测定装置以及测定方法与流程

文档序号:19418126发布日期:2019-12-14 01:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种测定装置,其特征在于,具备:

选择部,参照存储相对于气体的湿度的所述气体中的粒子的质量浓度与所述气体中的粒子的计数浓度的多个相关的存储部,从多个所述相关选择两个相关;以及

质量浓度计算部,基于所选择的两个所述相关、通过第一计数浓度测定器测定出的气体中的粒子的计数浓度以及通过第一湿度计测定出的所述气体的湿度,计算所述气体中的粒子的质量浓度。

2.根据权利要求1所述的测定装置,其特征在于,

通过在比规定的期间长的期间反复进行在所述规定的期间获取通过质量浓度测定器测定出的气体中的粒子的质量浓度、通过第二计数浓度测定器测定出的所述气体中的粒子的计数浓度、以及通过第二湿度计测定出的所述气体的湿度的关系,并根据所述规定的期间内的所述关系计算所述相关,从而得到多个所述相关。

3.根据权利要求1或2所述的测定装置,其特征在于,

所述测定装置具备:获取部,获取通过质量浓度测定器测定出的气体中的粒子的质量浓度、通过第二计数浓度测定器测定出的所述气体中的粒子的计数浓度、以及通过第二湿度计测定出的所述气体的湿度;以及相关计算部,基于所述获取部获取到的所述质量浓度、所述计数浓度以及所述湿度,计算所述相关,所述存储部存储所述相关计算部计算出的所述相关。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的测定装置,其特征在于,

所述质量浓度计算部基于使用两个所述相关并通过内插法或者外推法计算出的换算式,计算所述气体中的粒子的质量浓度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的测定装置,其特征在于,

所述选择部基于在与通过所述第一计数浓度测定器测定出所述气体中的粒子的计数浓度的时刻或者通过所述第一湿度计测定出所述气体的湿度的时刻接近的时刻通过质量浓度测定器测定出的气体中的粒子的质量浓度、通过第二计数浓度测定器测定出的所述气体中的粒子的计数浓度、以及通过第二湿度计测定出的所述气体的湿度,选择两个所述相关。

6.一种测定方法,其特征在于,包括如下的处理:

参照存储相对于气体的湿度的所述气体中的粒子的质量浓度与所述气体中的粒子的计数浓度的多个相关的存储部,从多个所述相关选择两个相关;以及

基于选择出的两个所述相关、通过第一计数浓度测定器测定出的气体中的粒子的计数浓度以及通过第一湿度计测定出的所述气体的湿度,计算所述气体中的粒子的质量浓度。

7.根据权利要求6所述的测定方法,其特征在于,

通过在比规定的期间长的期间反复进行在所述规定的期间获取通过质量浓度测定器测定出的气体中的粒子的质量浓度、通过第二计数浓度测定器测定出的所述气体中的粒子的计数浓度、以及通过第二湿度计测定出的所述气体的湿度的关系,并根据所述规定的期间内的所述关系计算所述相关,从而得到多个所述相关。

8.根据权利要求6或7所述的测定方法,其特征在于,包括如下的处理:

获取通过质量浓度测定器测定出的气体中的粒子的质量浓度、通过第二计数浓度测定器测定出的所述气体中的粒子的计数浓度、以及通过第二湿度计测定出的所述气体的湿度,基于获取到的所述质量浓度、所述计数浓度、以及所述湿度,计算所述相关,并使计算出的所述相关存储于所述存储部。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的测定方法,其特征在于,

在计算所述质量浓度的处理中,基于使用两个所述相关并通过内插法或者外推法计算出的换算式,计算所述气体中的粒子的质量浓度。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的测定方法,其特征在于,

在进行所述选择的处理中,基于在与通过所述第一计数浓度测定器测定出所述气体中的粒子的计数浓度的时刻或者通过所述第一湿度计测定出所述气体的湿度的时刻接近的时刻通过质量浓度测定器测定出的气体中的粒子的质量浓度、通过第二计数浓度测定器测定出的所述气体中的粒子的计数浓度、以及通过第二湿度计测定出的所述气体的湿度,选择两个所述相关。


技术总结
提高质量浓度的精度。测定装置具备:选择部(15),参照存储多个相对于气体的湿度的上述气体中的粒子的质量浓度与上述气体中的粒子的计数浓度的相关的存储部(13),从多个上述相关选择两个相关;以及质量浓度计算部(16),其于选择的上述两个相关、通过第一计数浓度测定器测定出的气体中的粒子的计数浓度以及通过第一湿度计测定出的上述气体的湿度,计算上述气体中的粒子的质量浓度。

技术研发人员:高须良三
受保护的技术使用者:富士通株式会社
技术研发日:2018.03.28
技术公布日:2019.12.13
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