阀等压力设备的耐压检查方法及其耐压检查装置以及压力设备与流程

本发明例如涉及从阀等的内部施加压力的压力设备的耐压检查方法及其耐压检查装置、以及压力设备。

背景技术：

以往，阀等压力设备要求高的耐压性，所以对于出厂前的压力设备，进行用于确认耐压部的强度・泄漏的有无的耐压试验(壳体试验)。该情况下，该耐压试验通常在压力设备的装配完成后进行，由此，确认作为产品使用的阀的耐压性。

作为这种耐压检查方法，例如已知有浸没法、嗅探法、真空腔法等。浸没法为，使将内部用气体加压的试验体浸泡于水中，根据来自试验体内部的泡检测泄漏，嗅探法为，向试验体内注入示踪气体，使测头接近向试验体的外侧流出的气体，借助该测头检测泄漏。此外，真空腔法为，将试验体收纳于真空容器内，向试验体内部注入示踪气体，检测从试验体向真空容器流出的气体。

例如，将试验体设为球阀而将该球阀通过前述浸没法进行耐压检查的情况下，在使球阀整体浸没的状态下，在内部施加1.2mpa左右的空气压，由此，确认来自构成阀的铸件零件的泄漏、来自各密封部位的泄漏的有无。

该情况下，球阀中，对于阀杆的轴密封部使用自封性的密封部件即o型圈，该o型圈在施加空气压时在装配槽内移动而弹性变形，发挥密接密封性。若o型圈这样地由于较高的空气压而弹性变形，则有时不能通过耐压检查发现阀杆等的加工部分的不良、构成阀的铸件零件的不良情况，例如阀体的轴筒部的铸造时的中心的偏离引起的成形不良等。

为了解决该问题，申请人例如在施加上述1.2mpa的高空气压前，在阀内部施加0.2mpa左右的低空气压，在不发生由于o型圈的移动引起的弹性变形的状态下，确认以加工不良、成形不良为原因的来自阀杆的泄漏、即轴泄漏的有无。

此时，轴泄漏部位附近的局部性检查在与检查阀整体的整体性检查相同的检查空间、即包围阀整体的空间被实施。该检查流程在嗅探法、真空腔法等其他的耐压试验中也一样，在用于确认来自铸件零件、各密封部位的泄漏的整体性检查之前，用于确认轴泄漏的局部性检查被在与整体检查相同的检查空间实施。

作为阀用的耐压检查装置，例如，公开有专利文献1的检查装置。该检查装置中，在被一体装配的阀等流体控制器被配置于检查室的状态下，检查用流体被向流体控制器内供给而内部被加压。从流体控制器向检查室内泄漏的检查用流体被与该检查室在连通状态下连接的泄漏检测器检测，由此，能够确认流体控制器的耐压性。

专利文献1:日本特许第3325357号公报。

如前所述，浸没法、嗅探法、真空腔法等的耐压试验中，对装配完成后的阀进行耐压检查。因此，在加工不良、成形不良的确认用的整体性检查前，在轴泄漏的确认用的局部性检查中不合格的情况下，也需要与整体检查的情况相同的处置。具体地，将阀体、阀杆、密封零件等从阀体拆卸来将阀整体分解，实施发生不良情况的部位的修复、更换，需要再次组装成高精度的密封状态。因此，多余地花费分解・装配时间。

进行局部性检查时，在与整体性检查相同的包围阀整体的较宽的检查空间实施，所以在使用氢等气体进行耐压检查的情况下，阀拆卸后气体残留该较宽的检查空间。因此，残留气体的排气需要时间，难以进行接下来的检查用阀的迅速的耐压检查，短时间内进行连续的耐压检查变得困难。

进而，在轴泄漏部位附近的局部性检查时，预先将阀杆转动，使阀为半开状态，在阀的腔内，例如，若是浮球阀的话，需要将氢等检查用气体填充至由球阀体、球座、阀体、盖包围的空间内。因此，耐压检查时的流程增加，需要工夫。并且，在局部性检查后进行整体性检查的情况下，也需要再次转动阀杆而呈阀开、阀闭状态。

技术实现要素：

本发明是用于解决以往的问题而开发的，其目的在于，提供能够在阀等压力设备的装配途中进行耐压检查、通过将检查用气体迅速排出而能够以短时间实施耐压检查的压力设备的耐压检查方法及其耐压检查装置以及阀等压力设备。

为了实现上述目的，技术方案1的发明是向由阀等压力设备构成的工件供给示踪气体来检测泄漏的有无的耐压检查方法，通过进行耐压预备检查，将工件的缺陷、加工不良在早期检测，前述耐压预备检查为，呈将工件的构成零件的一部分装配的状态，之后立即将工件的检查对象部位以减小检查空间的容积的状态覆盖，向工件内装入示踪气体来检测检查空间的示踪气体的泄漏的有无。

技术方案2的发明是一种阀等压力设备的耐压检查方法，其中，工件用铸件零件构成。

技术方案3的发明是一种阀等压力设备的耐压检查方法，其中，工件的检查对象部位包括基于o型圈的密封部位。

技术方案4的发明是一种阀等压力设备的耐压检查方法，其中，工件的检查对象部位包括阀的阀杆轴密封部位。

技术方案5的发明是一种阀等压力设备的耐压检查方法，其中，在工件的耐压预备检查后，进行耐压正式检查，前述耐压正式检查为，向该工件组装施加压力的全部构成零件并且设置将工件整体覆盖的大检查空间，向工件内装入示踪气体，检测大检查空间的示踪气体的泄漏的有无。

技术方案6的发明是一种阀等压力设备的耐压检查装置，前述阀等压力设备的耐压检查装置具有检查空间，前述检查空间在一部分具有能够进行由阀等压力设备构成的工件的拆装的开放部，在该检查空间内设置感测被向工件内供给的示踪气体的泄漏的气体传感器，该气体传感器通过在从工件的检查对象部位向侧方避让的状态下排出检查空间的残留气体，将接下来的工件快速准确地检查。

技术方案7的发明是一种阀等压力设备的耐压检查装置，其中，气体传感器设置于底部开放的半开放型的腔的内部，在该腔内设置有将工件的检查对象部位包围的检查空间。

技术方案8的发明是一种阀等压力设备的耐压检查装置，其中，在检查空间、示踪气体从气体传感器避让的空间侧设置有排气风扇。

技术方案9的发明是一种阀等压力设备的耐压检查装置，其中，被向工件内供给的示踪气体为氢气。

技术方案10的发明是一种阀等压力设备的耐压检查装置，其中，检查结束后工件内的示踪气体被空气压吹扫，设置有用于向检查空间的外部排出的吹扫流路。

技术方案11的发明是一种阀等压力设备的耐压检查装置，其中，腔的进退方向、保持工件的夹持夹具的进退方向为相同方向。

技术方案12的发明是一种压力设备，其中，耐压检查装置的被检查物为阀等压力设备类。

发明效果

根据技术方案1的发明，在工件的构成零件的装配途中通过耐压检查将工件的缺陷、加工不良在早期检测，所以变为不合格时分解容易，能够以短时间实施分解・装配来将不良情况部位修复，更换。作为耐压预备检查，在减少检查空间的容积的状态下向工件内装入示踪气体来检测该示踪气体的泄漏的有无，所以与工件的完成品相比，示踪气体的填充容积少。这样，通过将示踪气体的扩散范围抑制成必要最小限度，将检查后的残留气体迅速排出，能够将耐压检查连续地以短时间实施可能。能够向装配途中的工件内填充示踪气体，所以能够在不将该工件修改的情况下实施耐压检查。

根据技术方案2的发明，能够在早期发现铸造时的中心偏离等的不良，在耐压检查后也能够立即进行检查完成部位的涂饰。

根据技术方案3的发明，在抑制由于o型圈的移动引起的弹性变形的状态下进行耐压检查，由此，能够确认以加工不良、成形不良为原因的轴泄漏等局部性泄漏的有无。

根据技术方案4的发明，能够与阀杆的旋转位置无关地，在插入着阀杆的状态下立即进行阀的阀杆轴密封部位的耐压检查。

根据技术方案5的发明，能够在以加工不良、成形不良为原因的局部性检查即耐压预备检查后，进行用于确认来自各密封部分的泄漏的整体性检查，即耐压正式检查，泄漏等不良情况位置的特定变得容易。并且，能够将这些局部性检查与整体性检查借助最小限度的示踪气体在相同的检查空间迅速地实施。

根据技术方案6的发明，能够在经由开放部在检查空间将工件拆装的同时实施连续的耐压检查。使设置于检查空间内的气体传感器从工件的检查对象部位避让的状态下，排出检查空间的残留气体，由此防止向检查后的工件的检查对象部位附近的示踪气体的残留，将该残留气体从检查空间内迅速排出，能够将接下来的工件快速地迅速。

根据技术方案7的发明，通过使半开放腔移动而覆盖工件，设置将该工件的检查对象部位包围的检查空间，能够在耐压检查时在该小的容积的检查空间内准确地感测来自工件的检查对象部位的气体的泄漏。检查后，通过使腔移动，能够将滞留于工件周围的气体容易且迅速地排出。

根据技术方案8的发明，将由于检查后的工件的逆夹持而被放出的气体经由排气风扇向外部排出，能够对接下来的工件迅速准确地进行耐压检查。

根据技术方案9的发明，氢气为具有扩散性的气体，因此该氢气从工件内泄漏出时，能够借助气体传感器切实地检测来高精度地实施耐压检查。由此，即使是低浓度的气体也能够高灵敏度地检测。

根据技术方案10的发明，能够将经由吹扫流路装入工件内的示踪气体迅速地排出，检查后立即将工件更换成接下来的检查用工件，缩短时间并且能够进行耐追检查。

根据技术方案11的发明，通过使腔的进退方向与夹持夹具的进退方向为相同方向，能够实现装置整体的紧凑化。

根据技术方案12的发明，通过将耐压检查装置的被检查物设为阀等压力设备类，能够与来自构成阀的铸件零件等的零件的泄漏、来自各密封部位的泄漏的有无一同，准确地确认以加工不良、成形不良为原因的轴泄漏的有无，能够提供耐压性优异的高精度的阀等压力设备。

附图说明

图1是表示耐压检查装置的概略剖视图。

图2是表示压力设备的耐压检查状态的放大剖视图。

图3是表示耐压预备检查的检查线的框图。

图4是表示耐压检查方法的检查的工序的流程图。

图5是表示耐压预备检查的工序的流程图。

图6是表示装配完成后的工件的纵剖视图。

具体实施方式

以下，对本发明的阀等压力设备的耐压检查方法、其耐压检查装置(以下称作装置主体1)以及压力设备基于实施方式详细地说明。

图1中表示耐压检查装置的概略剖视图，图2表示基于耐压检查装置的压力设备的耐压检查状态，图3表示本实施方式的耐压检查方法的检查的工序的流程图。

图1所示的装置主体1向被检查物即工件2供给示踪气体，能够实施该工件2的耐压检查，更具体地，能够实施后述的耐压正式检查前的耐压预备检查，具有框体10、腔11、气体传感器12、支承用夹具13、夹持夹具14。

框体10形成为能够将工件2在内侧装配的框状，在其内部设置用于进行工件2的耐压检查的检查空间r。在框体10的一部分设置开放部20，工件2的拆装能够从该开放部20从图1的框体10的右侧或者跟前侧进行。图中，在框体10的里侧，由单点划线表示的两个排气风扇21被经由图中未示出的板材等安装，通过该排气风扇21的旋转，能够进行检查空间r内的排气。在框体10内部，安装腔11、支承用夹具13、夹持夹具14。

腔11具有能够将工件2的检查对象部位22容纳于内部的大小的大致矩形的罩部23、一体地设置于该罩部23的上表面侧的悬挂部24，设置成能够经由该悬挂部24使检查空间r内前进・后退及上升・下降移动。腔11为底部开放的半开放型，能够从该底部侧将工件2的检查对象部位22向腔11内引导。在腔11内设置既定的容积的检查空间s，在该检查空间s在将检查对象部位22包围的状态下能够进行耐压检查。在腔11安装气体传感器12、排气风扇26。

腔11的检查空间s称为被向工件2供给的示踪气体能够扩散的空间，设置成从外部隔离的状态。本实施方式的“从外部隔离的状态”并不意味着腔11内为密封状态，而是指防止外部的风等的影响波及到工件2、并且允许在腔11内从工件2漏出的氢在检查时间内到达气体传感器12的程度的气体的流动的状态。

气体传感器12分别设置于腔11内部的既定的多个部位，本例中在腔11内侧面的两个部位、腔11内上表面的一个部位分别设置，借助这些气体传感器12，能够在腔11内感测被向工件2内供给的示踪气体从检查对象部位22的泄漏。气体传感器12的个数能够任意设定，若增加其数量，则能够使检测能力提高，也能够实现检测时间的缩短、自动化。

气体传感器12设置成能够随着腔11的移动从工件2的检查对象部位22向侧方避让。耐压检查后，在气体传感器12的避让状态下，检查空间r的残留气体被排出，能够快速准确地检查接下来的工件2。

本实施方式的气体传感器12由氢传感器构成，由此，能够检测被向工件2内供给的示踪气体即后述的氢气。通过使用该氢传感器12，切实地检测扩散性的气体即氢和氮的混合气体中的氢的泄漏。气体传感器12固定于腔11，但也可以为了调整位置而能够移动地安装。作为示踪气体，也能够使用氦气，该情况下，作为气体传感器使用气体热传导式传感器即可。

气体传感器12由根据既定的电压施加来输出与漏出的氢的浓度对应的电压的模块构成。检查前，借助电阻调整用的容积改变输出电压，需要根据气体传感器12的暖机状态、大气中的氢浓度的变化精细地进行灵敏度调整。

作为气体传感器12，使用能够输出模拟信号(0-5v)的市售的半导体式传感器，例如使用热线型半导体式氢传感器。该氢传感器12为利用由氧化二锡(sno2)等的金属氧化物半导体表面的氢气的吸附引起的电气传导度的变化的传感器。该情况下，输出电压相对于气体浓度呈对数，在低浓度下也能够进行高灵敏度的输出。

使用多个气体传感器12的情况下，优选地，具有将该基准电压经由后述的cpu与一定值一致的调整功能。由此，能够使各气体传感器12的灵敏度均一化，将泄漏出的氢气高精度地检测。

排气风扇26设置于示踪气体从腔11的气体传感器12避让的空间侧。由于该排气风扇26，能够将残留于腔11内的检查空间s的氢气向外部排出。在排气风扇26与检查空间s之间设置有用于使流路变窄的狭窄部27。在基于排气风扇26的排气时，通过经由该狭窄部27使排气速度变快，腔11内的残留气体被高效率地吹扫。

支承用夹具13以工件2的两侧附近能够载置的既定间隔设置于框体10，能够将工件2从下方侧支承。支承用夹具13的上表面侧的载置面28设置成能够保持六边形、八边形等多边形的阀(工件2)侧部的锥形、或能够保持圆筒形的阀侧部的圆弧形等适当形状。

夹持夹具14具有固定夹持夹具30、可动夹持夹具31。

固定夹持夹具30经由固定用保持具32配置于作为工件2的一次侧的位置，在该固定夹持夹具30的中央附近形成有用于向工件2内部供给示踪气体的一次侧流路33。在固定夹持夹具30的工件2的一次侧的对向面，装配由环状的垫片构成的密封部件34，借助该垫片34，防止工件2固定时来自与该工件2压接的压接部分的泄漏。

图2中，可动夹持夹具31配置于工件2的二次侧，安装成能够借助可动夹持夹具31与前述固定夹持夹具30将工件2保持地在紧固方向上进退自如。

前述腔11的进退方向、工件2的夹持夹具即可动夹持夹具31的进退方向配置成相同方向。在可动夹持部件31的内部设置吹扫流路即二次侧流路35，在工件2的耐压检查后，经由该吹扫流路35，工件2内的示踪气体被以空气压吹扫，被向检查空间s及检查空间r的外部排出。

在可动夹持夹具31的工件2的二次侧的对向面，与固定夹持夹具30同样地装配由环状的垫片构成的密封部件34。借助该垫片34，防止工件2固定时来自与可动夹持夹具31压接的压接部分的泄漏。

被装置主体1检查的被检查物即工件2是阀等压力设备类，在本实施方式中，将被检查物设为球阀，使用将该球阀的构成零件的一部分装配的状态的。

工件2用作为铸件零件的阀体40构成，旋转操作用的阀杆42被插接于形成于该阀体40的轴筒部41，从其上安装压盖43，阀杆42被以定位状态能够旋转地设置。在阀杆42外周，o型圈45被在两个部位装配，借助这些o型圈45设置密封部位46，在本实施方式中，工件2为球阀，所以该密封部位46为阀的阀杆轴密封部位。

相对于上述工件2，作为阀座检查及耐压检查时被供给的示踪气体，例如，使用包括氢的气体，其中，使用分别含有5%氢作为具有扩散性的气体、95%氮作为非活性的气体的混合气体的氢气。该混合气体在耐压试验时存在外部泄漏的情况下，具有从阀体40的轴筒部41与压盖43的螺纹接合部附近泄漏出的性质。

作为示踪气体的5%氢和95%氮的混合气体为不燃性的高压气体，所以能够安全地使用。示踪气体也可以是包括氢的气体以外的气体，例如，能够使用氦气、甲烷气体等各种气体。用氦气作为示踪气体的情况下，与含氢的混合气体同样地扩散性高。

接着，图3中，表示工件2为球阀时的具备装置主体1的检查线50的一例。该检查线50中，将从氢气供给侧至装置主体1的一次侧的流路设为第一流路51，将装置主体1的二次侧以后的流路设为第二流路52。

检查线50除了前述装置主体1，还具有氢气供给源53、调节器54、吹扫空气供给源55、电磁阀56、57、58、59、压力表60、压力传感器61。

氢气供给源53设置成能够从检查线50的第一流路51向工件2供给氢气，经由调节器54，调整成0.2mpa左右的氢气被向电磁阀56供给。电磁阀56设置成能够通过其开闭操作在耐压检查时向工件2内供给氢气。吹扫空气供给源55设置成能够从第一流路51向工件2供给0.6mpa左右的压力的吹扫空气，通过电磁阀57的开闭操作，耐压检查结束后向工件2内供给吹扫空气。在电磁阀56、57与固定夹持金属件30之间设置真空流路62，设置成经由该真空流路62，通过电磁阀58的开闭操作，能够将第一流路51内的氢气或吹扫空气向外部排出。第一流路51的真空通过内部压力的排气、来自外部的压力抽吸来进行。

在第二流路52设置排气流路63，该排气流路63设置成能够借助电磁阀59开闭。排气流路63内，设置压力表60、压力传感器61，能够经由它们测定工件2内的氢气的压力。

图中虽未示出，但由cpu(中央处理装置)构成的控制部连接于检查线60，该控制部与气体传感器12、各电磁阀56~59、氢气供给源53、吹扫空气供给源55等各元件电气连接。在控制部，存储基于工件2的公称压力、公称直径、阀种等设定的表(设置数据)，基于该表控制各部的动作。

进而，在控制部设置数字显示部，从工件2发生氢泄漏的情况下，经由设置于控制部的信号处理部，作为与氢气浓度对应的电压被向该数字显示部输出。数字显示部具有lcd(液晶显示器)，在该lcd，各气体传感器12的输出电压被指示显示。

接着，基于图3的检查线50说明本发明的阀等压力设备的耐压检查方法的实施方式。本实施方式的耐压检查方法例如根据jisb2003(阀的检查通则)所规定的阀箱耐压检查的各空气压试验。

在图4所示的流程图中，作为本实施方式的耐压检查方法的工序，有进行工件2的构成零件的局部的检查的耐压预备检查、进行工件2整体、各密封部分的整体性检查的耐压正式检查，将它们连续实施。

耐压预备检查的实施时，首先，将工件2的构成零件的一部分、即将前述阀体40、阀杆42、o型圈45、压盖43一体地装配而呈半完成状态。这样，使至少包括构成零件间的密封部位的半完成状态的工件2的一次侧抵接于固定夹持夹具30的垫片34，且将工件2载置于支承用夹具13，该状态下使可动夹持夹具31从工件2的二次侧向保持方向移动，将工件2在既定位置夹持。此时，垫片34、34分别在工件2的一次、二次侧端部密封，在防止泄漏的状态下，在工件2的一次、二次侧开口侧，能够将固定夹持夹具30的一次侧流路33、可动夹持夹具31的吹扫流路35连通。

图5的流程图表示工件2保持后的耐压预备检查的工序。

图5中，在工件2保持后，将图1的所有气体传感器12调零，将这些气体传感器12的合格与否判定基准储存于cpu。该状态为检查开始前的待机状态，根据检查开始信号的输入开始耐压预备检查。

接着，其后立即使腔11前进・下降，将工件2的检查对象部位22即借助o型圈密封的密封部位、即包括阀2的阀杆轴密封部位46的阀体40的轴筒部41用腔11覆盖。由此，如图2所示，呈将工件2的检查对象部位22以减少检查空间s的容积的状态包围的状态。

该状态下，向工件2内供给作为示踪气体的氢气，向该工件2内装入氢气来加压，检测腔11内的检查空间s的氢气的泄漏的有无。由此，能够在早期检测工件2的缺陷、加工不良。

该情况下，耐压预备检查借助cpu在图5中被如下所述地控制。

由图3的检查线50的压力传感器61测定的压力值(工件2内的压力值)比规定的压力小的情况下，结束(不良（ng）)，输出不良信号，返回初始状态。另一方面，被测定的压力值为规定的压力以上时，向接下来的压力下降检测步骤进入。此时，氢气的供给停止。

压力下降检测步骤中，基于氢气的加压的停止后，确认呈基于压力传感器61的测定值(工件2内的压力值)比初始值的97%大的状态，该状态下，在接下来的耐压泄漏检测的步骤中借助气体传感器12测定检查空间s的压力。该测定持续至压力传感器61的测定值为初始值的97%以下，为97%以下时，视为压力下降至工件2内不适合检查的压力值，结束(不良)，输出不良信号，返回初始状态。该情况下，工件2相对于耐压预备检查不合格。

耐压泄漏检测步骤中，基于气体传感器12的测定值比判断成发生泄漏的阈值小的话，进入至接下来的检测时间测定步骤。气体传感器12的测定值变为泄漏的阈值以上时，视为检测出从工件2耐压泄漏，结束(不良)，输出不良信号，返回初始状态。该情况下，工件2相对于耐压预备检查不合格。

检测时间测定步骤中，测定是否经过预先设定的检测时间，在未到达既定的检测时间的情况下，被向前述的压力下降检测步骤反馈。

从压力下降检测步骤至检测时间测定步骤的工序重复循环至该检测时间测定步骤的检测时间到达既定时间。在到达既定时间为止在压力下降检测步骤以及耐压泄漏检测步骤中未发生不良的情况下，既定压力下的氢气的泄漏维持基准值以下，工件2相对于耐压预备检查合格。

既定时间经过后，使腔11相对于工件2的检查对象部位22上升・后退，向工件2内供给吹扫空气，并且从真空流路62进行抽真空，由此实施密封状态的工件2内的冲洗。之后，通过使可动夹持夹具31向从工件2离开的方向移动的逆夹持将工件2从装置主体1卸下。该情况下，借助排气风扇26，检查空间s的示踪气体被向检查空间r排出，该检查空间r的示踪气体被排气风扇21向外部排出，由此，防止向这些检查空间s及检查空间r的示踪气体的残留。

接着，进行接下来的工件2的耐压预备检查的情况下，通过与前述检查方法相同的流程实施即可。

上述耐压预备检查后，如图6所示，向部分装配状态的工件2组装阀体70、球座71、盖72等施加压力的全部的构成零件来一体化，在阀杆42的上部，经由垫圈73、螺母74固定手柄75，设置作为产品使用的状态的工件(阀)80。将该工件80向图中未示出的大检查装置内的大检查空间用夹持夹具保持，在大检查空间工件80整体被覆盖的状态下实施耐压正式检查。

该情况下，经由手柄75转动阀杆42，使阀80为半开状态后，向该工件80内，将由氢气构成的示踪气体也包括阀腔ca地装入，将该示踪气体的泄漏的有无由气体传感器检测，由此，判定各工件的耐压正式检查的合格或不合格。前述的耐压预备检查、该耐压正式检查的双方合格的工件为耐压检查的合格品。耐压正式检查中判定成不合格的情况下，其原因部位为，将除了耐压预备检查中合格的密封部位确认即可，能够较快地特定原因部位。耐压检查后，将工件内部吹扫，排出残留气体，其后，放松夹持夹具来将工件卸下。

接着，说明本发明的压力设备的耐压检查方法及其耐压检查装置的上述实施方式的作用。

作为耐压检查，先进行耐压预备检查，该耐压预备检查为，呈在将装配有o型圈45的阀杆42插接于阀体40的状态，以装配该构成零件的一部分的阀为对象，所以，耐压预备检查的不合格时，能够简单地从阀体40卸下阀杆42来实施发生不良情况的部位的修复、修理。这样，将阀的完成品以前的半完成品的状态作为工件2进行耐压预备检查，由此能够缩短伴随不良情况的分解・装配时间。

进行耐压预备检查的工件2为铸件零件，将其检查对象部位22设为o型圈45的密封部位，在本实施方式中，设为阀的包括阀杆轴密封部位46的部分，在覆盖该检查对象部位22的腔11内的检查空间s借助气体传感器12测定泄漏。由此，将检查空间s的容积抑制成最小限度，使氢气的滞留区域变少，能够借助氢气的避让空间侧的排气风扇26迅速地排出残留气体。被排出的气体被安装于框体10的两个排气风扇21向检查空间r的外部排出。此时，来自检查空间s的残留气体量小，所以从检查空间迅速将气体向装置主体1的外部排出，能够将检查空间s及检查空间r以短时间清理。

耐压预备检查时未将阀体70、球座71向工件2组装，所以无需阀杆42的旋转操作，与阀杆42的旋转状态无关地将氢气填充至阀杆轴密封部位46，能够无需多余的工夫地进行耐压检查。

能够对耐压预备检查后的半完成品即阀阀体2实施防锈涂饰，所以能够在不将该阀体2装入成阀完成品的状态下在较早的阶段实现由于是铸铁零件而易生锈的阀的防锈。

以上对本发明的实施方式进行了详细说明，但本发明不限于前述实施方式记载，能够在不脱离本发明的专利权利要求书所记载的发明的精神的范围进行各种改变。例如，本发明也能够应用于球形阀、闸阀等球阀以外的阀，能够应用于包括阀以外的配管设备的例如空气压式致动器等的各种压力设备。耐压检查的实施时，也可以取代泄漏的有无而测定泄漏量。耐压正式检查后，也可以与之连续地进行阀座检查。

附图标记说明

1装置主体

2球阀(工件)

11腔12气体传感器

14夹持夹具

20开放部

22检查对象部位

26排气风扇

30固定夹持夹具

31可动夹持夹具

35吹扫流路

45o型圈

46阀杆轴密封部位

r检查空间

s检查空间。