸附环槽(21)环绕所述吸附平面(31);

所述吸附平面(31)上,位于吸附环槽(21)和晶粒区域(50)之间设置有排气孔(32)。

2.根据权利要求1所述的承片台(100),其特征在于:所述承片台(100)包括,

基体(20),所述吸附环槽(21)设置于所述基体(20)上;所述基体(20)设置有透光孔(23);所述吸附环槽(21)环绕所述透光孔(23);

支撑台(30),所述支撑台(30)为透光玻璃,所述吸附平面(31)位于所述支撑台(30)上;所述支撑台(30)正对应所述透光孔(23)并连接于所述透光孔(23)内壁;所述排气孔(32)连通所述透光孔(23)。

3.根据权利要求2所述的承片台(100),其特征在于:所述透光孔(23)内壁设置有阶梯环(231);

所述支撑台(30)远离吸附平面(31)的一面沿阶梯环(231)连接于基体(20)。

4.根据权利要求3所述的承片台(100),其特征在于:所述支撑台(30)位于吸附平面(31)侧的边沿设置有排气倒角(33);所述排气孔(32)位于晶粒区域(50)和排气倒角(33)之间;

所述支撑台(30)密封连接于基体(20);所述吸附环槽(21)通过连通槽(24)连通于排气倒角(33)。

5.根据权利要求1所述的承片台(100),其特征在于:所述吸附平面(31)在正对应晶粒区域(50)设置有出气孔。

6.根据权利要求2所述的承片台(100),其特征在于:所述基体(20)设置有放置环槽(25),所述放置环槽(25)环绕所述吸附环槽(21)。

7.一种探针台,其特征在于:所述探针台包括如权利要求1-6任意一项所述的承片台(100)。

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