1.一种 PN 结器件杂质浓度/浓度梯度自动测量系统,其特征在于:该系统包括给进机构、样品测试台、测量模块、锁相放大器、计算机;
所述给进机构的驱动器连接计算机,给进机构用于自动传送 PN 结器件到样品测试台;
所述样品测试台连接测量模块,样品测试台上设有固定压片,用于固定 PN 结器件的两端并和 PN 结器件电极之间电学接触;所述样品测试台连接测量模块;所述测量模块连接锁相放大器,所述锁相放大器连接计算机。
2.根据权利要求1所述的一种 PN 结器件杂质浓度/浓度梯度自动测量系统,其特征在于:所述给进机构包括:
用于装设有待测试的 PN 结器件的样品卷盘,用于引导 PN 结器件的引导转轮;
用于卷收已测试完的 PN 结器件的测试卷盘。
3.根据权利要求1所述的一种 PN 结器件杂质浓度/浓度梯度自动测量系统,其特征在于:所述样品卷盘连接第一旋转机构;
所述测试卷盘连接第二旋转机构,所述第二旋转机构通过步进电机连接驱动器,所述驱动器通过 RS232 串口或 USB 通信接口连接计算机。
4.根据权利要求1所述的一种 PN 结器件杂质浓度/浓度梯度自动测量系统,其特征在于:所述样品测试台包括一个具有绝缘表面和 PN 结器件固定槽的底座,以及用于固定 PN 结器件及两端电极的一组弹性压片。
5.根据权利要求1所述的一种 PN 结器件杂质浓度/浓度梯度自动测量系统,其特征在于:所述测量模块包括:用于与样品测试台连接的测试电路;用于量化计算的标准电容 C 0 ;
用于对 PN 结器件进行检测的测量回路;提供锁相放大器的信号通道接口和参考通道接口;
基本的接口电路包括测试器件与标准电容 C 0 的串联回路;锁相放大器的参考信号作为整个回路的激励信号;标准电容 C 0 上的分压信号作为锁相放大器的测量信号;测量信号与锁相放大器之间采用电压跟随器作为连接缓冲模块。
6.根据权利要求1所述的一种 PN 结器件杂质浓度/浓度梯度自动测量系统,其特征在于:所述计算机,用于实现锁相放大器的运行参数设置、PN 结器件偏压控制、循环测量参数、测量信号采集、数据可视化。