检查方法以及检查系统与流程

相关申请的交叉参考

本申请主张日本国专利申请2017-179324号(2017年9月19日申请)的优先权，将该专利申请的全部内容以引用的方式并入本文。

本发明涉及检查方法以及检查系统，例如，使用傅里叶变换近红外分光分析仪(ft-nir：fouriertransform-nearinfraredspectrometer)的液化天然气(lng：liquifiednaturalgas)的成分分析系统的校正。本发明作为测量形态，可以适用于lng制造、lng基地以及在以lng为原料进行处理的各种设备上的在线测量型的测量。

背景技术：

ft-nir是向分析对象物照射近红外光并根据透过分析对象物得到的光检测吸光光谱的分析装置。通常，在发货时，进行ft-nir的硬件的性能检查。在收货后，进行用于确认没有由于老化导致规定的性能发生变化的检查。

硬件的性能检查是按照下面的流程进行的。

情况1：准备检查对象的ft-nir以及能够测量共同分析对象物的其他测量机器。确认其他测量机器的测量结果与ft-nir的测量结果是否有差异。在有差异的情况下，相互整合ft-nir的测量结果与其他测量机器的测量结果，对ft-nir进行校正。作为其他测量机器例如可以使用气相色谱仪。

情况2：将表示组成的实验值已知的样品作为测量对象放入测量元件，确认ft-nir的测量结果与实验值是否有差异。在有差异的情况下，相互整合ft-nir的测量结果与实验值，对ft-nir进行校正。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2001-9268号

在上述情况1中，需要其他测量机器，无法用ft-nir单独进行检查。在情况2中，需要预先准备实验值已知的样品。在将像lng那样沸点低于常温的物质或挥发性高的物质作为测量对象的情况下，气化会导致组成发生变化。因此，难以准备标准样品。在以标准样品为测量对象的情况下，需要使标准样品流入设备中的工艺管道内，或者从管道拆装用于填充标准样品的测量探针。这样的操作会影响设备的操作。

技术实现要素：

鉴于上述问题，本发明提供可以提升检查效率的检查方法以及检查系统。

本发明提供一种分析装置的检查方法，所述分析装置使用通过探针的光进行分析，所述探针安装于管道使光路的一部分通过壳体的外部且配置在作为分析对象的第1流体流过的所述管道的内部，所述分析装置的检查方法具有：第1过程，在将所述光的吸收少于所述第1流体的第2流体导入到所述管道的状态下，将吸收特性已知的第3流体导入到所述探针的壳体的内部；以及第2过程，使用通过所述探针的光进行所述第3流体的吸收特性的分析。

本发明还提供一种分析装置的检查方法，可以具有在所述第2过程结束之后将导入到所述壳体的内部的所述第3流体置换为所述第2流体的第3过程。

本发明还提供一种分析装置的检查方法，可以是所述壳体具有比周围凹陷的凹部，所述光路的一部分通过所述凹部。

本发明还提供一种分析装置的检查方法，可以是所述光是近红外光，所述第2流体是氮。

本发明还提供一种分析装置的检查方法，可以是流过所述管道的所述第1流体是液态，导入到所述壳体的所述第2流体以及所述第3流体是气态。

本发明还提供一种分析装置的检查系统，所述分析装置使用通过探针的光进行分析，所述探针安装于管道使光路的一部分通过壳体的外部且配置在作为分析对象的第1流体流过的所述管道的内部，所述分析装置的检查系统包括：第1容器，收容所述光的吸收少于所述第1流体的第2流体；第2容器，收容吸收特性已知的第3流体；以及导入器，将收容在所述第1容器的所述第2流体或收容在所述第2容器的所述第3流体导入到所述探针的壳体的内部。

本发明还提供一种分析装置的检查系统，可以还包括抽取导入到所述探针的壳体的内部的流体的泵。

按照本发明的检查方法以及检查系统，可以提升检查的效率。例如，不需要在检查中从管道拆装探针、使用其他测量机器、使标准流体在管道内流动以及另外准备标准样品。

附图说明

图1是表示一个实施方式的检查系统的概略构成的图。

图2是表示一个实施方式的探针的构成例的断面图。

图3是表示一个实施方式的检查方法的一个例子的流程图。

图4是表示检查前的探针内以及管道内各自的流体的种类的图。

图5是表示向管道导入氮之后的探针内以及管道内各自的流体的种类的图。

图6是表示探针内的氮置换为标准气体之后的探针内以及管道内各自的流体的种类的图。

图7是表示探针内的标准气体置换为氮之后的探针内以及管道内各自的流体的种类的图。

图8是表示向管道导入lng之后的探针内以及管道内各自的流体的种类的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的检查方法以及检查系统的一个实施方式进行说明。在以下的说明中，为了便于理解，主要是以一个实施方式的检查系统适用于lng的分析系统、分析装置适用于ft-nir的情况为例子。

图1是表示一个实施方式的检查系统1的概略构成的图。

检查系统1包括ft-nir10、探针20、真空泵30、储气瓶40以及维护pc50。

ft-nir10通过光纤p82与探针20连接。从ft-nir10的光源射出的光通过光纤p82入射到探针20。从探针20射出的光通过光纤p82入射到ft-nir10。

ft-nir10是包括发出光的光源、检测入射的光的检测器、以及分析检测到的光的光谱的分析部的分析装置。光源例如是发出近红外光的卤素灯。光源发出的光，用作检测分析对象物的吸收特性的检测光。检测光也被称作探针光。近红外光是波长为0.7μm～2.5μm的电磁波。该波长的范围为可分析的波长的范围。

lng的各成分在该波长的范围内具有特征性的吸收特性，所述lng是成为分析对象的第1流体。分析部将来自光源的发光强度对于每个波长的检测光的检测强度的比作为吸光度，导出吸光光谱。分析部包括傅里叶变换型的分光仪。分析部基于导出的吸光光谱，算出检查对象物的浓度以及每种成分的组成。为了算出浓度以及每种成分的组成，在分析部中，例如，预先设定每种成分的吸光光谱的模式。分析部使用设定的模式，进行与导出的吸光光谱相关的多变量分析。

探针20具有传输通过光纤p82入射的光的光路。在光路的一部分中光透过分析对象物。透过的光射出到光纤p82。在一个实施方式中，成为分析对象物的第1流体在管道60内流动。在此，探针20安装于管道60，使光路的一部分配置在第1流体流动的管道60的内部。探针20的壳体具有使光路的一部分能够通过其外部、其他部分能够通过其内部的形状。在壳体上，在该一部分上设有比周围凹陷的凹部，光路以横切凹部的方式设置。在以下的说明中，有时将探针20的壳体的内部仅称为探针20内。

真空泵30抽取存在于导管p80的内部的流体，以导管p80以及连接在导管p80的其他容器将探针20内抽成真空。

储气瓶40是在其内部以高于大气压的压力收容具有规定成分的气体的容器。在以下说明的例子中，填充了作为第2流体的氮(n2)气的储气瓶40以及填充了作为第3流体的标准气体的储气瓶40中的任意一个，按照流程分开使用。在以下的说明中，有时将填充了氮气的储气瓶40称为氮储气瓶，将填充了标准气体的储气瓶40称为标准储气瓶。标准气体只要是在分析对象的波长的范围内具有特征性的吸光特性且其成分为已知的气体即可。作为标准气体例如可以使用甲烷(ch4)。

维护pc50是作为执行一个实施方式的分析方法的一系列流程的控制装置发挥功能的pc(personalcomputer个人计算机)。维护pc50具有包括cpu(centralprocessingunit中央处理单元)等运算设备的计算机系统。运算设备具有作为控制装置的功能，所述控制装置执行由安装的应用软件中记述的命令指示的处理。

维护pc50能够从ft-nir10取得分析结果也即吸光光谱、检查对象物的浓度以及组成、检查结果也即检查值或检查的成败。维护pc50检查对于标准气体取得的吸光光谱是否满足规定的基准。在以下的说明中，将该检查称为校正检查。校正一般分为硬件的校正与校准线(modelingcurve，calibrationcurve)的校正，但是在一个实施方式中校正与硬件的校正相关联。

在以下的说明中，在校正检查的流程中，不包括调整ft-nir10等硬件的作业或处理。

探针20、真空泵30以及储气瓶40通过流体可相互流通的导管p80连接。在导管p80中设有2个分路部(节点)n90、n92以及4个阀b72、b74、b76、b78。阀b72配置在分路部n90与探针20之间。探针20通过截止阀240(后述)与导管p80连接。阀b74配置在2个分路部n90、n92之间。阀b76配置在分路部n92与导管p80的一端之间。阀b78配置在储气瓶40与分路部n90之间。阀b72、b74、b76、b78以及截止阀240分别可以调整导管p80的内部的开度。根据阀b72、b74、b76、b78各自的开闭，能够使探针20内成为真空。根据阀b72、b74、b76、b78各自的开闭能够将储气瓶40内存储的气体导入探针20。阀b72、b78以及导管p80作为将储气瓶40内存储的气体导入探针20内的导入器发挥功能。

在以下的说明中，阀b72等将导管p80的内部开放从而使流体流动的状态称作打开阀b72等。阀b72等将导管p80的内部关闭从而使流体不流动的状态称作关闭阀b72等。也可以由维护pc50或其他控制装置执行阀b72、b74、b76、b78各自的开闭的控制。

在一个实施方式中，如后所述，在将检测光的吸收少于第1流体的第2流体导入管道60的状态下，能够从存储了第3流体的储气瓶40将吸收特性已知的第3流体导入到探针20内。之后，ft-nir10能够使用从探针20入射的光进行第3流体的吸收特性的分析。

进行第3流体的吸收特性的分析之后，真空泵30使探针20的壳体的内部成为真空。接着，将存储了第3流体的储气瓶40更换为存储了第2流体的储气瓶40，从更换后的储气瓶40将第2流体导入探针20的壳体的内部。由此，将导入到探针20的壳体的内部的第3流体置换为第2流体。第2流体以及第3流体分别是氮以及标准气体。标准气体是光的吸收特性已知的气体。

接着，对一个实施方式的探针20的构成例进行说明。

图2是表示一个实施方式的探针20的构成例的断面图。

探针20包括壳体210、凸缘214、连接器220、玻璃板222、2条光导224、光导按压器228、窗230、角隅棱镜232、截止阀240以及塞子242。

壳体210整体具有细长的形状，其内部具有可填充流体的空间。在比起壳体210的长边方向的另一端更接近一端的位置上，设有比其周围凹陷的凹部也即测量部212。在比起壳体210的长边方向的中央部更靠近另一端的位置上，配置了环绕壳体210的外周的凸缘214。在以下的说明中，将壳体210的长边方向的一端称作探针20的一端，将壳体210的长边方向的另一端称作探针20的另一端。

这里，在图2所示的例子中，壳体210的左端为探针20的一端，右端为探针20的另一端。

凸缘214是具有在配置在壳体210的状态下相对于壳体210的长边方向垂直的平面的圆盘状的构件。探针20通过将该平面压接于管道60的外表面而固定，由此凸缘214抑制流体从探针20插入的管道60的开口部泄漏。

在比凸缘214更靠近探针20的另一端的位置上，在壳体210的侧面上设有2个开口部。2个开口部上分别配置了截止阀240与塞子242。截止阀240是与导管p80连接，能够调整壳体210的内部相对于导管p80的内部的开度的阀。在通常的测量时，截止阀240相对于导管p80的内部将壳体210的内部密封。在从储气瓶40通过导管p80将流体导入壳体210的内部时，或在将壳体210的内部抽真空时，截止阀240相对于导管p80的内部将壳体210的内部开放。

在以下的说明中，将通过截止阀240相对于导管p80的内部将壳体210的内部密封称作关闭截止阀240，将通过截止阀240相对于导管p80的内部将壳体210的内部开放称作打开截止阀240。

塞子242是将自身插入的开口部密封的构件。塞子242以使填充在壳体210的内部的流体不向外部泄漏的方式进行密封。

在探针20的另一端上设有2个开口部。在每个开口部上各插通1条光纤p82。

在比截止阀240或塞子242更靠近探针20的另一端的位置上，与垂直于该长边方向的面平行地设置了玻璃板222。在比玻璃板222更靠近探针20的另一端的面上，面对面地配置了连接器220。连接器220可以拆装插通的2条光纤p82。

在壳体210的内部，与壳体210的长边方向平行地配置了光导224-1、224-2。光导224-1、224-2是分别具有平滑的内表面并由将光进行反射的物质覆盖的管状的构件。光导224-1、224-2例如由不锈钢构成。因此，在光导224-1、224-2的内部分别形成了光路226-1、226-2。

这里，在图2所示的例子中，壳体210的左端为光导224-1、224-2的一端，右端为光导224-1、224-2的另一端。

在壳体210的内部且在比截止阀240或塞子242更靠近凸缘214的位置上配置了光导按压器228。

光导按压器228是将各个光导224-1、224-2的另一端附近的外侧面固定在壳体210上的构件。

在形成测量部212的2个交叉面上分别设有窗230，所述2个交叉面与交叉于壳体210的长边方向的侧面交叉。在2个交叉面中，有靠近探针20的另一端的交叉面以及靠近探针20的一端的交叉面。靠近探针20的另一端的交叉面与光导224-1的一端，面对面设置。

在壳体210的内部，在比测量部212更靠近探针20的一端的位置上配置了角隅棱镜232。

角隅棱镜232是将分别具有平面的3块反射板以相互成直角的方式组合而成为立方体的顶点型的光学元件。但是，在图2所示的例子中，仅表示了3块反射板中的2块，剩下的1块没有表示。

在该配置下，从光导224-1的一端射出的光通过窗230通过测量部212入射到角隅棱镜232。入射到角隅棱镜232的光通过反射板反射，入射到光导224-2的一端。

玻璃板222以及窗230分别是由不吸收和不反射光、而使光透过的物质(例如，宝蓝玻璃)构成的。玻璃板222以及窗230分别以使填充在壳体210的内部的流体不向外部泄漏的方式密封。

因此，从连接到连接器220的一方的光纤p82入射的光通过包括玻璃板222、光路226-1、窗230、角隅棱镜232、光路226-2以及玻璃板222的光路，射出到另一方的光纤p82。因此，测量部212成为从来自一方的光纤p82的入射面到向另一方的光纤的射出面为止的光路的一部分。在壳体210中未形成测量部212的部分中，与壳体210的长边方向垂直的断面的直径大体一定。因此，从玻璃板222到角隅棱镜232为止的区间之中，成为壳体210的内部的光路226-1的区间与成为壳体210的外部的区间位于同一条直线上。因此，能够比较容易调整形成光路的光导224-1以及角隅棱镜232等构件的位置以及朝向。

在通常的测量状态下，向壳体210的内部填充氮作为清扫气体，探针20配置在管道60上。流过管道60的内部的lng作为测量对象物，通过作为壳体210的外部的测量部212。因此，在通过测量部212的光中，规定波长的成分被测量对象物吸收。由于该被吸收的波长的成分根据分子的化学构造而不同，所以分光光谱的形状不同。测量对象物的浓度越高、吸光度越高。ft-nir10使用取得的分光光谱，可以求出测量对象物的浓度以及组成。

接着，对一个实施方式的检查方法的一例进行说明。

图3是表示一个实施方式的检查方法的一个例子的流程图。

在图3中所示的检查方法以探针20的状态为通常的使用状态时开始的情况为例。图3所示的检查方法典型地是在管道60的定期检查等操作休止中进行。在通常的使用状态下，向探针20的壳体210的内部填充氮，lng在管道60的内部流动(参照图4)。在图4中，左下降的斜线以及右下降的斜线分别表示lng以及氮。管道60内部的温度保持在低于lng的沸点(约-162℃)，高于氮的沸点(约-177℃)的温度。在这个温度下，lng为液态，氮为气态。在以下的说明中，有时将探针20的壳体210的内部称作探针20内。

在这个状态下，阀b72、b74、b76、b78、探针20的截止阀240以及窗230分别被关闭。填充的氮的压力高于大气压。通过填充的氮，玻璃板222以及窗230被分别面对面的壳体210的开口部的内壁按压。因此，降低了氮从开口部泄漏的风险。

维护pc50或其他控制装置也可以执行以下各步骤的控制。

(步骤s102)设备的机构使配置的管道60内充满氮。在这个状态下，探针20内以及管道60的内部都被氮充满(参照图5)。进入到步骤s104的处理。

(步骤s104)将探针20内充满的氮抽至真空。此时，打开探针20的截止阀240、阀b72以及阀b74。接着，真空泵30通过导管p80抽取规定时间(例如，5～10分钟)氮。之后，进入步骤s106。

(步骤s106)将标准储气瓶连接到导管p80，从连接的标准储气瓶将标准气体导入探针20内。此时，关闭阀b74，停止真空泵30的动作。保持阀b72为打开，并将阀b78以及截止阀240打开规定时间(例如，5～10分钟)。之后，关闭阀b72、b78以及截止阀240，进入到步骤s108的处理。

(步骤s108)判断探针20内充满的氮是否被置换为标准气体。例如，当步骤s104～s106的反复次数超过了规定的反复次数的阈值(例如，3～10次)时，可以判断为置换成了标准气体。在判断为置换了的情况下(步骤s108的是)进入到步骤s110的处理。在这个状态下，探针20内充满标准气体，管道60内充满氮(图6)。在图6中，画成小格子状的表示标准气体。在判断为没有置换的情况下(步骤s108的否)，回到步骤s104的处理。

(步骤s110)基于维护pc50的控制，ft-nir10的检查部执行硬件的校正检查。硬件中包括从发光到检测为止的一系列的路线涉及的机器，其中包括ft-nir10自身、光纤p82以及探针20。作为校正检查的检查项目，执行波数稳定性测试、基线稳定性测试、侧光噪声测试以及测光线性测试等的任意一项或者它们的规定组合。关于这些检查项目在后面叙述。当通过校正检查，判断满足规定的基准时，进入到步骤s112的处理。当通过校正检查，判断不满足规定的基准时，可以不进行步骤s112以后的处理而中断图3的处理。

(步骤s112)保持关闭阀b72、b74、b78以及探针20的截止阀240，将连接到导管p80的标准储气瓶变更为氮储气瓶。之后，进入到步骤s114的处理。

(步骤s114)将探针20内充满的标准气体抽至真空。此时，保持阀b78关闭，打开阀b72、b74以及截止阀240。接着，真空泵30通过导管p80抽取规定时间(例如，5～10分钟)标准气体。之后，关闭阀b72、b74以及探针20的截止阀240，进入到步骤s116。

(步骤s116)通过导管p80从氮储气瓶将氮导入到探针20内。此时，将阀b72、b78以及探针20的截止阀240打开规定时间(例如，5～10分钟)。之后，关闭阀b72、b78以及截止阀240，进入到步骤s118的处理。

(步骤s118)判断探针20内充满的标准气体是否被置换为氮。例如，当步骤s114～s116的反复次数超过了规定的反复次数阈值(例如，3～10次)时，可以判断为置换成了氮。也可以通过由ft-nir10分析的吸收光谱在标准气体中特有的波长上是否具有吸光度的峰，判断是否置换了。在判断为置换了的情况下(步骤s118的是)进入到步骤s120的处理。在这个状态下，探针20内以及管道60内都充满氮(图7)。在判断为没有被置换的情况下(步骤s118的否)，回到步骤s114的处理。

(步骤s120)使lng再次流入管道60。因此，与图3的处理的开始之初相同，在探针20内充满氮，而lng在管道60内流动(图8)。之后，结束图3所示的处理。

接着，对维护pc50进行的校正检查的检查项目进行说明。

所谓波数稳定性测试是指判断测量的吸光光谱的规定的峰的波数以及宽是否分别处于预定的基准的波数[单位：cm^-1]以及宽的范围内的检查项目。1个吸光光谱可以拥有多个峰，只要至少1个峰成为检查对象即可。

所谓基线稳定性测试是指判断测量的吸光光谱的规定的波数的范围中的吸光度[绝对值；abs]的平均值是否处于预定的基准的平均值的范围内的检查项目。作为检查对象的波数的范围，可以使用没有检测到吸光光谱的峰的已知的波长的范围。

所谓测光噪声测试是指根据重复规定次数(例如，2～6次)而测量到的吸光光谱，判断在规定的波数的范围中的sn(signal-to-noise；信号噪声)比是否大于规定的基准的sn比的检查项目。例如，也可以将各波数的吸光度的反复期间的平均值作为信号成分，将各波数的吸光度的标准偏差作为噪声成分，将信号成分相对于噪声成分的比作为sn比。作为波长吸光光谱的检查对象的波数的范围，可以使用没有检测到吸光光谱的峰的已知的波长的范围。

所谓测光线性测试是指判断测量的吸光光谱所具有的规定的2个峰的吸光度的比是否处于成为规定基准的吸光度的比的范围内的检查项目。2个峰各自的波长是预先规定的。因此，判断峰的形状是否处于规定的形状的范围内。

如以上说明，一个实施方式的检查方法是使用通过探针20入射的光进行分析的分析装置也即ft-nir10的检查方法。探针20安装于管道60使光路的一部分通过壳体210的外部且配置在作为分析对象的第1流体流过的管道60的内部。本检查方法具有在将光的吸收少于第1流体的第2流体导入管道60的状态下将吸收特性已知的第3流体导入到探针20的壳体210的内部的第1过程(步骤s104～s108)。本检查方法具有使用通过探针20入射的光来进行第3流体的吸收特性的分析的第2过程(步骤s110)。

按照这个构成，即使不从管道60拆装探针20，也可以使光的吸收较少的第2流体通过光路的一部分，使吸收特性已知的第3流体通过光路的另一部分，检查一系列的硬件。在该检查中，不需要使第3流体通过管道60内也不需要使用其他测量机器。因此，可以提升探针20、光纤p82以及ft-nir10等一系列的硬件的检查效率。

一个实施方式的检查方法在结束第2过程之后，具有将导入到壳体210的内部的第3流体置换为第2流体的第3过程(步骤s112～s118)。

按照这个构成，即使不从管道60拆装探针20，也可以将光的吸收较少的第2流体导入壳体210的内部，向成为壳体210的外部的管道60中导入作为检查对象的流体，从而成为能够对该流体执行分析的状态。因此，在硬件的检查之后，可以提升通常的使用状态下的截止到再次开始分析为止的作业效率。

壳体210具有作为比周围凹陷的凹部的测量部212，光路的一部分通过测量部212。

按照这个构成，光路即使为直线也可以区分为第2流体通过的部分与第3流体通过的部分。因此，可以减轻与形成光路的玻璃板222、光导224-1、224-2、光导按压器228、窗230以及角隅棱镜232等构件的配置以及位置的调整相关的作业。因此，可以降低与探针20的制造以及调整相关的成本。

在一个实施方式的检查方法中，检测光是近红外光，第2流体是氮。氮几乎不吸收近红外光并且化学性也稳定。因此，不会影响第3流体的检查结果。由于氮的资源量丰富，所以可以经济地进行检查。

在一个实施方式的检查方法中，流过管道60的第1流体为液态，导入到壳体210的第2流体以及第3流体为气态。因此，在通常的测量时作为分析对象的第1流体与在检查时导入到管道60的第2流体的分离、在第1过程或第3过程中的第2流体与第3流体的更换会变得容易。因此，可以减少与检查相关的时间以及能量，不需要复杂的处理。由于在探针20中更换的第2流体与第3流体为气态，所以可以避免由于这些流体附着在构成探针20的各构件上导致的急剧的温度变化。因此，可以降低由于温度变化导致的损伤或破坏的风险。

以上，参照附图对本发明的实施方式进行了说明，但是具体的构成不限于上述内容，在不超出本发明的要旨的范围内可以进行各种设计变更等。

在上述的实施方式中，以光源发出的光为近红外光的情况为例，但是只要是包含在检查对象物也即第1流体中具有特征性的吸收特性的范围的波长的成分的光，即使是可见光以及紫外线等也可以。

第2流体只要是光源发出的光的吸收量显著少于第1流体且化学性稳定的流体即可，不限于氮。第2流体例如也可以是氦(he)。氦的沸点(约-269℃)也低于lng的沸点。因此，存在当第1流体为液态时氦为气态的温度范围。在该温度范围内，氦通过气化而分离。

在图2所示的探针20中，可以省略光导224-2与角隅棱镜232，并在形成测量部212的交叉面中与靠近探针20的一端的、面对面的位置设置除连接器220的另外的连接器。在该连接器上可以连接一条光纤p82。另一方面，连接器220只要是可以与使光入射到光导224-1的另一条光纤p82连接即可。按照该构成也可以使光路的一部分通过测量部212，光路的另一部分通过壳体210的内部。

在上述的实施方式中，主要例示了适用对象的设备为lng设备的情况，但是本发明也可以适用于具有流过分析对象的流体的管道的其他设备。分析装置不限于ft-nir，也可以是采用了与分散型等傅里叶变换型不同的测量原理的分析装置。

附图标记说明

1…检查系统、10…ft-nir、20…探针、30…真空泵、40…储气瓶、50…维护pc、210…壳体、212…测量部、214…凸缘、220…连接器、222…玻璃板、224(224-1、224-2)…光导、226(226-1、226-2)…光路、228…光导按压器、230…窗、232…角隅棱镜、240…截止阀、242…塞子。